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黑龙江大学硕士学位论文基于MEMS技术的谐振器研究姓名：侯远欣申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：温殿忠20110415中文摘要中文摘要MEMS谐振器具有体积小、成本低、可与电路集成等优点，是下一代通信系统的热门研究对象。
射频MEMS技术是近年来发展迅速的高新技术，它具有微型化、低损耗、可集成、成本低等特点，用它实现相关射频器件或系统可为无线通信技术带来新的变化。本论文主要研究了射频MEMS谐振器、滤波器相关的基础理论及其器件设计研究。
谐振式压力传感器是一种典型的利用外界压力作用时结构频率的改变来实现压力测量的MEMS器件。该类传感器一般使用单晶硅制作感受外界压力的压力膜以及间接敏感元件谐振梁，实现了二次敏感模式，它可以直接输出频率信号，其传输与测量都可直接应用数字技术，具有广阔的应用前景。
谐振器作为陀螺仪的关键部件,性能直接影响陀螺仪的工作。本论文研究基于硅和金刚石的MEMS谐振器及陀螺仪的设计、与测试。本论文将通过以下五章介绍研究的主要内容。第一章主要介绍了MEMS谐振器和谐振陀螺仪应用领域,研究现状和工作原理。
由于MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）在这些领域的潜在应用前景，使其成为目前研究的一个热点。论文首先介绍了FBAR器件的研究背景，然后对其进行了系统性的研究，包括理论分析、工艺研究和相关应用研究。论文对FBAR器件的工作机制...
翻译mems相关论文微机械振动谐振器的规模集成极其振荡器实现.微机械振动谐振器的规模集成极其振荡器实现[0]英文摘要：micromechanicalRFfiltersandreferenceoscillatorsbasedonrecentlydemonstratedvibratingon-chipmicromechanicalresonatorswithQ’s>10,000at…
EMS；谐振器中图分类号：TH112文献标志码：A文章编号：1007－1261（2019）03－0075－06Astudyonthetechnologicald...宝鸡文理学院学报(自然科学版)2019年第3期MEMS谐振式加速度计技术发展的研究
【摘要】：随着电子系统对高性能、小型化器件需求的逐步增长,MEMS振荡器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优异性能成为研究热点。本文旨在探究高频MEMS振荡器的性能,而谐振器作为振荡器的核心部件,自然成为研究的重点。文中设计了一种新型的带有可动电极的10MHzMEMS方块谐振器。
氮化铝兰姆波MEMS谐振器在滤波器及传感器方面的应用研究-仪器科学与技术专业论文.docx,中文摘要中文摘要万方数据万方数据本文介绍了氮化铝兰姆波MEMS谐振器以及基于该谐振器的带通滤波器、传感器的设计与制造。氮化铝兰姆波MEMS...
AnalysisofFrequencyDriftofSiliconMEMSResonatorwithTemperature.Micromachines(IF2.891)PubDate:2020-12-29,DOI:10.3390/mi12010026.BoJiang,ShenhuHuang,JingZhang,YanSu.High-quality-factorMicro-Electro-MechanicalSystem(MEMS)resonatorshavebeenwidelyusedinsensorsandactuatorstoobtaingreatmechanical...
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射频MEMS技术是近年来发展迅速的高新技术，它具有微型化、低损耗、可集成、成本低等特点，用它实现相关射频器件或系统可为无线通信技术带来新的变化。本论文主要研究了射频MEMS谐振器、滤波器相关的基础理论及其器件设计研究。
谐振式压力传感器是一种典型的利用外界压力作用时结构频率的改变来实现压力测量的MEMS器件。该类传感器一般使用单晶硅制作感受外界压力的压力膜以及间接敏感元件谐振梁，实现了二次敏感模式，它可以直接输出频率信号，其传输与测量都可直接应用数字技术，具有广阔的应用前景。
谐振器作为陀螺仪的关键部件,性能直接影响陀螺仪的工作。本论文研究基于硅和金刚石的MEMS谐振器及陀螺仪的设计、与测试。本论文将通过以下五章介绍研究的主要内容。第一章主要介绍了MEMS谐振器和谐振陀螺仪应用领域,研究现状和工作原理。
由于MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）在这些领域的潜在应用前景，使其成为目前研究的一个热点。论文首先介绍了FBAR器件的研究背景，然后对其进行了系统性的研究，包括理论分析、工艺研究和相关应用研究。论文对FBAR器件的工作机制...
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【摘要】：随着电子系统对高性能、小型化器件需求的逐步增长,MEMS振荡器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优异性能成为研究热点。本文旨在探究高频MEMS振荡器的性能,而谐振器作为振荡器的核心部件,自然成为研究的重点。文中设计了一种新型的带有可动电极的10MHzMEMS方块谐振器。
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