类金刚石(DLC)多层薄膜残余应力调控及其机械性能研究.徐照英.【摘要】:类金刚石(DLC)薄膜由于具有高硬度和弹性模量、低摩擦系数、优异的耐磨损性和耐腐蚀性等优异性能,而成为具有广泛应用前景的保护膜及耐磨材料。.多年的研究发现DLC薄膜中存在很...
DLC膜厚度对镁基表面DLC/MAO复合膜层性能的影响.:采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化(MAO)陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳(DLC)膜,形成DLC/MAO复合膜层。.对比研究4种膜基系统的表面结构特征、力学性能以及摩擦学性能差异。.结果表明...
综上,当膜层结构为Cr/CrC/DLC负偏压的增加一定程度上可以提高膜基结合力。其原因是,当基体负偏压增大时沉积粒子的离子数量和能量也相应增加,进而使基体表面轰击、注入能力增强,时涂层界面趋于模糊,扩散作用明显提高,进而膜与基体结合力增加。同时...
组合沉积DLC薄膜界面光学特性研究,类金刚石薄膜,椭偏分析,界面层,光学特性。无氢类金刚石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜沉积过程中有较多高能粒子参与成膜。参与成膜的高能粒子...
摘要:固液复合润滑是指由固体润滑薄膜和液体润滑介质协同形成的复合润滑系统,其中由于类金刚石碳膜(DiamondLikeCarbon,DLC薄膜)的高承载,低摩擦磨损优势,由DLC薄膜构成的固液复合润滑系统在汽车和航空航天领域有着广阔的应用前景.这种固液复合润滑系统在室温下能够表现出优异的润滑性能,但是...
所的低氢膜层在在大气中具有比高氢膜层优异的摩擦性能。但是在氮气测试气氛下,结果则于大气气氛下相反,高氢膜层的摩擦系数达到0.05。氢含量对薄膜硬度的影响不明显,氢含量的增加导致膜层的内应力增大,进而使膜基结合力降低。
用等离子体基脉冲偏压技术了DLC(类金刚石碳)膜,DLC膜硬度值达30GPa,电阻值达100MΩ以上.降低脉冲负偏压峰值及适量引入氢气可促进SP3结构的形成,但氢气量超过一定阈值后SP2束片尺寸细化,SP2键含量有增加的趋势.在GCr15轴承钢基体上经磁控溅射沉积约300nm纯Ti层,再用脉冲偏压技术沉积DLC...
论文|铬含量及摩擦条件对掺铬DLC膜摩擦磨损性能的影响论文|用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究论文|高气压DBD等离子体功能材料及其性能研究论文|Ti6A14V合金及其改性层的冲击磨损行为研究
采用原子力显微镜表征DLC膜的表面形貌和粗糙度。发现两种DLC膜表面粗糙度在0.25nm-0.35nm之间变动。两种DLC膜的表面呈现不同的形貌,旧工艺生产的DLC膜表面划痕朝向混乱,而新工艺DLC膜表面划痕则沿着一定的角度。
中频磁控和非平衡磁控放电特性及Cr-DLC膜层研究.张沛然.【摘要】:金属掺杂类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、低磨损率等优点被广泛应用于抗摩擦领域中。.传统磁控溅射存在靶材原子离化率低,反应磁控溅射中容易毒化,工作不稳定等问题。.非...
类金刚石(DLC)多层薄膜残余应力调控及其机械性能研究.徐照英.【摘要】:类金刚石(DLC)薄膜由于具有高硬度和弹性模量、低摩擦系数、优异的耐磨损性和耐腐蚀性等优异性能,而成为具有广泛应用前景的保护膜及耐磨材料。.多年的研究发现DLC薄膜中存在很...
DLC膜厚度对镁基表面DLC/MAO复合膜层性能的影响.:采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化(MAO)陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳(DLC)膜,形成DLC/MAO复合膜层。.对比研究4种膜基系统的表面结构特征、力学性能以及摩擦学性能差异。.结果表明...
综上,当膜层结构为Cr/CrC/DLC负偏压的增加一定程度上可以提高膜基结合力。其原因是,当基体负偏压增大时沉积粒子的离子数量和能量也相应增加,进而使基体表面轰击、注入能力增强,时涂层界面趋于模糊,扩散作用明显提高,进而膜与基体结合力增加。同时...
组合沉积DLC薄膜界面光学特性研究,类金刚石薄膜,椭偏分析,界面层,光学特性。无氢类金刚石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜沉积过程中有较多高能粒子参与成膜。参与成膜的高能粒子...
摘要:固液复合润滑是指由固体润滑薄膜和液体润滑介质协同形成的复合润滑系统,其中由于类金刚石碳膜(DiamondLikeCarbon,DLC薄膜)的高承载,低摩擦磨损优势,由DLC薄膜构成的固液复合润滑系统在汽车和航空航天领域有着广阔的应用前景.这种固液复合润滑系统在室温下能够表现出优异的润滑性能,但是...
所的低氢膜层在在大气中具有比高氢膜层优异的摩擦性能。但是在氮气测试气氛下,结果则于大气气氛下相反,高氢膜层的摩擦系数达到0.05。氢含量对薄膜硬度的影响不明显,氢含量的增加导致膜层的内应力增大,进而使膜基结合力降低。
用等离子体基脉冲偏压技术了DLC(类金刚石碳)膜,DLC膜硬度值达30GPa,电阻值达100MΩ以上.降低脉冲负偏压峰值及适量引入氢气可促进SP3结构的形成,但氢气量超过一定阈值后SP2束片尺寸细化,SP2键含量有增加的趋势.在GCr15轴承钢基体上经磁控溅射沉积约300nm纯Ti层,再用脉冲偏压技术沉积DLC...
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采用原子力显微镜表征DLC膜的表面形貌和粗糙度。发现两种DLC膜表面粗糙度在0.25nm-0.35nm之间变动。两种DLC膜的表面呈现不同的形貌,旧工艺生产的DLC膜表面划痕朝向混乱,而新工艺DLC膜表面划痕则沿着一定的角度。
中频磁控和非平衡磁控放电特性及Cr-DLC膜层研究.张沛然.【摘要】:金属掺杂类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、低磨损率等优点被广泛应用于抗摩擦领域中。.传统磁控溅射存在靶材原子离化率低,反应磁控溅射中容易毒化,工作不稳定等问题。.非...