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超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂的主要应用领域包括半导体行业和太阳能行业，半导体行业用超净高纯试剂要求相对较高，目前我国高端产品主要靠进口，国内主要生产中低端产品。
超净高纯试剂的现状应用及配套关键技术.doc,超净高纯试剂现实状况、应用、及配套技术1微电子技术发展微电子技术关键是指用于半导体器件和集成电路(IC)微细制作一系列蚀刻和处理技术,其中集成电路,尤其是大规模及超大规模集成电路微细技术又是微电子技术关键,是电子信息...
超净高纯试剂的质量要求和检测要求.何禄宽.【摘要】：正超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀。.具有品种多、用量大、技术要求高等特点。.在现阶段,集成电路(IC)和超大...
超净高纯试剂提纯方法的研究进展.周淑珍李涛李玉任保增.【摘要】：超净高纯试剂是化学试剂的主要发展方向之一,工业生产与科学研究对试剂纯度的要求越来越高。.针对不同的需要,出现了许多不同的试剂提纯方法。.本文列举了一些高纯试剂的提纯方法...
我国超净高纯化学试剂产业的基本状况.docx,我国超净高纯化学试剂产业的基本状况詹家荣1,2(1.上海化学试剂研究所,上海200333;2.上海华谊微电子材料有限公司,上海200940)摘要:主要综述了目前国内超净高纯化学试剂产业的发展现状,主要从...
更高级的超净高纯试剂，仍需依赖于进口。因此我们进行了TSVL级超净高纯试剂氢氟酸的研制，以满足我国Fj益发展的超大规模集成电路的需要。根据94年EMej－ck标准哆线宽l一2um集成电路应与VLSI级的超净试剂相配套。
超净高纯硝酸纯化技术的研究进展,纯化水硝酸盐超标,纯化水硝酸盐检测,纯化水硝酸盐,纯化水硝酸盐不合格,高纯净钢基料,超净高纯试剂,安利净水器亚硝酸盐,硝酸是纯净物吗,纯化水
1975年，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定了国际统一的超净高纯试剂标准，如表1所示。.目前，国际上SEMI-C1到SEMI-C12级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟。.随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的液体化学品纯度的要求也不断提高。.从技术...
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展施云海,(华东理工大学化学工程研究所,上海200237)大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗...
当前我国微电子工业对超净高纯试剂的质量要求文档贡献者漫系轻舟贡献于2012-11-231/2相关文档推荐2017年微电子化学品超净...45页¥998.002015年微电子化学品超净...44页¥898.00年产10000吨超净高纯试剂...
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