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科学研究的成果通常都是以发表论文、申请专利、出版专著等形式呈现。只有在发表、出版和评价科研成果中保持诚信才可能对公众提供可靠的知识，科技才能发展进步。在撰写与发表研究成果时，有些作者往往忽略在文献引证、样本制备、数据处理、署名与贡献对等的诚信责任问题。阅读和标注参考文献是科学研究和论文撰写中一项重要工作。参考文献是论文的重要组成部分，即为作者的论点提供支撑，也表明作者对他人劳动成果的尊重，还为审稿人鉴别论文价值提供了依据。为确保引用准确，标注参考文献一定要是论文观点的原始出处，不要引用综述类论文的转述，转述的观点往往参入了转述人的曲解。转引也是对论文原始作者的不尊重。科技论文的作者要特别注意，对于那些对自己的研究工作提供了启发思路和支持观点的已有研究成果，应当用引证的方式给予标注。如果某研究成果引用了他人的研究却有意隐瞒，会被视为“剽窃”，属于严重的学术不端行为。即便是粗心的疏漏，而不是有意的剽窃，也会被确认为学术不端，受到相应的处罚。论文中凡涉及有直接引用他人成果(文字、数据、方法以及观点)的地方均应在论文后部的参考文献中或加以注释，参考文献按该引用成果在论文中出现的顺序列出。当你在论文中引用了别人的文字、数据或观点，不在参考文献中列出，无论是有意还是无意，都会被认定为抄袭。论文作者的引文行为也要遵守学术规范和学术道德。不能为了迎合编辑部的要求、迫于学术权威的压力或者为了阿谀权威而引证；也不能以自诩为目的、带偏见的相互吹捧、为支持或打击某一学者而不正当引证；更不能为自己或他人寻求经济利益而引证；为了形式上提高引文的质量，将引自译著的引文标注为引自原著; 将实际上是二次文献的转引，不查阅原始文献而标注为直引等。还包括仅仅是为增加引文数量的不当引用等现象，例如：真实的研究工作并不需要，而只是为了提高引用率，扩大自己的影响，作者之间的利益交换等，为了提高彼此的引用率，不必引用而故意引用; 也包括个别学报为了提高影响因子，动员作者引用自己学报发表的论文; 小团体之间的不当相互引用，并不体现真实的引用率和论文质量等。故意在参考文献中加入大量实际上没有参考或引用过的文献，造成一种阅读了大量文献，研究基础扎实的印象来欺读者; 为逃避被指责为抄袭，在直接引用他人的相关文献后，不标出具体的引文出处，而是将文献笼统地列在参考文献中; 研究过程中不注重科技查新，故意不查阅对自己研究不利的文献，只选择对自己研究有利的文献。为了突出自己的研究成果而故意不提及别人已有的研究成果等。
参考文献格式：[1] 高性能碱矿渣混凝土制备关键技术研究[Z]重庆市建筑科学研究院[2] 水下及地下混凝土裂缝自动愈合机理研究[Z]东北林业大学万方包库可以直接导出科技成果的文献格式文献标识类型01根据GB3469规定，以单字母方式标识以下各种参考文献类型如图所示。对于专著、论文集中的析出文献，其文献类型标识建议采用单字母“A”；对于其他未说明的文献类型，建议采用单字母“Z”。02对于数据库(database)、计算机程序(computer program)及电子公告(electronic bulletin board)等电子文献类型的参考文献，建议以下列双字母作为标识，如图。03对于非纸张型载体的电子文献，当被引用为参考文献时需在参考文献类型标识中同时标明其载体类型。本规范建议采用双字母表示电子文献载体类型：磁带 (magnetic tape)—MT，磁盘(disk)--DK，光盘(CD-ROM)—CD，联机网络(online)—OL，并以下列格式表示包括了文献载体类型的参考 文献类型标识如图。以纸张为载体的传统文献在引作参考文献时不必注明其载体类型。
