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氮化硅基纳米梁腔及其应用研究.【摘要】：一维光子晶体纳米梁腔因其在光传输方向上存在光子禁带的特殊结构,具有腔品质因子高、模式体积小和光-物质相互作用强等优点。.这些优点使得纳米梁腔结构非常适合作为传感和光源的核心单元。.近红外波段的...
浙江大学硕士论文姚日英PEcVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究2．1引言第二章文献综述氮化硅薄膜具备良好的光电性质、钝化性能和抗水汽渗透能力，并能有效阻止B、P、Na等杂质的扩散，因此在光电子和微电子器件中得到广泛的应用，主要用来做绝缘层...
氮化硅在集成电路铜互连中的应用研究和改善.【摘要】：集成电路遵循摩尔定律飞速发展,器件的特征尺寸越来越小,集成度越来越高,后段金属互连对芯片工作的速度、功耗等影响也越来越大。.在集成电路工艺走向0.13um开始,在后端金属互连中,由于铜的低电阻率...
基于这些优点,本论文利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法富硅-氮化硅薄膜材料,研究沉积参数对富硅-氮化硅薄膜结构的影响,以及薄膜后再进行退火处理的发光特性质的研究,有益于得出最佳的工艺参数应用于材料的中。.本文利用射频PECVD法...
【摘要】：氮化硅光波导具有芯包层折射率差大、器件尺寸小、集成度高、性能稳定性高等优点,较之于目前的SOI,其成本低且工艺简单。本论文理论和实验研究了氮化硅光波导的损耗特性及其优化方法。论文以氮化硅和二氧化硅分别为波导芯层和包层材料,首先基于光波导理论设计了两种端面尺寸...
涂层氮化硅刀具切削性能及其应用扩展研究.【摘要】随着切削的高速、高精、高效、智能和环保化,单从刀具的设计和制造工艺或刀具材料的整体性能上来适应这些要求是很难达到的,从刀具切削失效的大量实例可见,绝大部分的失效往往与材料表面的物理...
2019年中国氮化硅薄膜市场规模达到了XX亿元，预计2026年可以达到XX亿元，未来几年年复合增长率(CAGR)为XX%。本报告研究中国市场氮化硅薄膜的生产、消费及进出口情况，重点关注在中国市场扮演重要角色的全球及本土…
又一世界纪录！.中科大08级少年班学者取得氮化硅波导重大突破，实现集成波导材料中最低损耗.“我觉得可以这样看，我们有这样的技术，如果一些非常特殊的应用需要用到这样的技术，我们有能力解决。.我们想在国内把这个技术做出来，想把技术壁垒消除...
【摘要】导辊是钢铁业高速线材生产的主要易耗件。目前,用碳化钛钢结硬质合金制造导卫辊(导卫轮),是当今世界钢铁工业界的共识,但其生产困难,成本非常高。氮化硅陶瓷材料具有高强度、高硬度、耐氧化、耐腐蚀和抗冲击等优良性能,研究氮化硅陶瓷导辊的性能是否能够满足工业生产要求,具有重要...
氮化硅基纳米梁腔及其应用研究.【摘要】：一维光子晶体纳米梁腔因其在光传输方向上存在光子禁带的特殊结构,具有腔品质因子高、模式体积小和光-物质相互作用强等优点。.这些优点使得纳米梁腔结构非常适合作为传感和光源的核心单元。.近红外波段的...
浙江大学硕士论文姚日英PEcVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究2．1引言第二章文献综述氮化硅薄膜具备良好的光电性质、钝化性能和抗水汽渗透能力，并能有效阻止B、P、Na等杂质的扩散，因此在光电子和微电子器件中得到广泛的应用，主要用来做绝缘层...
氮化硅在集成电路铜互连中的应用研究和改善.【摘要】：集成电路遵循摩尔定律飞速发展,器件的特征尺寸越来越小,集成度越来越高,后段金属互连对芯片工作的速度、功耗等影响也越来越大。.在集成电路工艺走向0.13um开始,在后端金属互连中,由于铜的低电阻率...
基于这些优点,本论文利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法富硅-氮化硅薄膜材料,研究沉积参数对富硅-氮化硅薄膜结构的影响,以及薄膜后再进行退火处理的发光特性质的研究,有益于得出最佳的工艺参数应用于材料的中。.本文利用射频PECVD法...
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涂层氮化硅刀具切削性能及其应用扩展研究.【摘要】随着切削的高速、高精、高效、智能和环保化,单从刀具的设计和制造工艺或刀具材料的整体性能上来适应这些要求是很难达到的,从刀具切削失效的大量实例可见,绝大部分的失效往往与材料表面的物理...
2019年中国氮化硅薄膜市场规模达到了XX亿元，预计2026年可以达到XX亿元，未来几年年复合增长率(CAGR)为XX%。本报告研究中国市场氮化硅薄膜的生产、消费及进出口情况，重点关注在中国市场扮演重要角色的全球及本土…
又一世界纪录！.中科大08级少年班学者取得氮化硅波导重大突破，实现集成波导材料中最低损耗.“我觉得可以这样看，我们有这样的技术，如果一些非常特殊的应用需要用到这样的技术，我们有能力解决。.我们想在国内把这个技术做出来，想把技术壁垒消除...
【摘要】导辊是钢铁业高速线材生产的主要易耗件。目前,用碳化钛钢结硬质合金制造导卫辊(导卫轮),是当今世界钢铁工业界的共识,但其生产困难,成本非常高。氮化硅陶瓷材料具有高强度、高硬度、耐氧化、耐腐蚀和抗冲击等优良性能,研究氮化硅陶瓷导辊的性能是否能够满足工业生产要求,具有重要...
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