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本论文主要针对一种典型MEMS器件（悬臂梁式微电子加速度计）建立其系统动力学模型，分析其动力学特性。首先对微机电系统作了简要概述，介绍了其定义，理论基础，器件分类，发展历程及其在各方面的应其次简要分析了一般微电子加速度...
（5）在太赫兹探测器，人工吸波材料，MEMS器件等领域发表多篇SCI/EI期刊论文。主要研究领域方向：纳米光学与光电子学，特异材料（Metamaterials）,表面等离子体（Surfaceplasmonics），光子晶体，微纳光学，太赫兹，MEMS器件等
任青华讲师邮箱：Renqinghua@shu.edu上海大学微电子学院导师介绍：从事微电子材料、CMOS器件与MEMS传感器件研究，在相关领域发表SCI论文20余篇，获得授权专利2项，主持上海市“超级博士后”资助项目1项，作为核心成员参与多项国家自然...
硅基MEMS制造工艺是在硅晶圆上制作MEMS器件，此技术主要来源于传统的微电子制造技术，因此具有易...LabChip，JPhys.Chem.C,APL等权威国际期刊发表SCI论文28篇，其中第一或通讯作者SCI论文15篇（JCR一区论文12篇），包括1篇年…
半导体材料(semiconductormaterial)是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mcm～1Gcm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。那么关于半导体材料领域有哪些sci杂志呢?《SEMICONDUCTOR...
杨晋玲，中国科学院半导体研究所，研究员，中国科学院“百人计划”获得者，中国科学院大学教授。长期从事MEMS器件研究，发表SCI/EI论文90余篇，SCI总引1000余次。合著两本丛书，应邀为《EncyclopediaofNanotechnology》和《Handbookof
压电与MEMS融合发展，新兴MEMS产品层出不穷.自1880年法国物理学家居里兄弟发现压电效应以来，压电材料已成为深入到现代社会各个层面的重要功能材料。.传统压电器件主要采用基于石英或陶瓷等块体材料，不仅体积庞大，价格昂贵，还难以采用连续生产模式...
IETEJournalofResearchisabimonthlyjournalpublishedbytheInstitutionofElectronicsandTelecommunicationEngineers(IETE),India.Itpublishesscientificandtechnicalpapersdescribingoriginalresearchworkornovelproduct/processdevelopment.Occasionallyspecialissuesarebroughtoutonnewandemergingresearchareas.
本论文主要针对一种典型MEMS器件（悬臂梁式微电子加速度计）建立其系统动力学模型，分析其动力学特性。首先对微机电系统作了简要概述，介绍了其定义，理论基础，器件分类，发展历程及其在各方面的应其次简要分析了一般微电子加速度...
（5）在太赫兹探测器，人工吸波材料，MEMS器件等领域发表多篇SCI/EI期刊论文。主要研究领域方向：纳米光学与光电子学，特异材料（Metamaterials）,表面等离子体（Surfaceplasmonics），光子晶体，微纳光学，太赫兹，MEMS器件等
任青华讲师邮箱：Renqinghua@shu.edu上海大学微电子学院导师介绍：从事微电子材料、CMOS器件与MEMS传感器件研究，在相关领域发表SCI论文20余篇，获得授权专利2项，主持上海市“超级博士后”资助项目1项，作为核心成员参与多项国家自然...
硅基MEMS制造工艺是在硅晶圆上制作MEMS器件，此技术主要来源于传统的微电子制造技术，因此具有易...LabChip，JPhys.Chem.C,APL等权威国际期刊发表SCI论文28篇，其中第一或通讯作者SCI论文15篇（JCR一区论文12篇），包括1篇年…
半导体材料(semiconductormaterial)是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mcm～1Gcm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。那么关于半导体材料领域有哪些sci杂志呢?《SEMICONDUCTOR...
杨晋玲，中国科学院半导体研究所，研究员，中国科学院“百人计划”获得者，中国科学院大学教授。长期从事MEMS器件研究，发表SCI/EI论文90余篇，SCI总引1000余次。合著两本丛书，应邀为《EncyclopediaofNanotechnology》和《Handbookof
压电与MEMS融合发展，新兴MEMS产品层出不穷.自1880年法国物理学家居里兄弟发现压电效应以来，压电材料已成为深入到现代社会各个层面的重要功能材料。.传统压电器件主要采用基于石英或陶瓷等块体材料，不仅体积庞大，价格昂贵，还难以采用连续生产模式...
IETEJournalofResearchisabimonthlyjournalpublishedbytheInstitutionofElectronicsandTelecommunicationEngineers(IETE),India.Itpublishesscientificandtechnicalpapersdescribingoriginalresearchworkornovelproduct/processdevelopment.Occasionallyspecialissuesarebroughtoutonnewandemergingresearchareas.
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