参考文献标准格式是指为了撰写论文而引用已经发表的文献的格式，根据参考资料类型可分为专著[M]，会议论文集[C]，报纸文章[N]，期刊文章[J]，学位论文[D]，报告[R]，标准[S]，专利[P]，论文集中的析出文献[A]，杂志[G]。1、期刊论文类一般格式如下：作者论文名称[J]期刊名称,发表年份(第几期):页码注意：一般而言，参考文献里的标点符号用的是英文状态下输入的标点符号。输完汉字要切换到英文状态，再输入相应的标点符号。示例：沈延生村政的兴衰与重建[J]战略与管理,1998(6):1-2、学位论文类一般格式如下：作者论文名称[D]毕业院校所在城市:毕业院校,论文提交年份:页码示例：刘杨同人小说的著作权问题研究[D]重庆:西南政法大学,2012:12-3、书籍著作类一般格式如下：作者著作名称[M]出版社所在城市:出版社名称,出版年份:页码示例：金太军村治治理与权力结构[M]广州:广州人民出版社,2008:扩展资料最主要的是根据载体把文献分为印刷型、缩微型、机读型和声像型。（1）印刷型：是文献的最基本方式，包括铅印、油印、胶印、石印等各种资料。优点查可直接、方便地阅读。（2）缩微型：是以感光材料为载体的文献，又可分为缩微胶卷和缩微平片，优点是体积小、便于保存、转移和传递。但阅读时须用阅读器。（3）计算机阅读型：是一种最新形式的载体。它主要通过编码和程序设计，把文献变成符号和机器语言，输入计算机，存储在磁带或磁盘上，阅读时，再由计算机输出，它能存储大量情报，可按任何形式组织这些情报，并能以极快的速度从中取出所需的情报。出现的电子图书即属于这种类型。（4）声像型：又称直感型或视听型，是以声音和图像形式记录在载体上的文献，如唱片、录音带、录像带、科技电影、幻灯片等。参考资料来源：百度百科—文献参考资料来源：百度百科—参考文献标准格式
科学研究的成果通常都是以发表论文、申请专利、出版专著等形式呈现。只有在发表、出版和评价科研成果中保持诚信才可能对公众提供可靠的知识，科技才能发展进步。在撰写与发表研究成果时，有些作者往往忽略在文献引证、样本制备、数据处理、署名与贡献对等的诚信责任问题。阅读和标注参考文献是科学研究和论文撰写中一项重要工作。参考文献是论文的重要组成部分，即为作者的论点提供支撑，也表明作者对他人劳动成果的尊重，还为审稿人鉴别论文价值提供了依据。为确保引用准确，标注参考文献一定要是论文观点的原始出处，不要引用综述类论文的转述，转述的观点往往参入了转述人的曲解。转引也是对论文原始作者的不尊重。科技论文的作者要特别注意，对于那些对自己的研究工作提供了启发思路和支持观点的已有研究成果，应当用引证的方式给予标注。如果某研究成果引用了他人的研究却有意隐瞒，会被视为“剽窃”，属于严重的学术不端行为。即便是粗心的疏漏，而不是有意的剽窃，也会被确认为学术不端，受到相应的处罚。论文中凡涉及有直接引用他人成果(文字、数据、方法以及观点)的地方均应在论文后部的参考文献中或加以注释，参考文献按该引用成果在论文中出现的顺序列出。当你在论文中引用了别人的文字、数据或观点，不在参考文献中列出，无论是有意还是无意，都会被认定为抄袭。论文作者的引文行为也要遵守学术规范和学术道德。不能为了迎合编辑部的要求、迫于学术权威的压力或者为了阿谀权威而引证；也不能以自诩为目的、带偏见的相互吹捧、为支持或打击某一学者而不正当引证；更不能为自己或他人寻求经济利益而引证；为了形式上提高引文的质量，将引自译著的引文标注为引自原著; 将实际上是二次文献的转引，不查阅原始文献而标注为直引等。还包括仅仅是为增加引文数量的不当引用等现象，例如：真实的研究工作并不需要，而只是为了提高引用率，扩大自己的影响，作者之间的利益交换等，为了提高彼此的引用率，不必引用而故意引用; 也包括个别学报为了提高影响因子，动员作者引用自己学报发表的论文; 小团体之间的不当相互引用，并不体现真实的引用率和论文质量等。故意在参考文献中加入大量实际上没有参考或引用过的文献，造成一种阅读了大量文献，研究基础扎实的印象来欺读者; 为逃避被指责为抄袭，在直接引用他人的相关文献后，不标出具体的引文出处，而是将文献笼统地列在参考文献中; 研究过程中不注重科技查新，故意不查阅对自己研究不利的文献，只选择对自己研究有利的文献。为了突出自己的研究成果而故意不提及别人已有的研究成果等。
不想告诉你们
