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(2)某多晶硅厂对还原操作使用的洁净手套、无尘纸等洁净用品进行了检测，检测结果见表4。由表中数据可以看出，洁净用品中存在的Na、Mg、K、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn等金属颗粒附着于硅芯表面，对硅芯也会造成一定污染，随着还原炉内反应这些金属颗粒同时扩散到硅棒表面，从而影响多晶硅…
＊多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析刘淑萍，贺珍俊（内蒙古神舟硅业有限责任公司，内蒙古呼和浩特010070）摘要少数载流子寿命是半导体晶体硅材料的一项重要参数，它对半导体器件的性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。
半导体材料对现代社会的影响光电检测论文.doc,半导体材料对现代社会的影响材料是人类进化史的里程碑，现代文明的重要支柱，是发展高新技术、社会现代化的物质基础与先导。在所有材料当中，带领我们进入如今信息时代的首位功臣—半导体材料却是后来居上。
【摘要】：在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。详细分析了热H3PO4湿法刻蚀中杂质颗粒的形成机理,并且提出三种不同的解决途径,然后...
半导体硅片金属微观污染机理研究进展.SemiconductorTechnologyVol．29No．8August2004531引言随着ULSI技术的不断向前发展，对半导体硅的表面性质要求也越来越严格。.而且电路的集成度日益提高，单元图形的尺寸日益微化，污染物对器件的影响也愈加突出...
多晶硅还原反应影响因素研究.【摘要】：改良西门子多晶硅生产工艺中多晶硅生长影响因素主要分为两个方面,内在质量因素和外在质量因素。.内在质量因素和反应物料的品质有关,对还原反应成本影响较小,外在质量因素如硅棒温度、还原炉内压力、混合气...
多晶硅太阳能电池工艺16参考文献单晶硅太阳能电池生产工艺的研究：[硕士学位论文].长沙：湖南大学微纳光电器件及应用教育部重点实验室，2010刘志刚.多晶硅太阳电池新腐蚀液的研究及其应用：[博士学位论文].
多晶硅太阳能电池工艺((论文)).doc,XINYUUNIVERSITY毕业设计（论文）（2013届）题目多晶硅太阳能电池工艺二级学院新能源科学与工程学院专业光伏材料及其应用班级10级光伏材料（一）班学号学生姓名纪涛指导教师胡...
半导体器件制造工艺及设备论文栏目下面包含有约827篇半导体器件制造工艺及设备硕士学位论文和博士学位论文，或是相关的...
半导体纳米材料在电分析及光电化学中的应用研究.李桢臻.【摘要】：生命信息分子是调控人体生理活动的一类重要物质,对其高灵敏的检测分析可以帮助人们揭示出生命系统中信息的产生、存储、传输、、转换和控制等基本规律,并准确阐释生命活动机理...
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