磁控溅射法氧化锌铝薄膜及其性能研究.周苏.【摘要】:目前应用最广泛的透明导电膜是铟锡氧化物薄膜(ITO),其技术是成熟的,但由于InSn等材料有自然储量少、工艺复杂、有毒、稳定性差等缺点。.因此,急需一种替代产品来满足人们的需要。.ZAO...
磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究暨南大学硕士论文磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究近年来,透明导电薄膜已成为液晶显示、触控面板、太阳能电池等的关键性材料之一,越来越受到人们的重视。
在双面氧化长有1.4um的二氧化硅的p100硅片上面用磁控溅射镀上1.2um的铝,镀完后发现有很大部分区域颜色发黑,没有铝金属光泽。用万用表测试是否短路发现颜色较浅的区域能导通,颜色最暗的小部分区域无法导通,显示有很小的电阻。然后按照...
三氧化二铝靶材Al2O3靶材磁控溅射靶材科研实验专用三氧化二铝靶材Al2O3靶材磁控溅射靶材电子束镀膜蒸发料纯度99.99%产品介绍氧化铝(Al2O3)在矿业、制陶业和材料科
关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题.作者suifeng_muiq.来源:小木虫60012帖子.+关注.我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射,靶材为2英寸的SiO2.溅射功率是100w和150w,工作气压是0.1Pa。.然后对SiO2的绝缘性进行测试,发现200nm,250nm的二氧化硅的绝缘性不好...
西北大学硕士学位论文磁控溅射法氧化锌薄膜的和光学性能研究姓名:朱冠芳申请学位级别:硕士专业:光学指导教师:姚合宝20080605西北大学硕士论文摘要紫外波段激光器在信息显示和信息存储方面,具有存储密度高,反应速度快等特点,特别是在海底探测、紫外通讯、光存储、诊断...
磁控溅射五氧化二钒薄膜的研究李志栓~,吴孙桃,李静,郭东辉。(1.厦门大学物理系,福建厦门361005;2.厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门361005)摘要:采用射频磁控溅射的方法,在不同条件下制
磁控溅射论文亲水性论文二氧化钛薄膜论文版权申明:目录由用户yongganl**提供,51papers仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
本发明具体涉及一种在利用磁控溅射A相二氧化钒薄膜的方法,属于新型无机功能材料领域。背景技术钒的四价氧化物二氧化钒晶相结构种类繁多,已知的结构有金红石相结构(R相),单斜相结构(M相),三斜相结构(T相),以及中间相A相和B相。其中的M相和R相二氧化钒由于可以相互转化,且相变温度...
在本实施方式中,通过射频磁控溅射工艺在金属衬底100上溅射一层三氧化二铝作为第一隔离层200,其厚度例如约为1-2微米。[0023]在步骤S203中,在第一隔离层200上通过溅射法生成第二隔离…
磁控溅射法氧化锌铝薄膜及其性能研究.周苏.【摘要】:目前应用最广泛的透明导电膜是铟锡氧化物薄膜(ITO),其技术是成熟的,但由于InSn等材料有自然储量少、工艺复杂、有毒、稳定性差等缺点。.因此,急需一种替代产品来满足人们的需要。.ZAO...
磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究暨南大学硕士论文磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究近年来,透明导电薄膜已成为液晶显示、触控面板、太阳能电池等的关键性材料之一,越来越受到人们的重视。
在双面氧化长有1.4um的二氧化硅的p100硅片上面用磁控溅射镀上1.2um的铝,镀完后发现有很大部分区域颜色发黑,没有铝金属光泽。用万用表测试是否短路发现颜色较浅的区域能导通,颜色最暗的小部分区域无法导通,显示有很小的电阻。然后按照...
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关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题.作者suifeng_muiq.来源:小木虫60012帖子.+关注.我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射,靶材为2英寸的SiO2.溅射功率是100w和150w,工作气压是0.1Pa。.然后对SiO2的绝缘性进行测试,发现200nm,250nm的二氧化硅的绝缘性不好...
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本发明具体涉及一种在利用磁控溅射A相二氧化钒薄膜的方法,属于新型无机功能材料领域。背景技术钒的四价氧化物二氧化钒晶相结构种类繁多,已知的结构有金红石相结构(R相),单斜相结构(M相),三斜相结构(T相),以及中间相A相和B相。其中的M相和R相二氧化钒由于可以相互转化,且相变温度...
在本实施方式中,通过射频磁控溅射工艺在金属衬底100上溅射一层三氧化二铝作为第一隔离层200,其厚度例如约为1-2微米。[0023]在步骤S203中,在第一隔离层200上通过溅射法生成第二隔离…