课题研究报告格式说明：课题研究报告没有固定模式，仅供参考。研究者根据实际情况撰写。一、题目。要求明确、鲜明、简练、醒目。一般不用副标题，字数不宜过长。二、摘要。要求准确、精练、简朴地概括全文内容。三、引言（或前言、问题的提出）。引言不是研究报告的主体部分，因此要简明扼要。内容包括：1、提出研究的问题；2、介绍研究的背景；3、指出研究的目的；4、阐明研究的假设；5、说明研究的意义。 四、研究方法。不同的课题，有不同的研究方法。这是研究报告的重要部分，以实验研究法为例，其内容应包括： 1 、研究的对象及其取样；2、仪器设备的应用；3、相关因素和无关因素的控制；4、操作程序与方法；5、操作性概念的界定；6、研究结果的统计方法。 五、研究结果及其分析。这是研究报告的主体部分：要求现实与材料要统一、科学性与通俗性相结合、分析讨论要实事求是，切忌主观臆断。其内容：1、用不同形式表达研究结果（如图、表）；2、描述统计的显著性水平差异；3、分析结果。 六、讨论（或小结）。这也是研究报告的主体部分。其内容：1、本课题研究方法的科学性；2、本课题研究结果的可靠性；3、本研究成果的价值；4、本课题目前研究的局限性；5、进一步研究的建议。 七、结论。这是研究报告的精髓部分。文字要简练、措词、慎重、严谨、逻辑性强。主要内容：1、研究解决了什么问题，还有哪些问题没有解决；2、研究结果说明了什么问题，是否实现了原来的假设；3、指出要进一步研究的问题。八、参考文献。九 、附录。如调查表、测量结果表等。 课题研究报告撰写的基本要求一、标题 可使用比正文大1—2号的字型与变化了的字体（黑体）来排列，上空2—3行，下空1—2行。二、署名 接标题下一行，一般写上“××单位课题组”，在右上角打上一个“﹡”，然后在首页文末划一横线下面加注，也注上“﹡”号相呼应。加注时要标明课题的级别、性质、归属、立题年份、负责人姓名、成员（顾问）姓名、研究报告的撰写者以及一些谢辞。也可单独列一页，或放置正文末尾括号中，将具体的工作与成员予以说明。三、内容摘要和关键词 内容摘要是对研究报告中所描述的背景、采用的主要方法、形成的结论与提出的新见解的简要说明，以100—300字为宜，接着“××单位课题组”空1—2行，其中“内容摘要”用中括号，变体字。关键词除了帮助检索之外，还在于可提醒本研究报告的阅读者着意理解所列词语，以2—5个为宜，紧接着“内容摘要”，其中“关键词”也用中括号，变体字。四、正文 正文是教育科研报告的主体部分，包括以下几个方面：1、问题的提出⑴是揭示问题或困难；⑵是研究的目的和意义⑶是研究现状的综述⑷是本课题关键概念的界定。2、课题研究目标 目标的确定与后文的研究效果分析的思路要一致，有一定的联系。3、课题研究的思路与框架这一部分需说明自己对本课题研究思路的角度和特色，还要将研究对象的选择、研究工具、研究步骤等方面的问题交代清楚。4、课题已经的内容与方法 这是研究成果的主体，是课题研究内容的全面展开。5、研究结果的分析与讨论结果是根据研究过程中搜集到的资料、数据进行整理后展示的客观事实，它告诉我们最终得到什么，这些东西是什么。结果可用图直观表达，也可用文字简要说明。五、结论 这是整个研究过程的结晶。它是在研究结果分析的基础上经过推理、判断、归纳而概括出更高一个层次的成果或观点。结论指出研究结果说明了什么，今后应怎样办等。六、存在的问题与后续的研究七、报告落笔的时间： 一般放在正文右下方。 参考资料的基本格式
论文的参考文献格式怎么写
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文，它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
毕业论文研究方法怎么写，为什么很难下笔
题报告是指开题者对科研课题的一种文字说明材料。这是一种新的应用文体，这种文字体裁是随着现代科学研究活动计划性的增强和科研选题程序化管理的需要应运而生的。开题报告一般为表格式，它把要报告的每一项内容转换成相应的栏目，这样做，既便于开题报告按目填写，避免遗漏；又便于评审者一目了然，把握要点。开题报告包括综述、关键技术、可行性分析和时间安排等四个方面 。开题报告作为毕业论文答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。由于开题报告是用文字体现的论文总构想,因而篇幅不必过大,但要把计划研究的课题、如何研究、理论适用等主要问题。 开题报告的总述部分应首先提出选题,并简明扼要地说明该选题的目的、目前相关课题研究情况、理论适用、研究方法。开题报告是由选题者把自己所选的课题的概况(即"开题报告内容")，向有关专家、学者、科技人员进行陈述。