本课题主要研究半导体扩散工艺控制及数据处理系统。整套系统中,上位机数据处理软件设计采用Delphi7作为开发工具,利用微软提供串口通信控件--MSComm控件实现上位机数据处理系统与下位机控制系统的数据采集和控制功能;下位机控制系统主要实现...
半夜睡不着,给楼主回复一下,可能楼主已经签约了吧。1.我目前在一家半导体企业做扩散工艺工程师,也就是Diffisionprocessengr。中芯国际的扩散分为哪几个部门我不是很确定,先说一下我这边,Diff分为三个部门:furnace,implant,single。
国内图书分类号TP273国际图书分类号硕士学位论文半导体扩散工艺控制及数据处理系统的研制硕士研究生李金凤导师姓名张天开教授申请学位级别工学硕士学科、专业控制理论与控制工程所在单位自动化工程学院答辩日期2011年12月学位授予单位青岛理工大学Classified
论文服务:摘要:扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在PN结形成中的作用以及扩散工艺的发展三个方面,探究了扩散工艺在半导体生产中的应用。
在该系统的控制下,可有效地实现对扩散炉温度工艺曲线和辅助工艺的控制,并可在线自整定PID参数,实现了半导体扩散工艺的自动化,提高了温度控制精度以及工作效率。应用结果表明,该温控系统具有良好的自适应性和鲁棒性。
扩散/氧化工艺控制系统PLC温度检测精度温度控制精度温度控制算法收藏本站首页期刊全文库学位论文库会议论文库年鉴全文库...【摘要】:半导体和集成电路专用设备制造业是支撑半导体和集成电路产业发展的基础,在各种半导体专用设备中...
聊完光刻、掺杂,今天我们来简单聊聊半导体工艺中的另一项工艺技术——刻蚀。前面我们聊到光刻是将图形转移到覆盖在半导体硅片表面的光刻胶上的过程。这些图形必须再转移到光刻胶下面组成器件的各薄层上,这一工…
提供半导体工艺实验报告【交大】文档免费下载,摘要:实验分析:当氧扩散穿越已生长的氧化剂时,它是在各个方向上扩散的。一些氧原子纵向扩散进入硅,另一些氧原子横向扩散。这意味着在氮化硅掩膜下有着轻微的侧面氧化生长。由于氧化层比消耗的硅更厚,所以在氮化物掩膜下的氧化生长将...
优秀硕士论文库—《高精度半导体扩散/氧化工艺控制系统的研制》摘要第1-9页Abstract第9-11页第1章绪论第11-16页·引言第...
本课题主要研究半导体扩散工艺控制及数据处理系统。整套系统中,上位机数据处理软件设计采用Delphi7作为开发工具,利用微软提供串口通信控件--MSComm控件实现上位机数据处理系统与下位机控制系统的数据采集和控制功能;下位机控制系统主要实现...
半夜睡不着,给楼主回复一下,可能楼主已经签约了吧。1.我目前在一家半导体企业做扩散工艺工程师,也就是Diffisionprocessengr。中芯国际的扩散分为哪几个部门我不是很确定,先说一下我这边,Diff分为三个部门:furnace,implant,single。
国内图书分类号TP273国际图书分类号硕士学位论文半导体扩散工艺控制及数据处理系统的研制硕士研究生李金凤导师姓名张天开教授申请学位级别工学硕士学科、专业控制理论与控制工程所在单位自动化工程学院答辩日期2011年12月学位授予单位青岛理工大学Classified
论文服务:摘要:扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在PN结形成中的作用以及扩散工艺的发展三个方面,探究了扩散工艺在半导体生产中的应用。
在该系统的控制下,可有效地实现对扩散炉温度工艺曲线和辅助工艺的控制,并可在线自整定PID参数,实现了半导体扩散工艺的自动化,提高了温度控制精度以及工作效率。应用结果表明,该温控系统具有良好的自适应性和鲁棒性。
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