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硕士专业学位论文论文题目基于SECS的半导体自动控制系统设计与实现研究生姓名智能信息系统论文提交日期2013基于SECS的...SECS通信基础2.1半导体的制程介绍2.1.1半导体前段制程介绍2.1.2半导体后道制程介绍102.2半导体自动化通信...
半导体行业中物料自动控制的应用研究-软件工程专业论文.docx,STOCKER的接口设计，以及对数据库性能方面的考虑,在这些设计的基础上，同时由于前期的规划、需求分析比较到位，使得这个系统基本涵盖了半导体搬运及流程的所有需求3)这个系统的设计完成，对于半导体行业中自动化物料搬…
论文为本人亲自撰写，并对所写内容负责。论文作者签名：半导体电子厂房控制系统的设计与实现摘要本论文主要讨论了半导体电子厂房控制系统的设计与实现。现场总线技术是一项新的自动化控制技术，可以改善控制系统的可靠性和稳定性，从而提高生产
1鲁战会;曹薇;;浅谈食品工厂自动化与计算机集成制造[A];21世纪人类食品面临的新问题学术论文集[C];2001年2刘春桥;张卫军;;模糊控制在浮选自动化中的应用[A];第十届全国煤矿自动化学术年会论文集[C];2000年3叶磊;;宣城500kV敬亭变电站自动化系统实施分析[A];华东六省一市电机（电力）工程学会输配…
半导体设备控制系统的优化设计与实现.【摘要】：面对海外设备厂商的市场垄断和技术,自主研发半导体设备既是国内半导体设备市场的迫切需求,也是国家意志的体现。.本文从控制程序设计、运动性能优化、控制功能升级以及通信机制建立四个方面提出了...
自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势-工业技术SClENCE＆丁ECHN0LO0Y20。13—NO．02．皿圆...对最终产品质量起到直接的决定性作用，对气体流量的控制不1半导体行业对自动化仪器仪表需求分仅具备较高...
2008年7月机电工程MECHANICALELECTRICALENGINEERINGMAGAZINEV01．25No．7Jul－2008半导体设备通讯标准GEM的应用兵（浙江工业大学信息学院，浙江杭州310032）摘要：SECS／GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。
图半导体晶圆生产线构架简图如图所示，设备自动化系统与生产线中其它系统之间的通讯采用TibcoRV协议，TibcoRV是一种广播式通信格式。而设备自动化系统与机台之间通过SECS/GEM通信，从而实现…
在机电自动化控制系统的发展进程中，传感器作用不可忽视,它不仅能够满足系统运行稳定要求。而且还具备限制其信息的获取能力，保证导致系统信息不受其他因素影响。3传感器技术在机电自动化控制中的实际应用3.1环境检测
半导体制造过程中的先进控制技术.吴澍袁德成刘剑.【摘要】：随着晶圆日趋增大和关键尺寸的不断缩小,半导体制造过程的质量实时控制变得越来越重要。.在分析半导体制造过程的动态特性、模型辨识、扰动来源及特征、量测方法及控制要求的基础上,从机...
硕士专业学位论文论文题目基于SECS的半导体自动控制系统设计与实现研究生姓名智能信息系统论文提交日期2013基于SECS的...SECS通信基础2.1半导体的制程介绍2.1.1半导体前段制程介绍2.1.2半导体后道制程介绍102.2半导体自动化通信...
半导体行业中物料自动控制的应用研究-软件工程专业论文.docx,STOCKER的接口设计，以及对数据库性能方面的考虑,在这些设计的基础上，同时由于前期的规划、需求分析比较到位，使得这个系统基本涵盖了半导体搬运及流程的所有需求3)这个系统的设计完成，对于半导体行业中自动化物料搬…
论文为本人亲自撰写，并对所写内容负责。论文作者签名：半导体电子厂房控制系统的设计与实现摘要本论文主要讨论了半导体电子厂房控制系统的设计与实现。现场总线技术是一项新的自动化控制技术，可以改善控制系统的可靠性和稳定性，从而提高生产
1鲁战会;曹薇;;浅谈食品工厂自动化与计算机集成制造[A];21世纪人类食品面临的新问题学术论文集[C];2001年2刘春桥;张卫军;;模糊控制在浮选自动化中的应用[A];第十届全国煤矿自动化学术年会论文集[C];2000年3叶磊;;宣城500kV敬亭变电站自动化系统实施分析[A];华东六省一市电机（电力）工程学会输配…
半导体设备控制系统的优化设计与实现.【摘要】：面对海外设备厂商的市场垄断和技术,自主研发半导体设备既是国内半导体设备市场的迫切需求,也是国家意志的体现。.本文从控制程序设计、运动性能优化、控制功能升级以及通信机制建立四个方面提出了...
自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势-工业技术SClENCE＆丁ECHN0LO0Y20。13—NO．02．皿圆...对最终产品质量起到直接的决定性作用，对气体流量的控制不1半导体行业对自动化仪器仪表需求分仅具备较高...
2008年7月机电工程MECHANICALELECTRICALENGINEERINGMAGAZINEV01．25No．7Jul－2008半导体设备通讯标准GEM的应用兵（浙江工业大学信息学院，浙江杭州310032）摘要：SECS／GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。
图半导体晶圆生产线构架简图如图所示，设备自动化系统与生产线中其它系统之间的通讯采用TibcoRV协议，TibcoRV是一种广播式通信格式。而设备自动化系统与机台之间通过SECS/GEM通信，从而实现…
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半导体制造过程中的先进控制技术.吴澍袁德成刘剑.【摘要】：随着晶圆日趋增大和关键尺寸的不断缩小,半导体制造过程的质量实时控制变得越来越重要。.在分析半导体制造过程的动态特性、模型辨识、扰动来源及特征、量测方法及控制要求的基础上,从机...
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