然后由他们对科研课题进行评议。亦可采用"德尔菲法"评分；再由科研管理部门综合评议的意见，确定是否批准这一选题。开题报告的内容大致如下：课题名称、承担单位、课题负责人、起止年限、报名提纲。报名提纲包括：(1)课题的目的、意义、国内外研究概况和有关文献资料的主要观点与结论；(2)研究对象、研究内容、各项有关指标、主要研究方法(包括是否已进行试验性研究)；(3)大致的进度安排；(4)准备工作的情况和目前已具备的条件(包括人员、仪器、设备等)；(5)尚需增添的主要设备和仪器(用途、名称、规格、型号、数量、价格等)；(6)经费概算；(7)预期研究结果；(8)承担单位和主要协作单位、及人员分工等。同行评议，着重是从选题的依据、意义和技术可行性上做出判断。即从科学技术本身为决策提供必要的依据。 开题报告的格式(通用) 由于开题报告是用文字体现的论文总构想，因而篇幅不必过大，但要把计划研究的课题、如何研究、理论适用等主要问题说清楚，应包含两个部分：总述、提纲。 1 总述 开题报告的总述部分应首先提出选题，并简明扼要地说明该选题的目的、目前相关课题研究情况、理论适用、研究方法、必要的数据等等。 2 提纲 开题报告包含的论文提纲可以是粗线条的，是一个研究构想的基本框架。可采用整句式或整段式提纲形式。在开题阶段，提纲的目的是让人清楚论文的基本框架，没有必要像论文目录那样详细。 3 参考文献 开题报告中应包括相关参考文献的目录 4 要求 开题报告应有封面页，总页数应不少于4页。版面格式应符合以下规定。开 题 报 告 学 生： 一、 选题意义 1、 理论意义 2、 现实意义 二、 论文综述 1、 理论的渊源及演进过程 2、 国外有关研究的综述 3、 国内研究的综述 4、 本人对以上综述的评价 三、 论文提纲 前言、 一、1、2、3、··· ···二、1、2、3、··· ···三、1、2、3、结论 四、论文写作进度安排 毕业论文开题报告提纲一、开题报告封面：论文题目、系别、专业、年级、姓名、导师二、目的意义和国内外研究概况三、论文的理论依据、研究方法、研究内容四、研究条件和可能存在的问题五、预期的结果六、进度安排
（1）文献研究法根据所要研究内容 ，通过查阅相关文献获得充足的资料，从而全面地了解所研究课题的背景、历史、现状以及前景。（2）研究项目分析法在进行理论的搜集与分析之后，根据现有的研究项目对宠物进化模型，宠物行为模型模型的整体系统进行分析与设计，实现理论与实践的相结合，使理论有理有据，设计更合理。
论文的参考文献格式怎么写
参考文献规范格式 一、参考文献的类型 参考文献（即引文出处）的类型以单字母方式标识，具体如下： M——专著 C——论文集 N——报纸文章 J——期刊文章 D——学位论文 R——报告 对于不属于上述的文献类型，采用字母“Z”标识。 对于英文参考文献，还应注意以下两点： ①作者姓名采用“姓在前名在后”原则，具体格式是： 姓，名字的首字母 如： Malcolm Richard Cowley 应为：Cowley, MR，如果有两位作者，第一位作者方式不变，&之后第二位作者名字的首字母放在前面，姓放在后面，如：Frank Norris 与Irving Gordon应为：Norris, F & IG； ②书名、报刊名使用斜体字，如：Mastering English Literature，English Weekly。 二、参考文献的格式及举例 期刊类 【格式】[序号]作者篇名[J]刊名，出版年份，卷号（期号）：起止页码 【举例】 [1] 王海粟浅议会计信息披露模式[J]财政研究，2004,21(1)：56- [2] 夏鲁惠高等学校毕业论文教学情况调研报告[J]高等理科教育，2004(1):46- [3] Heider, ER& DCO The structure of color space in naming and memory of two languages [J] Foreign Language Teaching and Research, 1999, (3): 62 – 专著类 【格式】[序号]作者书名[M]出版地：出版社，出版年份：起止页码 【举例】[4] 葛家澍，林志军现代西方财务会计理论[M]厦门：厦门大学出版社，2001： [5] Gill, R