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MEMS器件设计、封装工艺及应用研究（专业）物理电子学。声明：知识水坝论文均为可编辑的文本格式PDF，请放心下载使用。需要DOC格式请发豆丁站内信。
【摘要】：MEMS封装是MEMS的关键技术之一,而且其封装占整个MEMS器件成本的50～80%。本文采用理论、数值模拟、实验等方法系统的研究了MEMS和光电子器件气密封装工艺中的关键技术问题。本文同时在此基础上,开发了MEMS压力传感器和硅微机械...
KeywordsMEMS;Micro-electroAccelerometer;DynamicsAnalysis;ANSYS目录摘要1.1微机电系统（MEMS）概述1.2微机电系统（MEMS）的发展趋势1.3本论文的主要工作2.1微机电系统（MEMS）的理论基础2.2微机电系统（MEMS）器件的类型及其功能
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
MEMS晶圆级真空封装结构设计与工艺集成--优秀毕业论文结构,设计,工艺,MEMS,晶圆级封装,晶圆级,和晶圆,封装工艺,封装结构,晶圆封装频道豆丁首页社区企业工具创业微案例会议热门频道工作总结作文股票医疗文档分类论文生活休闲外语...
2.本文完成了MEMS传感器的温度补偿和标定补偿,提高了惯性器件的测量精度。在此基础上,针对惯性导航和GPS组合导航进行探究,研究了以四元数为核心的捷联导航算法以及松组合的组合导航方式,设计了12维状态变量的卡尔曼滤波器,融合GPS导航数据、磁航向角和捷联导航数据,实现室外导航。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
基于MEMS与GPS的微小型航姿系统设计与实现.王金龙.【摘要】：航姿参考系统是为无人机提供姿态信息的机载航电系统之一,其输出的姿态信息是确保飞行器安全飞行的关键。.传统的航姿参考系统体积较大而且成本较高,不适合在微小型无人机上使用,考虑到系统...
MEMS器件的四大分类介绍-MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。它集中了当今科学技术发展的许多尖端成果。通过微型化、集成化可以探索新...
本论文主要针对两种典型MEMS器件(悬臂梁式微电子加速度计和振动轮式微陀螺仪)建立其系统动力学模型,分析其动力学特性,并以悬臂梁式微电子加速度计为例,考虑其粘附效应和尺寸效应,分析产生粘附效应的物理机理以及尺寸设计对粘附的影响。
MEMS器件设计、封装工艺及应用研究（专业）物理电子学。声明：知识水坝论文均为可编辑的文本格式PDF，请放心下载使用。需要DOC格式请发豆丁站内信。
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2.本文完成了MEMS传感器的温度补偿和标定补偿,提高了惯性器件的测量精度。在此基础上,针对惯性导航和GPS组合导航进行探究,研究了以四元数为核心的捷联导航算法以及松组合的组合导航方式,设计了12维状态变量的卡尔曼滤波器,融合GPS导航数据、磁航向角和捷联导航数据,实现室外导航。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
基于MEMS与GPS的微小型航姿系统设计与实现.王金龙.【摘要】：航姿参考系统是为无人机提供姿态信息的机载航电系统之一,其输出的姿态信息是确保飞行器安全飞行的关键。.传统的航姿参考系统体积较大而且成本较高,不适合在微小型无人机上使用,考虑到系统...
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本论文主要针对两种典型MEMS器件(悬臂梁式微电子加速度计和振动轮式微陀螺仪)建立其系统动力学模型,分析其动力学特性,并以悬臂梁式微电子加速度计为例,考虑其粘附效应和尺寸效应,分析产生粘附效应的物理机理以及尺寸设计对粘附的影响。
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