催化反应。多晶硅氢化的意思是催化反应，多晶硅生产过程中的氢化就是将产生的四氯化硅加氢气还原成三氯氢硅再回头进入还原车间，氢化现主要分为冷氢化与热氢化工艺不同，但目的都是一样的处理四氯化硅。
多晶硅冷氢化渣浆工艺的原理是化学合成。根据查询相关公开信息可知：多晶硅冷氢化渣浆的工艺处理原理是利用石灰乳中和成碱性物质后再排出。采用多晶硅工厂的副产物四氯化硅（STC）作原料，将其转化为三氯氢硅（TCS），然后将三氯氢硅通过歧化反应生产硅烷。
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