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超净高纯试剂的现状应用及配套关键技术.doc,超净高纯试剂现实状况、应用、及配套技术1微电子技术发展微电子技术关键是指用于半导体器件和集成电路(IC)微细制作一系列蚀刻和处理技术,其中集成电路,尤其是大规模及超大规模集成电路微细技术又是微电子技术关键,是电子信息...
1;超净高纯试剂的研制、开发和生产情况[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年2何禄宽;;超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年3郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光...
超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂的主要应用领域包括半导体行业和太阳能行业，半导体行业用超净高纯试剂要求相对较高，目前我国高端产品主要靠进口，国内主要生产中低端产品。
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展施云海,(华东理工大学化学工程研究所,上海200237)大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗...
超净高纯硝酸纯化技术的研究进展,纯化水硝酸盐超标,纯化水硝酸盐检测,纯化水硝酸盐,纯化水硝酸盐不合格,高纯净钢基料,超净高纯试剂,安利净水器亚硝酸盐,硝酸是纯净物吗,纯化水
1975年，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定了国际统一的超净高纯试剂标准，如表1所示。.目前，国际上SEMI-C1到SEMI-C12级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟。.随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的液体化学品纯度的要求也不断提高。.从技术...
1;超净高纯试剂的研制、开发和生产情况[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成电路配套材料...
1何禄宽;;超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成电路...
我国超净高纯化学试剂产业的基本状况.docx,我国超净高纯化学试剂产业的基本状况詹家荣1,2(1.上海化学试剂研究所,上海200333;2.上海华谊微电子材料有限公司,上海200940)摘要:主要综述了目前国内超净高纯化学试剂产业的发展现状,主要从...
【摘要】：大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂,金属离子等杂质含量降至几十个1×10-9以下,甚至达到1×10-12水平。
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1;超净高纯试剂的研制、开发和生产情况[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年2何禄宽;;超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年3郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光...
超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂的主要应用领域包括半导体行业和太阳能行业，半导体行业用超净高纯试剂要求相对较高，目前我国高端产品主要靠进口，国内主要生产中低端产品。
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展施云海,(华东理工大学化学工程研究所,上海200237)大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗...
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1975年，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定了国际统一的超净高纯试剂标准，如表1所示。.目前，国际上SEMI-C1到SEMI-C12级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟。.随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的液体化学品纯度的要求也不断提高。.从技术...
1;超净高纯试剂的研制、开发和生产情况[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成电路配套材料...
1何禄宽;;超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成电路...
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【摘要】：大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂,金属离子等杂质含量降至几十个1×10-9以下,甚至达到1×10-12水平。
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