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（凝聚态物理专业优秀论文）氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究凝聚态物理学（CONDENSEDMATTERPHYSICS）是从微观角度出发，研究由大量粒子（原子、分子、离子、电子）组成的凝聚态的结构、动力学过程及其与宏观物理性质之间的联系的一门学科。凝聚态物理是以固体物理为基础的外向延拓...
氮化硅薄膜在很多领域得到了广泛的应用，其可以作为氧化掩膜、保护钝化层、栅极绝缘层、腐蚀停止层和层问绝缘体。.本论文采用射频磁控溅射法，靶材是纯度为99．99％的硅靶，基底为普通载玻片，工作气体采用纯度为99．999％的氩气和氮气。.使用x射线...
本论文实验研究结果分为如下几个部分:1.反应气源为SiH_4、NH_3、N_2,文章研究N_2流量的改变对氮化硅薄膜结构及性质的影响。实验结果分析表明:少量通入氮流量,薄膜Si-N键浓度增强,氮与硅含量比值增大;继续增加氮流量,薄膜逐渐呈富氮态,伴随缺陷态...
氮化硅集成光波导损耗特性研究.【摘要】：氮化硅光波导具有芯包层折射率差大、器件尺寸小、集成度高、性能稳定性高等优点,较之于目前的SOI,其成本低且工艺简单。.本论文理论和实验研究了氮化硅光波导的损耗特性及其优化方法。.论文以氮化硅和...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计（论文）（2013届）题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料（1）班指导教师胡耐根新余学院...
PECVD法沉积氮化硅薄膜性质工艺实验研究第38卷，增刊红外与激光工程2009年11Vol.38SupplementInfraredLaserEngineeringNov.2009（北京邮电大学信息光子学与光通信教育部重点实验室，北京100876）摘要：使用新型HQ-3型等离子体增强...
根据论文的描述，研究团队利用氮化硅微腔光频梳技术实现了一种新型的超大规模并行相干激光雷达，可以利用孤子微梳一次实现近30个的相干激光雷达信道，并同时测量待测物体的距离和速度…
【摘要】：氮化硅薄膜由于具有耐磨性好、机械强度高、绝缘性好并能够抗碱金属离子、水汽的侵蚀而被广泛用于半导体器件的钝化层、介质层及微结构器件的结构支撑层。等离子增强化学气相沉积(PECVD)法薄膜技术由于具有沉积温度低、台阶覆盖能力强、工艺重复性高等优点而被作为半导体...
同时借助拉曼光谱、原子力显微镜等手段，研究了不同形貌的氮化硅衬底对该复合材料性能的影响。相关论文以题为“EffectofpatternedsiliconnitridesubstrateonRamanscatteringandstressofgraphene”发表在MaterialsandDesign。论文链接：https://doi.org
1赵梦;张跃;;磷酸盐粘结氮化硅多孔陶瓷的[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年2吴澜尔;;碳化硅陶瓷材料研发进展[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年3陈健;黄政仁;刘学建;高剑琴;;直接压力成型碳化硅陶瓷[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会...
（凝聚态物理专业优秀论文）氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究凝聚态物理学（CONDENSEDMATTERPHYSICS）是从微观角度出发，研究由大量粒子（原子、分子、离子、电子）组成的凝聚态的结构、动力学过程及其与宏观物理性质之间的联系的一门学科。凝聚态物理是以固体物理为基础的外向延拓...
氮化硅薄膜在很多领域得到了广泛的应用，其可以作为氧化掩膜、保护钝化层、栅极绝缘层、腐蚀停止层和层问绝缘体。.本论文采用射频磁控溅射法，靶材是纯度为99．99％的硅靶，基底为普通载玻片，工作气体采用纯度为99．999％的氩气和氮气。.使用x射线...
本论文实验研究结果分为如下几个部分:1.反应气源为SiH_4、NH_3、N_2,文章研究N_2流量的改变对氮化硅薄膜结构及性质的影响。实验结果分析表明:少量通入氮流量,薄膜Si-N键浓度增强,氮与硅含量比值增大;继续增加氮流量,薄膜逐渐呈富氮态,伴随缺陷态...
氮化硅集成光波导损耗特性研究.【摘要】：氮化硅光波导具有芯包层折射率差大、器件尺寸小、集成度高、性能稳定性高等优点,较之于目前的SOI,其成本低且工艺简单。.本论文理论和实验研究了氮化硅光波导的损耗特性及其优化方法。.论文以氮化硅和...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计（论文）（2013届）题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料（1）班指导教师胡耐根新余学院...
PECVD法沉积氮化硅薄膜性质工艺实验研究第38卷，增刊红外与激光工程2009年11Vol.38SupplementInfraredLaserEngineeringNov.2009（北京邮电大学信息光子学与光通信教育部重点实验室，北京100876）摘要：使用新型HQ-3型等离子体增强...
根据论文的描述，研究团队利用氮化硅微腔光频梳技术实现了一种新型的超大规模并行相干激光雷达，可以利用孤子微梳一次实现近30个的相干激光雷达信道，并同时测量待测物体的距离和速度…
【摘要】：氮化硅薄膜由于具有耐磨性好、机械强度高、绝缘性好并能够抗碱金属离子、水汽的侵蚀而被广泛用于半导体器件的钝化层、介质层及微结构器件的结构支撑层。等离子增强化学气相沉积(PECVD)法薄膜技术由于具有沉积温度低、台阶覆盖能力强、工艺重复性高等优点而被作为半导体...
同时借助拉曼光谱、原子力显微镜等手段，研究了不同形貌的氮化硅衬底对该复合材料性能的影响。相关论文以题为“EffectofpatternedsiliconnitridesubstrateonRamanscatteringandstressofgraphene”发表在MaterialsandDesign。论文链接：https://doi.org
1赵梦;张跃;;磷酸盐粘结氮化硅多孔陶瓷的[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年2吴澜尔;;碳化硅陶瓷材料研发进展[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年3陈健;黄政仁;刘学建;高剑琴;;直接压力成型碳化硅陶瓷[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会...
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