发表服务
硕士学位论文（学位研究生）l学校代码106991分类号TP212．1036100483题目三轴硅微加速度计的集成设计与实现学科、专业指导教师申请学位日期作者20D6．5硒北＝r＝业大学硕J：学位论文摘要微机械加速度计具有体积小、寿命长、功耗低和易于批量生产的特点，广泛应用于战术导弹中段制…
摘要：硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之一.在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式.运用ANSYS对加速度计关键结构尺寸进行优化,明确了关键结构尺寸的变化对...
工学硕士学位论文叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究硕士生姓名学科领域研究方向精密工程与微机电系统指导教师吴学忠教授国防科学技术大学研究生院二oo六年十一月国防科学技术大学研究生院学位论文摘要利用MEMS技术制造的微加速度计具有体积小、功耗低、可靠性高等优点...
图书分类号UDC硕士学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究论文答辩El期2111年一生月一21学位授予El期——年——月——日论文评阅人答辩委员会主席2007年4月23日中北大学学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究摘要随着硅微技术的不断成熟，硅微加速度计已经…
南京理工大学硕士学位论文硅微谐振式加速度计的温度特性研究姓名：董金虎申请学位级别：硕士专业：精密仪器与机械指导教师：裘安萍201203硕士论文硅微谐振式加速度计的温度特性研究摘要硅微谐振式加速度计（SiliconResonantAccelerometer，简称SRA）以其高精度、宽动态范围、低功…
一种硅微型加速度计的与测试方法研究,硅微加速度计,,测试。本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、技术及测试方法,这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考...
该加速度计使用单晶硅材料制作，与AD公司、Sandia实验室研制的收稿日期：2011—05—03第12期李晶，等：谐振式硅微机械加速度计研究进展52μm厚的多晶硅MEMS结构相比，该传感器使得偏轴灵敏度大大降低，增强了惯性器件的鲁棒性
近十年硅微电容式加速度计调研报告汇.docx,I.近十年硅微电容式加速度计发展综述I.1.概述MEMS加速度计具有非常广泛的应用，由于其批量制造低成本的特性，在过去的若干年广泛应用于消费电子市场，取得了巨大的成功。然而MEMS加速度计的发展...
二、综合性设计实验：隧道式硅微加速度计的设计与图1加速度计的尺寸构造图图2加速度计构造顶视图题意：图为隧道电流式硅微加速度计的构造尺寸外型图，设计建立模型并求解。
目前，硅微加速度计的主要发展趋势是高精度、集成化和小型化，大部分采用集成化封装，并在此基础上不断朝着高精度、数字化和高可靠性的方向发展。这主要得益于MEMS工艺的快速发展和数字ASIC电路检测能力的不断提升。
硕士学位论文（学位研究生）l学校代码106991分类号TP212．1036100483题目三轴硅微加速度计的集成设计与实现学科、专业指导教师申请学位日期作者20D6．5硒北＝r＝业大学硕J：学位论文摘要微机械加速度计具有体积小、寿命长、功耗低和易于批量生产的特点，广泛应用于战术导弹中段制…
摘要：硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之一.在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式.运用ANSYS对加速度计关键结构尺寸进行优化,明确了关键结构尺寸的变化对...
工学硕士学位论文叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究硕士生姓名学科领域研究方向精密工程与微机电系统指导教师吴学忠教授国防科学技术大学研究生院二oo六年十一月国防科学技术大学研究生院学位论文摘要利用MEMS技术制造的微加速度计具有体积小、功耗低、可靠性高等优点...
图书分类号UDC硕士学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究论文答辩El期2111年一生月一21学位授予El期——年——月——日论文评阅人答辩委员会主席2007年4月23日中北大学学位论文硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究摘要随着硅微技术的不断成熟，硅微加速度计已经…
南京理工大学硕士学位论文硅微谐振式加速度计的温度特性研究姓名：董金虎申请学位级别：硕士专业：精密仪器与机械指导教师：裘安萍201203硕士论文硅微谐振式加速度计的温度特性研究摘要硅微谐振式加速度计（SiliconResonantAccelerometer，简称SRA）以其高精度、宽动态范围、低功…
一种硅微型加速度计的与测试方法研究,硅微加速度计,,测试。本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、技术及测试方法,这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考...
该加速度计使用单晶硅材料制作，与AD公司、Sandia实验室研制的收稿日期：2011—05—03第12期李晶，等：谐振式硅微机械加速度计研究进展52μm厚的多晶硅MEMS结构相比，该传感器使得偏轴灵敏度大大降低，增强了惯性器件的鲁棒性
近十年硅微电容式加速度计调研报告汇.docx,I.近十年硅微电容式加速度计发展综述I.1.概述MEMS加速度计具有非常广泛的应用，由于其批量制造低成本的特性，在过去的若干年广泛应用于消费电子市场，取得了巨大的成功。然而MEMS加速度计的发展...
二、综合性设计实验：隧道式硅微加速度计的设计与图1加速度计的尺寸构造图图2加速度计构造顶视图题意：图为隧道电流式硅微加速度计的构造尺寸外型图，设计建立模型并求解。
目前，硅微加速度计的主要发展趋势是高精度、集成化和小型化，大部分采用集成化封装，并在此基础上不断朝着高精度、数字化和高可靠性的方向发展。这主要得益于MEMS工艺的快速发展和数字ASIC电路检测能力的不断提升。
发表服务