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电子束光刻技术的原理及其在微纳与.纳米器件中的应用.张琨,林罡,,田扬超,王晓平.1.2.3.3.13.(1中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室,安徽合肥230026;2南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室,江苏南京210016;3中国...
电子束光刻技术的原理及其在微纳与纳米器件中的应用_张琨.pdf,第25卷第2期电子显微学报Vol-25,No.22006年4月JournalofChineseElectronMicroscopySociety2006-4文章编号:1000-6281(2006)02-0097-07电子束光刻技术的原理...
光刻机为半导体制造中最为核心的设备，一台光刻机的价格是波音飞机的2倍多，超过1亿美元。光刻机市场被日本的尼康(Nikon)、佳能（Canon）和荷兰阿斯麦(ASML)垄断，从2011年到2017年数据来看，三家寡头市占率高达99%。
Cymer准分子激光器的应用Cymer准分子激光器利用铝制管道将激光束传送到Stepper或Scanner，管道是气密的，内充有一定压力的N防止外部尘粒侵入污染系统，管道长度小于20m。.Cymer激光器使用并行接口，串行接口和互锁线与Stepper交换信息，其中并行接口传送：触...
中国没有掌握的的技术，何止是芯片（转）.夏虫语冰.67人赞同了该文章.中国通信产业的核心痛点——“缺芯少魂”的问题，再次严峻地摆在人们面前。.“不能总是用别人的昨天来装扮自己的明天”，核心技术靠化缘是要不来的，也是花钱买不来的。.中国...
（参考）基于单片机的温度检测系统设计毕业论文.doc,基于单片机的温度检测系统设计摘要：当今时代，单片机技术已经普及到我们的生活、工作等已经成为一种比较成熟的技术本文介绍了一个基于AT89S52单片机的AT89S52单片机为核心元件，外加...
原文刊发于控制科学与工程学科发展报告、长文警告一、引言自动化科技，将人从单调而繁重的重复性工作中解放出来，进而使人能够更多地投入到创造性的工作中，极大地拓展了人类认知和改造世界的能力。显然，自动化…
半导体照明技术的发展与趋势文献报告.电子技术查新训练文献综述报告题目半导体照明技术的发展现状及趋势学班号级学生指导教师2012年f半导体照明技术的发展现状及趋势摘要：随着半导体照明技术的进步，对于半导体照明技术有了更高的要求...
电影声音数字革命啦，同学们来一起学习吧！.数字革命和计算机图形的发展，让电影画面制作已经到了近乎无所不能的境地，《阿凡达》的面世让观众更加感觉到想象力的伟大。.在画面风光进步的背后，电影声音的技术也发生了革命性进步，作为幕后英雄一直...
3、结束语湿法刻蚀工艺是半导体制造过程中非常重要的工艺之一，在漂去氧化硅、去除残留物、表层剥离以及大尺寸图形刻蚀应用等方面起着非常重要的作用。均匀性是刻蚀工艺的关键指标之一，本文列举的方法可以为相关工艺的开发提供参考。
电子束光刻技术的原理及其在微纳与.纳米器件中的应用.张琨,林罡,,田扬超,王晓平.1.2.3.3.13.(1中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室,安徽合肥230026;2南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室,江苏南京210016;3中国...
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3、结束语湿法刻蚀工艺是半导体制造过程中非常重要的工艺之一，在漂去氧化硅、去除残留物、表层剥离以及大尺寸图形刻蚀应用等方面起着非常重要的作用。均匀性是刻蚀工艺的关键指标之一，本文列举的方法可以为相关工艺的开发提供参考。
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