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MEMS频率器件技术发展综述中兴通讯公司杜良桢作者简介：杜良桢，现任中兴通讯公司材料委员会专家。1967年毕业于天津大学精密仪器专业。主要从事光纤通信、时间与频率器件以及微机电系统（MEMS）技术开发与应用研究。曾获省部级科技进步...
MEMS文献综述报告.doc,微机电系统（MEMS）的主要工艺姓名：曹光浦班级：02321202学号：1120120403指导老师：何光前言微电子机械系统（MEMS）的出现，极大地扩展了微电子领域的研究空间。从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型...
1陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年2张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年3陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A...
半导体所等发表《红外光电探测技术研究现状及展望》综述论文MEMS2021-10-1700:00241浏览0评论0点赞红外光电探测器是红外产业链的核心，其最早应用于军事领域，如今在现代战争中仍是重要战略手段。随着红外探测技术的逐渐成熟，适用于...
MEMS陀螺仪发展综述和技术研究.ppt,MEMS陀螺仪发展综述及技术研究12MEMS陀螺仪研究背景MEMS陀螺仪基本知识目录31、MEMS陀螺仪研究背景MEMS陀螺仪应用领域MEMS陀螺仪国外研究现状MEMS陀螺仪基本概念MEMS陀螺仪国内...
微机械加速度计的研究现状综述.张霞.【摘要】：随着微机械技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热...
MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起，保证气体传感器优良性能的发挥。谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器...
鬼斧神工的MEMS，10种主流MEMS器件原理全解析.MEMS（MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统），也叫做微电子机械系统，指采用微米甚至纳米工艺制造的微型智能化机电系统。.MEMS是在微电子技术基础上发展起来的，工艺基础也是微电子常用的光刻技术，并融合硅...
我国MEMS传感器发展现状与趋势剖析.MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。.经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。.随着物联网时代的逐步到来，传感器现正被广泛...
摘要：随着MEMS技术的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用.MEMS陀螺具有体积小,重量轻,成本低和可批量生产等独特优点,在军事领域有着广阔的发展和应用前景,受到了各军事强国的青睐.本文对MEMS陀螺的军事需求进行了初步介绍,重点针对国内外典型MEMS陀螺器件的结构形式,基本原理,优...
MEMS频率器件技术发展综述中兴通讯公司杜良桢作者简介：杜良桢，现任中兴通讯公司材料委员会专家。1967年毕业于天津大学精密仪器专业。主要从事光纤通信、时间与频率器件以及微机电系统（MEMS）技术开发与应用研究。曾获省部级科技进步...
MEMS文献综述报告.doc,微机电系统（MEMS）的主要工艺姓名：曹光浦班级：02321202学号：1120120403指导老师：何光前言微电子机械系统（MEMS）的出现，极大地扩展了微电子领域的研究空间。从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型...
1陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年2张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年3陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A...
半导体所等发表《红外光电探测技术研究现状及展望》综述论文MEMS2021-10-1700:00241浏览0评论0点赞红外光电探测器是红外产业链的核心，其最早应用于军事领域，如今在现代战争中仍是重要战略手段。随着红外探测技术的逐渐成熟，适用于...
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微机械加速度计的研究现状综述.张霞.【摘要】：随着微机械技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热...
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摘要：随着MEMS技术的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用.MEMS陀螺具有体积小,重量轻,成本低和可批量生产等独特优点,在军事领域有着广阔的发展和应用前景,受到了各军事强国的青睐.本文对MEMS陀螺的军事需求进行了初步介绍,重点针对国内外典型MEMS陀螺器件的结构形式,基本原理,优...
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