Mastering English Literature [M] London: Macmillan, 1985: 42- 报纸类 【格式】[序号]作者篇名[N]报纸名，出版日期（版次） 【举例】 [6] 李大伦经济全球化的重要性[N] 光明日报，1998-12-27(3) [7] French, W Between Silences: A Voice from China[N] Atlantic Weekly, 1987-8-15(33) 论文集 【格式】[序号]作者篇名[C]出版地：出版者，出版年份：起始页码 【举例】 [8] 伍蠡甫西方文论选[C] 上海：上海译文出版社，1979：12- [9] Spivak,G “Can the Subaltern Speak?”[A] In CNelson & L Grossberg() Victory in Limbo: Imigism [C] Urbana: University of Illinois Press, 1988, 271- [10] Almarza, GG Student foreign language teacher’s knowledge growth [A] In DFreeman and JCRichards () Teacher Learning in Language Teaching [C] New York: Cambridge University P 50- 学位论文 【格式】[序号]作者篇名[D]出版地：保存者，出版年份：起始页码 【举例】 [11] 张筑生微分半动力系统的不变集[D]北京：北京大学数学系数学研究所, 1983：1- 研究报告 【格式】[序号]作者篇名[R]出版地：出版者，出版年份：起始页码 【举例】 [12] 冯西桥核反应堆压力管道与压力容器的LBB分析[R]北京：清华大学核能技术设计研究院, 1997：9- 条例 【格式】[序号]颁布单位条例名称发布日期 【举例】[15] 中华人民共和国科学技术委员会科学技术期刊管理办法[Z]1991—06—05 译著 【格式】[序号]原著作者 书名[M]译者，译出版地：出版社，出版年份：起止页码 三、注释 注释是对论文正文中某一特定内容的进一步解释或补充说明。注释前面用圈码①、②、③等标识。 四、参考文献 参考文献与文中注（王小龙，2005）对应。标号在标点符号内。多个都需要标注出来，而不是1-6等等 ，并列写出来。 最后，引用毕业论文属于学位论文，如格式5 学位论文 【格式】[序号]作者篇名[D]出版地：保存者，出版年份：起始页码 【举例】 [11] 张筑生微分半动力系统的不变集[D]北京：北京大学数学系数学研究所, 1983：1- 希望能帮到你。。。。
论文中参考文献引用的是国家颁布的文件或纲领政策，要用N字母表示。根据GB3469- 83《文献类型与文献载体代码》规定，以单字母标识：M一专 著(含古籍中的史、志论著)。C一论文集。N-报纸文章。J一期刊文章。D一学位论文。R-研究报告。S-标准。P-专利。A-专著、 论文集中的析出文献。Z一其他未说明的文献类型。电子文献类型以双字母作为标识：DB一数据库。CP一计算机程序。EB- 电子公告。非纸张型载体电子文献，在参考文献标识中同时标明其载体类型：DB/OL一联机网上的数据库。DB/MT一磁带数据库。M/CD-光 盘图书。CP/DK一磁 盘软件。J/OL-网上期刊。EB/OL一网上电子公告。参考文献著录格式：1、期刊作者题名[J]。刊名，出版年，卷(期)：起止页码。2、专著作者。书名 [M] 。版本(第一-版不著录)。出版地：出版者，出版年：起止页码。3、 论文集作者题名[C]编者论文集名，出版地：出版者，出版年：起止页码。4、学位论文作者题名[D] 。保存地点保存单位年份。5、专利文献题名[P] 。国别。专利文献种类专利号。出版日期。6、标准编号 。标准名称[S]。7、报纸作者题名[N] 。报纸名。出版日期(版次)。8、报告作者题名[R] 。保存地点年份。9、电子文献作者题名[电子文献及载体类型标识] 。文献出处，日期。
