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1.1电子束等离子体第12-13页1.2电子束等离子体研究第13-25页1.2.2电子束系统第13-16页1.2.3电子束流传输窗口第16-22页1.2.4电子束在气体中的传输第22-25页1.3电子束调控等离子体第25-26页1.4本论文的主要工作第26-28页第2
电子束毕业论文.pdf,电子束毕业论文电子束毕业论文一、问题摘要：随着制造工业的进步，数控已逐步主导了传统的机械，员工对特种的认识与了解需求也越来越大，对于数控技术大家都可以较为容易理解为计算机控制原理，但对于电技术的认识就比较少了，有...
电子束和离子束是近年来得到较大发展的新型特种。他们在精密微细方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束主要用于打孔、焊接等热和电子束光刻化学，而离子束则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等。
南京理工大学硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究姓名：杨伟声申请学位级别：硕士专业：光学工程指导教师：房红兵;张有彩20081006工程硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究摘要在红外光学系统中，绝大多数红外光学元件必须镀制减反射膜来降低表面…
期刊/会议论文>等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究2003年lO月第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会北京等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究清华大学微电子学研究所，中国北京100084【摘要】本文报道了用于释放聚酰亚胺牺牲层的氧气等离子体刻蚀工艺。
它的主要技术领域有激光束技术、电子束技术、离子束及等离子体技术以及高能束流复合技术等。.它包括焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细等，用于制造具有先进技术指标的构件或新型材料。.常用的高能密度束流...
第32卷第122013年12中国材料进展MATERIALSCHINol畅32No畅12Dec畅2013收稿日期：2013－08－13第一作者：1973年生，博士，高级工程师通讯作者：1958年生，博士DOI：10畅7502／j畅issn畅1674－3962畅2013畅12畅02聚焦离子束（FIB）及其应用（FEI公司，上海201203）简单介绍了聚焦离子束（FIB）的历史...
聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析,聚焦离子束;;失效分析;;透射式电子显微镜;;缺陷;;被动电位对比度;;电子束辅助化学气相沉积,集成电路在研制,生产,和使用中都会发生失效,通过失效分析工作可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷,工艺参数的不匹配;同时...
高能离子束注入技术不但可以对金属板料进行表面处理，还可以用于聚合物材料表面改性。2.4离子束装置离子束装置可分为离子源系统、真空系统、控制系统和电源系统。其中离子源系统与电子束装置不同，其余系统均类似。2.5应用2.5.1.
电子束与离子束特种讲义.ppt,§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的物理基础离子束射到材料表面时发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的分类离子刻蚀离子溅射沉积离子镀离子注入§6.2.1离子束的原理、分类和...
1.1电子束等离子体第12-13页1.2电子束等离子体研究第13-25页1.2.2电子束系统第13-16页1.2.3电子束流传输窗口第16-22页1.2.4电子束在气体中的传输第22-25页1.3电子束调控等离子体第25-26页1.4本论文的主要工作第26-28页第2
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电子束和离子束是近年来得到较大发展的新型特种。他们在精密微细方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束主要用于打孔、焊接等热和电子束光刻化学，而离子束则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等。
南京理工大学硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究姓名：杨伟声申请学位级别：硕士专业：光学工程指导教师：房红兵;张有彩20081006工程硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究摘要在红外光学系统中，绝大多数红外光学元件必须镀制减反射膜来降低表面…
期刊/会议论文>等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究2003年lO月第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会北京等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究清华大学微电子学研究所，中国北京100084【摘要】本文报道了用于释放聚酰亚胺牺牲层的氧气等离子体刻蚀工艺。
它的主要技术领域有激光束技术、电子束技术、离子束及等离子体技术以及高能束流复合技术等。.它包括焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细等，用于制造具有先进技术指标的构件或新型材料。.常用的高能密度束流...
第32卷第122013年12中国材料进展MATERIALSCHINol畅32No畅12Dec畅2013收稿日期：2013－08－13第一作者：1973年生，博士，高级工程师通讯作者：1958年生，博士DOI：10畅7502／j畅issn畅1674－3962畅2013畅12畅02聚焦离子束（FIB）及其应用（FEI公司，上海201203）简单介绍了聚焦离子束（FIB）的历史...
聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析,聚焦离子束;;失效分析;;透射式电子显微镜;;缺陷;;被动电位对比度;;电子束辅助化学气相沉积,集成电路在研制,生产,和使用中都会发生失效,通过失效分析工作可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷,工艺参数的不匹配;同时...
高能离子束注入技术不但可以对金属板料进行表面处理，还可以用于聚合物材料表面改性。2.4离子束装置离子束装置可分为离子源系统、真空系统、控制系统和电源系统。其中离子源系统与电子束装置不同，其余系统均类似。2.5应用2.5.1.
电子束与离子束特种讲义.ppt,§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的物理基础离子束射到材料表面时发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的分类离子刻蚀离子溅射沉积离子镀离子注入§6.2.1离子束的原理、分类和...
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