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半导体技术是人类科学技术发展至今复杂的技术之一，被誉为现代制造业上的明珠，世界上复杂的物理化学理论和精密的设备，都能在半导体行业的生产线上见到，这次我们要聊的，就是当真空遇到化学气相沉积后所发生的美好事情。
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会议接收中英文稿件或长摘要。CPCC2021录用的论文出版论文集(电子版)，并在中国期刊网上发表论文摘要，便于同行交流与引用，但不影响会后全文投稿。会议设立张钟俊院士优秀论文奖、优秀学生论文奖及优秀张贴论文奖等（长摘要不进入评奖论文）。
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