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多晶硅太阳能电池工艺16参考文献单晶硅太阳能电池生产工艺的研究：[硕士学位论文].长沙：湖南大学微纳光电器件及应用教育部重点实验室，2010刘志刚.多晶硅太阳电池新腐蚀液的研究及其应用：[博士学位论文].
湖北理工学院毕业设计（论文）改良西门子法基本原理及影响因素3.1基本原理还原炉内的反应：多晶硅生产过程中，核心部分为多晶硅还原生产，其基本原理为在还原炉内，用高纯三氯氢硅为原料，高纯氢气为还原剂，在1080～1100高温下硅被还原出来，有
多晶硅制作工艺流程简介.pdf,多晶硅制作工艺流程简介1、改良西门子法是目前主流的生产方法多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程...
多晶硅薄膜工艺及其的应用发展.doc,多晶硅薄膜工艺及其的应用发展摘要：多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造，其用途...
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]摘要：多晶硅在我国拥有着广泛的生产市场和消费市场，为了实现能量的集成与过程的优化，可以采用化工模拟软件PRO进行模拟集成，减少设备投资，提高工业化程度。
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]摘要：本文主要从笔者亲身参与的多晶硅的用途及分类与改良西门子法分析的废气主要处理工艺以及废气焚烧处理优化分析，旨在与同行探讨学习，共同进步。
湿法回收工艺消耗大、收率低，从而增加了整个多晶硅生产的成本。采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以100%分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。
通过使用上述技术过程，多晶硅制造公司可以在市场上更具竞争力。本文详细介绍了多晶硅生产的节能减排，以期在中国多晶硅生产中发挥一定的指导作用。参考文献：[1]曹军.多晶硅生产的节能减排措施[J].化工设计通讯，2020，46（01）：189-190.
三氯氢硅歧化硅烷及硅烷热分解多晶硅工艺分析-processanalysisofpreparingsilanebydisproportionationoftrichlorosilaneandpreparingpolysiliconbythermaldecompositionofsilane.docx,tubemodel.Whentheinlet-gasvelocityis0.08m/s...
掌握PECVD设备和基本原理，了解PECVD多晶硅薄膜中，沉积的动力学过程。.研究探讨PECVD多晶硅薄膜中的主要影响因素：反应气源、衬底材料、氢稀释浓度(硅烷浓度)、衬底温度、射频功率、反应气体压强等。.通过Raman光谱、SEM、数据曲线图等同步结合...
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湿法回收工艺消耗大、收率低，从而增加了整个多晶硅生产的成本。采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以100%分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。
通过使用上述技术过程，多晶硅制造公司可以在市场上更具竞争力。本文详细介绍了多晶硅生产的节能减排，以期在中国多晶硅生产中发挥一定的指导作用。参考文献：[1]曹军.多晶硅生产的节能减排措施[J].化工设计通讯，2020，46（01）：189-190.
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