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基于pzt薄膜的集成光学谐振腔结构的及其光学性质（原版论文）,光学薄膜技术,pzt薄膜,光学谐振腔,薄膜体声波谐振器,光学谐振腔的作用,氟化钙光学谐振腔,薄膜体声波谐振器技术,薄膜体声谐振器,光学薄膜
PZT薄膜的、表征及图形化研究.王克园.【摘要】：锆钛酸铅(PZT)压电薄膜是由铅(Pb)、锆(Zr)、钛(Ti)三种元素组成具有ABO3型钙钛矿结构的化合物，具有优良的压电、铁电、介电和热释电等性能，被广泛应用于微电子学、光电子学、微电子机械系统等领域...
硕士学位论文磁控溅射法PZT薄膜研究StudyPZTthin俐mdepositedviamagnetronsputteringmethod作者姓名：学号：21004104完成日期：2013．5．5大连理工大学DalianUniversityTechnology大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。
MEMS器件用PZT薄膜的及性能研究.【摘要】：由于电子技术、信息技术和控制技术的发展,器件的小型化和集成化,对材料提出了新的要求。.PZT薄膜因其优良的压电性能、热电性能、铁电性能、光电性能和介电性能以及易与半导体技术集成等特点已成为国际上...
本论文主要针对FRAM用PZT铁电薄膜进行了研究,对薄膜厚度和晶粒尺寸与薄膜的铁电性和极化反转电流的关系进行了实验和理论分析。.对控制薄膜不同取向生长的机理进行了探讨,并对薄膜结晶取向对铁电性和疲劳的影响进行了讨论。.采用射频磁控溅射法了...
薄膜晶化过程的形核阶段和晶界扩散阶段分别得到控制,可以获得(111)取向的PZT薄膜,验证了论文提出的PZT薄膜生长模式。为了降低晶化温度,解决高温下PbO易挥发、薄膜存在较高残余应力等问题,本文将微波等离子体晶化工艺应用到PZT薄膜的晶化处理,研究了...
pzt薄膜的铁电性和极化反转特性研究.Vb（Zr。.Tii—x）03铁电材料由于具备优良的铁电性、热释电性、压电性和光学特性等，受到人们的普遍关注，特别是它具备高的介电常数和剩余极化，从而成为制作非易失铁电随机存储器（FRAM）的重要材料。.本论文主要...
南昌大学硕士学位论文基于退极化场驱动的PZT铁电薄膜太阳能电池研究姓名：吕晓敏申请学位级别：硕士专业：凝聚态物理学指导教师：赖珍荃20120610摘要铁电薄膜由于具有优良的铁电、热释电、压电、声光及非线性光学特性，被广泛应用于微电子和光电子领域，近年来对其光电特性的研究...
在PZT压电薄膜传感器的研究中，常需要对其主要部件压电薄膜的压电效应进行分析，以了解和改善微传感器的性能。.压电薄膜微传感器的结构原理广义上讲，凡是利用压电材料各种物理效应构成的传感器，都可称为压电传感器，目前应用最多的是力敏型...
压电薄膜及硅微压电换能器的研究.ZnO和PZT薄膜是两种最主要的声学换能材料，由它们构成的硅微换能器是一种重要的声学MEMS器件。.相对硅微电容式换能器，压电换能器具有不需要偏置电压、工艺简单、低阻抗等优点，但灵敏度比较低。.本文正是以...
基于pzt薄膜的集成光学谐振腔结构的及其光学性质（原版论文）,光学薄膜技术,pzt薄膜,光学谐振腔,薄膜体声波谐振器,光学谐振腔的作用,氟化钙光学谐振腔,薄膜体声波谐振器技术,薄膜体声谐振器,光学薄膜
PZT薄膜的、表征及图形化研究.王克园.【摘要】：锆钛酸铅(PZT)压电薄膜是由铅(Pb)、锆(Zr)、钛(Ti)三种元素组成具有ABO3型钙钛矿结构的化合物，具有优良的压电、铁电、介电和热释电等性能，被广泛应用于微电子学、光电子学、微电子机械系统等领域...
硕士学位论文磁控溅射法PZT薄膜研究StudyPZTthin俐mdepositedviamagnetronsputteringmethod作者姓名：学号：21004104完成日期：2013．5．5大连理工大学DalianUniversityTechnology大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。
MEMS器件用PZT薄膜的及性能研究.【摘要】：由于电子技术、信息技术和控制技术的发展,器件的小型化和集成化,对材料提出了新的要求。.PZT薄膜因其优良的压电性能、热电性能、铁电性能、光电性能和介电性能以及易与半导体技术集成等特点已成为国际上...
本论文主要针对FRAM用PZT铁电薄膜进行了研究,对薄膜厚度和晶粒尺寸与薄膜的铁电性和极化反转电流的关系进行了实验和理论分析。.对控制薄膜不同取向生长的机理进行了探讨,并对薄膜结晶取向对铁电性和疲劳的影响进行了讨论。.采用射频磁控溅射法了...
薄膜晶化过程的形核阶段和晶界扩散阶段分别得到控制,可以获得(111)取向的PZT薄膜,验证了论文提出的PZT薄膜生长模式。为了降低晶化温度,解决高温下PbO易挥发、薄膜存在较高残余应力等问题,本文将微波等离子体晶化工艺应用到PZT薄膜的晶化处理,研究了...
pzt薄膜的铁电性和极化反转特性研究.Vb（Zr。.Tii—x）03铁电材料由于具备优良的铁电性、热释电性、压电性和光学特性等，受到人们的普遍关注，特别是它具备高的介电常数和剩余极化，从而成为制作非易失铁电随机存储器（FRAM）的重要材料。.本论文主要...
南昌大学硕士学位论文基于退极化场驱动的PZT铁电薄膜太阳能电池研究姓名：吕晓敏申请学位级别：硕士专业：凝聚态物理学指导教师：赖珍荃20120610摘要铁电薄膜由于具有优良的铁电、热释电、压电、声光及非线性光学特性，被广泛应用于微电子和光电子领域，近年来对其光电特性的研究...
在PZT压电薄膜传感器的研究中，常需要对其主要部件压电薄膜的压电效应进行分析，以了解和改善微传感器的性能。.压电薄膜微传感器的结构原理广义上讲，凡是利用压电材料各种物理效应构成的传感器，都可称为压电传感器，目前应用最多的是力敏型...
压电薄膜及硅微压电换能器的研究.ZnO和PZT薄膜是两种最主要的声学换能材料，由它们构成的硅微换能器是一种重要的声学MEMS器件。.相对硅微电容式换能器，压电换能器具有不需要偏置电压、工艺简单、低阻抗等优点，但灵敏度比较低。.本文正是以...
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