Seminar1化学气相沉积(CVD)原理及其薄膜程士敏.研究员Seminar(CVD)2008.05.27CVD原理定义气态物种输运沉积过程热力学和动力学CVD技术分类CVD薄膜CVD技术的优缺点孟广耀,化学气相淀积与无机新材料,北京:科学出版社,1984气态源液态源固态源...
CVD生长化合物二维材料示意图及其中涉及的关键难题CVD生长二维材料研究展望该论文第一作者为清华-伯克利深圳学院2017级博士生唐磊和2018级博士生谭隽阳,论文作者还包括2019级博士生农慧雨。论文通讯作者为成会明院士和刘碧录副教授。
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本论文以CVD铜基石墨烯为核心,进行了如下研究。1.在CVD石墨烯的生长阶段引入水脉冲,通过水对石墨烯边界的刻蚀效应,降低第一层(顶层)石墨烯的生长速度;进而引起石墨烯边界与铜基底的去耦合,促进碳原子在石墨烯/...
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硕士论文答辩—《HDPCVD工艺的应用与改善》摘要第1-5页ABSTRACT第5-8页前言第8-11页第一章化学气相淀积(CVD)介绍第11-21页
王璐,高峻峰,丁峰.经典晶体生长理论在石墨烯CVD成核和连续生长中的应用[J].化学学报,2014,72(3):345-358.WangLu,GaoJunfeng,DingFeng.ApplicationofCrystalGrowthTheoryinGrapheneCVDNucleationandGrowth[J].ActaChimicaSinica,2014,72
金刚石的高硬度和良好化学稳定性给目前常用的技术带来了挑战。.机械抛光效率极低,容易引入裂纹和划痕等损伤;化学作用较强的激光抛光、电火花和化学刻蚀等方法会遇到表面质量较差、残留有变质层等问题。.借助化学和机械的协同作用...
1温广武;于洪明;黄小萧;;气压辅助CVD法大量碳微米管[A];第22届炭—石墨材料学术会论文集[C];2010年2王贤保;;石墨烯的CVD、修饰及其复合材料的研制[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年3翁国峰;马...
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金刚石的高硬度和良好化学稳定性给目前常用的技术带来了挑战。.机械抛光效率极低,容易引入裂纹和划痕等损伤;化学作用较强的激光抛光、电火花和化学刻蚀等方法会遇到表面质量较差、残留有变质层等问题。.借助化学和机械的协同作用...
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