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28课题名称单晶硅片抛光工艺分析与试验专业/班级学生姓名3069123117指导教师单位/职称课题来源企业生产任务成果形式论文所属岗位工艺员一、毕业设计（论文）课题的主要内容、任务和目标、基本要求等：全球90%以上IC都采用硅片。
流程单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片倒角→研磨腐蚀--抛光→清洗→包装切断目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。
单晶硅片与硬磁盘基片的研磨和化学机械抛光的若干问题的研究.pdf,沈阳理工大学硕士论文摘要本文基于PRESTON方程深入研究了单晶硅片与硬磁盘基片在研磨和化学机械抛光过程中材料去除机理和影响其过程的关键问题—工件表面速度和压力场的分布情况，找到速度与压力场的分布对材料去除率的...
根据硅片生产流程，首先通过提纯硅氧化得到多晶硅，其后通过单晶硅生长工艺得到硅片原始材料单晶锭，再通过切片、研磨、抛光等硅片制造工艺得到抛光硅片。通过对抛光硅片进行特殊工艺处理，可得到退火片、外延片等具
单晶硅设备工艺流程.ppt,单晶硅设备培训目录1.硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6...
单晶硅片从切片到抛光清洗的工艺流程.1.硅棒粘接：用粘接剂对硅棒和碳板进行粘接，以利于牢固的固定在切割机上和方位角的确定。.2.切片(Slice)：主要利用内圆切割机或线切割机进行切割，以获得达到其要求的厚度，X、Y方向角，曲翘度的薄硅片。.3...
由于目前先进器件制造用的硅晶圆几乎全部由CZ法单晶硅棒而成，故下面仅对CZ法进行说明。.首先，将多晶硅装入CZ炉内的石英坩埚中，由石墨加热器将其加热熔融得到硅熔液]。.多晶硅原料是由圆柱状粉碎为团块（lump）状以便于熔融。.硅的熔点大约为1420...
单晶硅流程及其抛光硅片工艺流程2017-10-20581硅片自旋转磨削法的优点与单晶硅片的工艺介绍2017-09-28383凤凰光伏即将推出新一代G6准单晶硅片2012-05-21636什么是单晶硅...
期间，从一单晶硅棒到成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外，整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的从一相对较脏的环境开始，最终在10级净空房内完成。工艺过程综述
单晶硅抛光片生产工艺流程流程：单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片倒角→研磨腐蚀→抛光→清洗→包装切断：目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。
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流程单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片倒角→研磨腐蚀--抛光→清洗→包装切断目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。
单晶硅片与硬磁盘基片的研磨和化学机械抛光的若干问题的研究.pdf,沈阳理工大学硕士论文摘要本文基于PRESTON方程深入研究了单晶硅片与硬磁盘基片在研磨和化学机械抛光过程中材料去除机理和影响其过程的关键问题—工件表面速度和压力场的分布情况，找到速度与压力场的分布对材料去除率的...
根据硅片生产流程，首先通过提纯硅氧化得到多晶硅，其后通过单晶硅生长工艺得到硅片原始材料单晶锭，再通过切片、研磨、抛光等硅片制造工艺得到抛光硅片。通过对抛光硅片进行特殊工艺处理，可得到退火片、外延片等具
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单晶硅抛光片生产工艺流程流程：单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片倒角→研磨腐蚀→抛光→清洗→包装切断：目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。
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