《薄膜材料与器件》是一门学科交叉性强、理论较深、实用性强的课程,主要涉及薄膜材料的技术、性能表征与实际应用。通过本课程的学习,要求学生对各种薄膜技术的成膜机制、工艺过程和特点有较为深入的了解,并结
3薄膜沉积的物理方法3.2溅射沉积技术3.2.2溅射的主要工艺控制参数54一、优点与蒸发技术相比:1、可溅射沉积任何能做成靶材的材料,特别是高熔点材料如:石墨、Ti、Ta、W、Mo等;2、由于沉积原子能量较高,薄膜组织均匀致密,与基片的结合力较高...
薄膜技术与薄膜材料,书名,关于薄膜及微细技术的应用范围,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、太阳能电池,到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础…
“2019光电薄膜材料、薄膜技术高峰发展论坛”将邀请众多国内外知名专家开展多角度、战略性和前瞻性研究的交流,通过交流新思想,研讨新技术,聚焦光电薄膜材料和技术、产业链上下游企业、搭建产、学、研、用各界融合的平台;推动交流与合作;促进上下游
【摘要】:以先进功能薄膜材料制作的各类器件被广泛应用于新能源、光电子、微电子、信息技术、航空航天、平板显示等众多高新技术领域,而器件的性能强烈依赖于薄膜材料的微结构控制。课题组以太阳能电池,温差发电器件和声表面波器件为应用出口,重点开展太阳能光电薄膜,热电薄膜和敏感...
新金属材料国家重点实验室.材料科学与工程.王沿东.相关团队.材料高通量表征及.薄膜材料高通量技术.粉体材料高通量技术.先进功能材料与表征.工程材料高通量与表征.
《薄膜材料与器件》是一门学科交叉性强、理论较深、实用性强的课程,主要涉及薄膜材料的技术、性能表征与实际应用。通过本课程的学习,要求学生对各种薄膜技术的成膜机制、工艺过程和特点有较为深入的了解,并结
3薄膜沉积的物理方法3.2溅射沉积技术3.2.2溅射的主要工艺控制参数54一、优点与蒸发技术相比:1、可溅射沉积任何能做成靶材的材料,特别是高熔点材料如:石墨、Ti、Ta、W、Mo等;2、由于沉积原子能量较高,薄膜组织均匀致密,与基片的结合力较高...
薄膜技术与薄膜材料,书名,关于薄膜及微细技术的应用范围,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、太阳能电池,到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础…
“2019光电薄膜材料、薄膜技术高峰发展论坛”将邀请众多国内外知名专家开展多角度、战略性和前瞻性研究的交流,通过交流新思想,研讨新技术,聚焦光电薄膜材料和技术、产业链上下游企业、搭建产、学、研、用各界融合的平台;推动交流与合作;促进上下游
【摘要】:以先进功能薄膜材料制作的各类器件被广泛应用于新能源、光电子、微电子、信息技术、航空航天、平板显示等众多高新技术领域,而器件的性能强烈依赖于薄膜材料的微结构控制。课题组以太阳能电池,温差发电器件和声表面波器件为应用出口,重点开展太阳能光电薄膜,热电薄膜和敏感...
新金属材料国家重点实验室.材料科学与工程.王沿东.相关团队.材料高通量表征及.薄膜材料高通量技术.粉体材料高通量技术.先进功能材料与表征.工程材料高通量与表征.