PECVD镀膜颜色异常及异常...2页免费离线镀膜玻璃的色差分析...4页免费...太阳能电池片...【论文】QFD在PECVD镀膜设备中的应用PECVD镀膜设备作为太阳能电池生产设备中的关键设备,PECVD产品技术特征是满足硅片镀膜需求的重要因素。本文将...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计(论文)(2013届)题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料(1)班指导教师胡耐根新余学院...
常见pecvd镀膜色差片分析ppt课件.色差片分析现象:1、片子的背面外围一圈没有镀上膜,呈硅片原色,中间颜色不定,有蓝色和彩色等;、片子的正面边缘色彩正常,为蓝色,膜厚正常,中间一般呈红色。.一、石墨舟片上有一面没有插片背面正面原因分析...
用PECVD技术氧化硅薄膜,研究了生成样品的位置对薄膜成分、结构和性能的影响,探讨了兼具高透光性和耐刮擦性的功能装饰氧化硅薄膜的方法。.结果表明,在阳极位置生成的薄膜具有Si(CH3)nO有机氧化硅结构,在380~780nm波长范围内透光率高达90%~98%...
膜厚控制在77-93nm,硅片镀膜面颜色呈PECVD镀膜后的减反射效果明显。0.000.100.200.300.400.500.600.70300400500600700800900100011001200Wavelength(nm)二、设备简介设备跟产品的质量联系最为密切,PECVD主要使用的设备分为板式跟管式。
PECVD石墨舟对镀膜的影响?摘要:使用管式PECVD镀膜,设备原配的石墨舟载片168片,为了提高产能,近期试用了载片196片的石墨舟,但在试用及调试过程中出现了很多异常如图所示:(点击图片可以查看清晰大图)snokehyhuafei920使用管式...
我们组用PECVD法氮化硅在单晶硅的表面生长氮化硅可是会出现各种彩色?这是为什么?如何确定我们长出的这种东西的成分...这是因为氮化硅膜的厚度和折射率不一样造成肉眼观察到的颜色不一样;就氮化硅减反射膜来说,n*d=λ/4,n-膜...
我们组用PECVD法氮化硅在单晶硅的表面生长氮化硅可是会出现各种彩色?这是为什么?如何确定我们长出的这种东西的成分...这是因为氮化硅膜的厚度和折射率不一样造成肉眼观察到的颜色不一样;就氮化硅减反射膜来说,n*d=λ/4,n-膜...
PECVD标准作业指导书.doc,目录一、PECVD目的2二、PECVD原理2三、适用范围2四、职责2五、操作流程21.开机22.上片...
真空纳米镀膜的测试实验3.1颜们在老化宣纸上镀上膜层后,经国家重点实验室检测,色差ΔE仅为0.3[2],见表1,所以镀膜对产品自己的颜色没有影响,保持了产品自己的颜色[3]。表1纸和镀膜纸色度值和色差测试
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常见pecvd镀膜色差片分析ppt课件.色差片分析现象:1、片子的背面外围一圈没有镀上膜,呈硅片原色,中间颜色不定,有蓝色和彩色等;、片子的正面边缘色彩正常,为蓝色,膜厚正常,中间一般呈红色。.一、石墨舟片上有一面没有插片背面正面原因分析...
用PECVD技术氧化硅薄膜,研究了生成样品的位置对薄膜成分、结构和性能的影响,探讨了兼具高透光性和耐刮擦性的功能装饰氧化硅薄膜的方法。.结果表明,在阳极位置生成的薄膜具有Si(CH3)nO有机氧化硅结构,在380~780nm波长范围内透光率高达90%~98%...
膜厚控制在77-93nm,硅片镀膜面颜色呈PECVD镀膜后的减反射效果明显。0.000.100.200.300.400.500.600.70300400500600700800900100011001200Wavelength(nm)二、设备简介设备跟产品的质量联系最为密切,PECVD主要使用的设备分为板式跟管式。
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