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更多相关参考论文设计文档资源请访问/lzj781219本论文中样品采用中科院沈阳科学仪器厂JGP350型磁控溅射镀膜机，真空抽气系统由机械泵（前级泵）和分子泵（主泵）组成，极限真空度可达2.010-4Pa。
2014磁控溅射镀膜技术文献综述论文.doc,磁控溅射镀膜技术文献综述摘要因现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。镀膜技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。
东莞南玻工程玻璃有限公司广东东莞523000[摘要]本文综合分析了当前磁控溅射的镀膜技术发展情况，并对该项镀膜技术实践应用，进行了有效性地研究，以能够全面了解与掌握磁控溅射的镀膜技术，将磁控溅射的镀膜技术各项功能优势充分应用在相应的行业领域当中，为广大镀膜玻璃生产企业...
磁控溅射法Cu膜论文.doc,.word版本.磁控溅射法Cu膜摘要沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工艺，已经成为半导体集成电路金属化工艺的主流。本文重点对在硅晶圆上溅射金属铜薄膜的实际镀膜过程中的淀积速率进行了理论和实验研究。
磁控溅射具有“低温”、“高速”两大特点，故又称为高速低温溅射技术。二、实验图2高真空磁控溅射镀膜机真空室结构示意图按各部分的功能分类，该设备主要由真空系统、溅射镀膜系统、测量及控制系统三部分组成：1、真空系统及其测量
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]国内外正在不断扩大应用磁控溅射技术的范围，促使磁控溅射现已发展成为镀膜工业生产中一项最关键的技术，但同时磁控溅射中的靶材也显现出一些不足。
东北大学硕士学位论文第2章磁控溅射原理和镀膜装置第2章磁控溅射原理和镀膜装置科学和生产发展的事实说明，电子学的发展深刻地影响着当今社会的各个领域。在电子学的发展中，起重要作用的是在理论研究的指导下，关键性新器件和新...
单位代码：学号：100862010233铝合金轮毂表面磁控溅射镀膜工艺的研究Studyaluminumalloywheelmagnetronsputteringprocess学位申请人：指导教师：学科专业：学位类别：授予单位：答辩日期：机械制造及其自动化工学硕士河北农业大学二。
分类号UDC密级学位论文1931143小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性的研究作者姓名：指导教师：张以忱副教授东北大学真空与流体工程研究所申请学位级别：硕士学科类别：工学学科专业名称：流体机械及工程论文提交日期：2008年6月论文答辩日期：2008年7月学位授予日期：东北大…
微颗粒表面磁控溅射镀膜研究.俞晓正.【摘要】：在粉体颗粒表面镀薄膜可显著增强其应用功效。.磁控溅射沉积作为一种高质量的镀膜方法,也逐渐被应用于粉体颗粒表面镀膜。.本论文根据磁控溅射及粉体颗粒的特点,设计并研制了一套微颗粒磁控溅射镀膜...
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东莞南玻工程玻璃有限公司广东东莞523000[摘要]本文综合分析了当前磁控溅射的镀膜技术发展情况，并对该项镀膜技术实践应用，进行了有效性地研究，以能够全面了解与掌握磁控溅射的镀膜技术，将磁控溅射的镀膜技术各项功能优势充分应用在相应的行业领域当中，为广大镀膜玻璃生产企业...
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磁控溅射具有“低温”、“高速”两大特点，故又称为高速低温溅射技术。二、实验图2高真空磁控溅射镀膜机真空室结构示意图按各部分的功能分类，该设备主要由真空系统、溅射镀膜系统、测量及控制系统三部分组成：1、真空系统及其测量
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分类号UDC密级学位论文1931143小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性的研究作者姓名：指导教师：张以忱副教授东北大学真空与流体工程研究所申请学位级别：硕士学科类别：工学学科专业名称：流体机械及工程论文提交日期：2008年6月论文答辩日期：2008年7月学位授予日期：东北大…
微颗粒表面磁控溅射镀膜研究.俞晓正.【摘要】：在粉体颗粒表面镀薄膜可显著增强其应用功效。.磁控溅射沉积作为一种高质量的镀膜方法,也逐渐被应用于粉体颗粒表面镀膜。.本论文根据磁控溅射及粉体颗粒的特点,设计并研制了一套微颗粒磁控溅射镀膜...
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