连续出版物的格式 标引项顺序号 作者题名[J]刊名，出版年份，卷号(期号)：起止页码 (外名可缩写，缩写后首字母大写，并省略缩写点) 专著的著录格式 标引项顺序号 作者书名[M]版本(第一版不标注)出版地：出版者，出版年:起止页码 论文集的著录格式 标引项顺序号 作者题名[C]见(英文用In)：主编论文集名出版地：出版者，出版年:起止页码 学位论文的著录格式 标引项顺序号 作者题名[D]保存地点：保存单位，年份 专利的著录格式 标引项顺序号 专利申请者题名[P]国别 专利文专利号，发布日期 技术标准的著录格式 标引项顺序号 起草责任者标准代号 标准顺序号—发布年 标准名称[S]出版地：出版者，出版年 报告 标引项顺序号 报告人题名[R]会议名称，会址，年份
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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文献类型不同，符号不同 （1）期刊文章（文献类型标识：J） [序号] 主要责任者。题名[J]。刊名，年，卷(期)：起止页码（任选）。 （2）专著（文献类型标识：M） [序号] 主要责任者。题名[M]。出版地：出版者，出版年，起止页码。 （3）论文集（文献类型标识：C）中析出的文献（文献类型标识：A） [序号] 析出文献主要责任者。析出文献题名[A]。论文集主要责任者（任选）。论文集题名[C]。出版地：出版者，出版年，析出文献起止页码。 （4）学位论文（文献类型标识：D） [序号] 主要责任者。题名[D]。出版地：出版者，出版年。 （5）国际、国家标准（文献类型标识：S） [序号] 标准编号，标准名称[S]。发布年。 （6）专利（文献类型标识：P） [序号] 专利所有者。专利名称[P]。专利国别：专利号，出版日期。 （7）电子文献 [序号] 主要责任者。电子文献题名。电子文献出处（或可获得地址），发表（或更新）日期/引用日期。 专著(M)；论文集（C）；报纸文章（N）；期刊文章（J）学位论文（D）；报告（R）；标准（S）专利（P） （8）未定义类型的文献（文献类型标识：Z） [序号] 主要责任者。文献题名[Z]。出版地：出版者，出版年。 另外，不同学校对于参考文献格式不同，详细的问论文指导老师
一：专著、论文集、报告 [序号]主要责任者文献题名[文献类型标识]出版地:出版者,出版年:起止页码(可选) 例如：[1]刘国钧,陈绍业图书馆目录[M]北京:高等教育出版社,1957:15-二：期刊文章 [序号]主要责任者文献题名[J]刊名,年,卷(期):起止页码 例如：[1]何龄修读南明史[J]中国史研究,1998,(3):167- [2]OU J P,SOONG T T,et Recent advance in research on applications of passive energy dissipation systems[J]Earthquack Eng,1997,38(3):358-三：论文集中的析出文献 [序号]析出文献主要责任者析出文献题名[A]原文献主要责任者(可选)原文献题名[C]出版地:出版者,出版年:起止页码 例如：[7]钟文发非线性规划在可燃毒物配置中的应用[A]赵炜运筹学的理论与应用——中国运筹学会第五届大会论文集[C]西安:西安电子科技大学出版社,1996:四：学位论文[序号]主要责任者文献题名[D]出版地:出版单位,出版年:起止页码(可选)例如：[4]赵天书诺西肽分阶段补料分批发酵过程优化研究[D]沈阳:东北大学,五：报纸文章[序号]主要责任者文献题名[N]报纸名,出版日期(版次) 例如：[8]谢希德创造学习的新思路[N]人民日报,1998-12-25(10)六：电子文献 [文献类型/载体类型标识]：[J/OL]网上期刊、[EB/OL]网上电子公告、 [M/CD]光盘图书、[DB/OL]网上数据库、[DB/MT]磁带数据库 [序号]主要责任者电子文献题名[电子文献及载体类型标识]电子文献的出版或获得地址,发表更新日期/引用日期 例如：[12]王明亮关于中国学术期刊标准化数据库系统工程的进展[EB/OL],1998-08-16/1998-10- [8]万锦中国大学学报文摘(1983-1993)英文版[DB/CD]北京:中国大百科全书出版社,