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1.1.2超净高纯试剂超净高纯试剂（Ultra-cleanHigh-purityReagents）在国际上通称为工艺化学品（ProcessChemicals），美欧和中国地区又称湿化学品（WetChemicals），是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的
1何禄宽;;超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成电路...
我国超净高纯化学试剂产业的基本状况.docx,我国超净高纯化学试剂产业的基本状况詹家荣1,2(1.上海化学试剂研究所,上海200333;2.上海华谊微电子材料有限公司,上海200940)摘要:主要综述了目前国内超净高纯化学试剂产业的发展现状,主要从...
超净高纯试剂提纯方法的研究进展.周淑珍李涛李玉任保增.【摘要】：超净高纯试剂是化学试剂的主要发展方向之一,工业生产与科学研究对试剂纯度的要求越来越高。.针对不同的需要,出现了许多不同的试剂提纯方法。.本文列举了一些高纯试剂的提纯方法...
1穆启道;;我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年2郑学根;邱晓生;汪道明;;一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集（工科卷）[C];2005年3穆启道;;ULSI配套用超净高纯试剂的研究[A];集成...
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展施云海,(华东理工大学化学工程研究所,上海200237)大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗...
【摘要】：大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂,金属离子等杂质含量降至几十个1×10-9以下,甚至达到1×10-12水平。
2017年微电子化学品超净高纯试剂光刻胶行业分析报告.docx,2017年微电子化学品超净高纯试剂光刻胶行业分析报告2017年3月目录TOC\o"1-5"\h\z\u一、行业主要产品及用途61、超净高纯试剂62、光刻胶63、功能性材料74、锂电池粘结剂75...
电子化学品性能要求及生产技术..doc,电子化学品性能要求及生产技术电子化学品的质量规格及标准电子化学品的质量标准的演变为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational，国际半导体设备和...
超净高纯试剂的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障。简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展。
1.1.2超净高纯试剂超净高纯试剂（Ultra-cleanHigh-purityReagents）在国际上通称为工艺化学品（ProcessChemicals），美欧和中国地区又称湿化学品（WetChemicals），是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的
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超净高纯试剂提纯方法的研究进展.周淑珍李涛李玉任保增.【摘要】：超净高纯试剂是化学试剂的主要发展方向之一,工业生产与科学研究对试剂纯度的要求越来越高。.针对不同的需要,出现了许多不同的试剂提纯方法。.本文列举了一些高纯试剂的提纯方法...
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微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展施云海,(华东理工大学化学工程研究所,上海200237)大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗...
【摘要】：大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂,金属离子等杂质含量降至几十个1×10-9以下,甚至达到1×10-12水平。
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超净高纯试剂的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障。简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展。
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