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惯性器件数字化测试技术的研究-机械工程专业论文.docx,ClassifiedIndex:V448.15+1U.D.C:621.317.3DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringTHEINVESTIGATIONOFDIGITALTESTSYSTEMFORINERTIALDEVICESCandidate
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文1.2三轴测试转台综述1.2.1三轴测试转台的总体结构测试转台是惯性导航系统和惯性元件研制过程中必须的重要设备，它可以用来进行惯导系统和元件的检定、标定以及建立误差模型。
微惯性测量系统键器件的研究.pdf,摘要随着微惯性测量系统应用的Fi趋广泛，微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本义主要通过对微惯性测量系统中加速度计和歼关两个关键部件的研究，来进一步解决应用于新…代火箭的微惯性测量系统的微型化问题。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
惯性技术研究现状及发展趋势.第39卷第6期2013年6月自动化学报ACTAAUTOMATICASINICol.39,No.6June,2013惯性技术研究现状及发展趋势王巍1摘要基于惯性系统的运动信息动态精确测量技术是现代各类运载体制导与控制的基础,惯性技术是在各种复杂环境...
惯性系统三轴综合测试转台总体设计若干问题的探讨,三轴,转台,总体设计,惯性导航系统。本文从框架形式、总体布局、轴承的种类和布置方式等方面,讨论了惯性系统三轴综合测试转台总体设计中的若干问题,从设…
MEMS惯性传感器是制约微惯性技术发展的关键,主要表现在可靠性、精准性等方面;可靠性方面,对于MENS惯性器件的典型失效模式与失效机理的研究,有助于典型环境载荷和惯性传感器失效机理,并从现有微电子可靠性测试标准,选择相应的测试方法;MENS
论文设计了微惯性传感器的版图和MEMS器件制作的工艺步骤,给出了传感器的初步制作结果,同时通过对传感器的截面剖图说明了传感器的内部单元和检测电容间距,介绍了传感器的实际工作原理,以此证明传感器制作工艺的可行性和合理性。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
二、常用误差分析方法.1.Allan方差.这应该是当前最常用的误差分析方法了，我们得到的数据都是各种误差混合在一起的，这种方法能够把各种混合误差很好地分离出来，使之不会互相影响。.比如，有的陀螺温度特性比较好，有的比较差，用别的方法可能分析...
惯性器件数字化测试技术的研究-机械工程专业论文.docx,ClassifiedIndex:V448.15+1U.D.C:621.317.3DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringTHEINVESTIGATIONOFDIGITALTESTSYSTEMFORINERTIALDEVICESCandidate
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文1.2三轴测试转台综述1.2.1三轴测试转台的总体结构测试转台是惯性导航系统和惯性元件研制过程中必须的重要设备，它可以用来进行惯导系统和元件的检定、标定以及建立误差模型。
微惯性测量系统键器件的研究.pdf,摘要随着微惯性测量系统应用的Fi趋广泛，微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本义主要通过对微惯性测量系统中加速度计和歼关两个关键部件的研究，来进一步解决应用于新…代火箭的微惯性测量系统的微型化问题。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
惯性技术研究现状及发展趋势.第39卷第6期2013年6月自动化学报ACTAAUTOMATICASINICol.39,No.6June,2013惯性技术研究现状及发展趋势王巍1摘要基于惯性系统的运动信息动态精确测量技术是现代各类运载体制导与控制的基础,惯性技术是在各种复杂环境...
惯性系统三轴综合测试转台总体设计若干问题的探讨,三轴,转台,总体设计,惯性导航系统。本文从框架形式、总体布局、轴承的种类和布置方式等方面,讨论了惯性系统三轴综合测试转台总体设计中的若干问题,从设…
MEMS惯性传感器是制约微惯性技术发展的关键,主要表现在可靠性、精准性等方面;可靠性方面,对于MENS惯性器件的典型失效模式与失效机理的研究,有助于典型环境载荷和惯性传感器失效机理,并从现有微电子可靠性测试标准,选择相应的测试方法;MENS
论文设计了微惯性传感器的版图和MEMS器件制作的工艺步骤,给出了传感器的初步制作结果,同时通过对传感器的截面剖图说明了传感器的内部单元和检测电容间距,介绍了传感器的实际工作原理,以此证明传感器制作工艺的可行性和合理性。
论文针对工程应用需求,对两种典型的MEMS惯性器件——MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的设计、工艺、电路、测试及应用方法等工程化关键技术进行了研究。论文的主要研究内容和研究成果如下:开展了双质量线振动MEMS陀螺仪和“三明治”式MEMS加速度计的结构机理与方案研究。
二、常用误差分析方法.1.Allan方差.这应该是当前最常用的误差分析方法了，我们得到的数据都是各种误差混合在一起的，这种方法能够把各种混合误差很好地分离出来，使之不会互相影响。.比如，有的陀螺温度特性比较好，有的比较差，用别的方法可能分析...
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