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基于MEMS加速度器计步器设计毕业设计论文.doc,沈阳化工大学本科毕业论文题目：基于MEMS加速度器计步器设计毕业设计（论文）任务书专业：电气工程及其自动化班级：0801班学生：XXXX毕业设计（论文）题目：基于MEMS加速度器计步器...
电子科技大学硕士学位论文一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究姓名：杨晓光申请学位级别：硕士专业：机械制造及其自动化指导教师：徐利梅20060101摘要采用微机械技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成化的特点；而且提高了使用的可靠性，降低了成本，这对于许…
论文写作指导：请加QQ2784176836MEMS微加速度计的设计与性能控制摘要目前研究较多、具有良好应用前景的微加速度计是依托微机电系统（MEMS）技术制作而成的微加速度计，其中尤以电容式加速度计最为重要。
论文以钻地武器为背景，采用MEMS工艺技术设计一种耐50000g以上的、量程在1000～50000g基于MEMS工艺的高g值加速度计。本文运用有限元软件ANSYS对该加速度计的结构进行了应力分析和模态分析，验证了在50000g的冲击环境下加速度计的应力、最大位移、模态响应，确保该加速度计在大冲击…
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
MEMS加速度传感器读出电路设计.【摘要】：MEMS加速度传感器以其各种优越的性能在军事与商业设备中得到广泛应用，它包括MEMS传感器和IC读出电路两部分，近年来，由于其高精度、高稳定性在精密勘探中也得到特殊的应用，如石油探测等。.MEMS加速度传感器又...
MEMS电容式加速度计具有功耗低、体积小、可靠性高等优势，类型主要有：体硅加速度计，表面多晶硅加速度计和CMOSMEMS加速度计等。其中CMOSMEMS加速度计因具有其易于实现单片集成、易于降低成本和互连寄生参数等优势，成为最具市场前景的加速度计产品。
基于SOI技术的MEMS惯性加速度计.doc,PAGEPAGE3基于SOI技术的MEMS惯性加速度计摘要：SOI技术材料具有寄生PN效应小、电子迁移速度高、功耗低、抗干扰能力强、稳定性好等特点，将其运用于MEMS惯性器件可以有效改微惯性善器件的...
MEMS加速度计还有一个自测试功能，测试加速度计工作的正常性和精确性。2.2ADXL345加速度计ADXL345加速度计是美国模拟器件公司生产的一款超低功耗小巧纤薄的3轴加速计，可以对高达16g的加速度进行高分辨率（13位）测量。
四、MEMS加速度计加速度传感器是最早广泛应用的MEMS之一。MEMS，作为一个机械结构为主的技术，可以通过设计使一个部件(图15中橙色部件)相对底座substrate产生位移（这也是绝大部分MEMS的工作原理），这个部件称为质量…
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电子科技大学硕士学位论文一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究姓名：杨晓光申请学位级别：硕士专业：机械制造及其自动化指导教师：徐利梅20060101摘要采用微机械技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成化的特点；而且提高了使用的可靠性，降低了成本，这对于许…
论文写作指导：请加QQ2784176836MEMS微加速度计的设计与性能控制摘要目前研究较多、具有良好应用前景的微加速度计是依托微机电系统（MEMS）技术制作而成的微加速度计，其中尤以电容式加速度计最为重要。
论文以钻地武器为背景，采用MEMS工艺技术设计一种耐50000g以上的、量程在1000～50000g基于MEMS工艺的高g值加速度计。本文运用有限元软件ANSYS对该加速度计的结构进行了应力分析和模态分析，验证了在50000g的冲击环境下加速度计的应力、最大位移、模态响应，确保该加速度计在大冲击…
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
MEMS加速度传感器读出电路设计.【摘要】：MEMS加速度传感器以其各种优越的性能在军事与商业设备中得到广泛应用，它包括MEMS传感器和IC读出电路两部分，近年来，由于其高精度、高稳定性在精密勘探中也得到特殊的应用，如石油探测等。.MEMS加速度传感器又...
MEMS电容式加速度计具有功耗低、体积小、可靠性高等优势，类型主要有：体硅加速度计，表面多晶硅加速度计和CMOSMEMS加速度计等。其中CMOSMEMS加速度计因具有其易于实现单片集成、易于降低成本和互连寄生参数等优势，成为最具市场前景的加速度计产品。
基于SOI技术的MEMS惯性加速度计.doc,PAGEPAGE3基于SOI技术的MEMS惯性加速度计摘要：SOI技术材料具有寄生PN效应小、电子迁移速度高、功耗低、抗干扰能力强、稳定性好等特点，将其运用于MEMS惯性器件可以有效改微惯性善器件的...
MEMS加速度计还有一个自测试功能，测试加速度计工作的正常性和精确性。2.2ADXL345加速度计ADXL345加速度计是美国模拟器件公司生产的一款超低功耗小巧纤薄的3轴加速计，可以对高达16g的加速度进行高分辨率（13位）测量。
四、MEMS加速度计加速度传感器是最早广泛应用的MEMS之一。MEMS，作为一个机械结构为主的技术，可以通过设计使一个部件(图15中橙色部件)相对底座substrate产生位移（这也是绝大部分MEMS的工作原理），这个部件称为质量…
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