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南昌大学硕士学位论文MEMS气体压力传感器的系统级封装（SiP）技术研究姓名：陈思远申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：罗玉峰20070602摘要摘要压力传感器是MEMS技术的重要应用，目前以MEMS工艺技术开发的压力传感器正广泛应用于汽车电子领域，但是MEMS封装成本占到了MEMS...
新型MEMS气体传感器研究.【摘要】：目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。.微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。.用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、重复性、易...
为后期对MEMS红外气体传感器的性能优化以及工艺改进，提供了理论和实验上的基础。.本论文主要内容包括：（1）利用有限元分析软件COMSOLMultiphysics对MEMS红外气体传感器的两个核心部分，发射单元和探测单元分别作了分析。.对发射单元进行了焦耳热...
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传感器的研究异常活跃。
MEMS气体传感器的优势.(1)微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。.同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。.MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器...
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
论文研究MEMS气体传感器微热盘建模与.pdf.MEMS气体传感器微热盘建模与，张卫东，丁恩杰，本文设计了两种以Pt为加热电极，SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。.通过有限元分析了两种微热盘的稳态特性，加热温度达.
今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，挺实在，中肯，部分内容我做了一定调整。1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是...
MEMS行业产品结构类别领域主要产品MEMS传感器惯性传感器加速度计、陀螺仪、磁传感器、惯性传感组合压力传感器压力传感器声学传感器微型麦克风、超声波传感器环境传感器气体传感器、湿度传感器、颗粒传感器、温度传感器光学传感器傅里叶变换红外
MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。参考资料1.MEMS传感器最新新闻资讯．OFweek传感器网[引用日期2016-07-21]2.MEMS传感器在汽车电子中的应用．汽车电子网
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新型MEMS气体传感器研究.【摘要】：目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。.微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。.用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、重复性、易...
为后期对MEMS红外气体传感器的性能优化以及工艺改进，提供了理论和实验上的基础。.本论文主要内容包括：（1）利用有限元分析软件COMSOLMultiphysics对MEMS红外气体传感器的两个核心部分，发射单元和探测单元分别作了分析。.对发射单元进行了焦耳热...
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传感器的研究异常活跃。
MEMS气体传感器的优势.(1)微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。.同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。.MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器...
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
论文研究MEMS气体传感器微热盘建模与.pdf.MEMS气体传感器微热盘建模与，张卫东，丁恩杰，本文设计了两种以Pt为加热电极，SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。.通过有限元分析了两种微热盘的稳态特性，加热温度达.
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MEMS行业产品结构类别领域主要产品MEMS传感器惯性传感器加速度计、陀螺仪、磁传感器、惯性传感组合压力传感器压力传感器声学传感器微型麦克风、超声波传感器环境传感器气体传感器、湿度传感器、颗粒传感器、温度传感器光学传感器傅里叶变换红外
MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。参考资料1.MEMS传感器最新新闻资讯．OFweek传感器网[引用日期2016-07-21]2.MEMS传感器在汽车电子中的应用．汽车电子网
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