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电子束毕业论文.pdf,电子束毕业论文电子束毕业论文一、问题摘要：随着制造工业的进步，数控已逐步主导了传统的机械，员工对特种的认识与了解需求也越来越大，对于数控技术大家都可以较为容易理解为计算机控制原理，但对于电技术的认识就比较少了，有...
高能离子束注入技术不但可以对金属板料进行表面处理，还可以用于聚合物材料表面改性。2.4离子束装置离子束装置可分为离子源系统、真空系统、控制系统和电源系统。其中离子源系统与电子束装置不同，其余系统均类似。2.5应用2.5.1.
电子束有热型和非热型两种，热型是利用电子束将材料的局部加热至熔化或气化点进行的，适合打孔、切割槽缝、焊接及其他深结构的微细；非热型是利用电子束的化学效应进行刻蚀、大面积薄层等微细等。离子束主要应用于微细
它的主要技术领域有激光束技术、电子束技术、离子束及等离子体技术以及高能束流复合技术等。.它包括焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细等，用于制造具有先进技术指标的构件或新型材料。.常用的高能密度束流...
电子束离子束的发展趋势及应用聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。聚焦的离子束在其他方面也有应用。
陈炳贻用于飞机涡轮叶片的EB-PVD方法1993(03)14.范玉殿电子束和离子束19891.魏德强.信卫坡.王荣CVC8铝合金电子束改性的组织与性能的研究[期刊论文]-装备制造技术2010(1)2.魏德强.…
复旦大学学位论文论文题目聚焦离子束薄膜技术研究摘要聚焦离子束是一种将微分析和微加相结合的新技术在纳米级线度的微细领域发挥着非常重要的作用。近十年来该技术已经大量应用于微电子领域的失效分析、工艺诊断、对亚微米器件的修补、为制各样品、掩模版的修补、代替电子束...
图1.2铜样品截面像:(a)电子束扫描得到的图像，(b)离子束扫描得到的图像2、溅射溅射是FIB的最主要功能。溅射是入射离子将能量传递固体靶材原子，使这些原子获得足够多的能量而逃逸出固体表面的现象。
2003年10月第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会北京ArF准分子激光光刻相移掩模技术木（1一中国科学院光电技术研究所微细光学技术国家重点实验室，中国成都，6102092一中国科学院微电子中心，北京100029）摘要：对用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模（PSM）技术作了阐述，对无...
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高能离子束注入技术不但可以对金属板料进行表面处理，还可以用于聚合物材料表面改性。2.4离子束装置离子束装置可分为离子源系统、真空系统、控制系统和电源系统。其中离子源系统与电子束装置不同，其余系统均类似。2.5应用2.5.1.
电子束有热型和非热型两种，热型是利用电子束将材料的局部加热至熔化或气化点进行的，适合打孔、切割槽缝、焊接及其他深结构的微细；非热型是利用电子束的化学效应进行刻蚀、大面积薄层等微细等。离子束主要应用于微细
它的主要技术领域有激光束技术、电子束技术、离子束及等离子体技术以及高能束流复合技术等。.它包括焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细等，用于制造具有先进技术指标的构件或新型材料。.常用的高能密度束流...
电子束离子束的发展趋势及应用聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。聚焦的离子束在其他方面也有应用。
陈炳贻用于飞机涡轮叶片的EB-PVD方法1993(03)14.范玉殿电子束和离子束19891.魏德强.信卫坡.王荣CVC8铝合金电子束改性的组织与性能的研究[期刊论文]-装备制造技术2010(1)2.魏德强.…
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图1.2铜样品截面像:(a)电子束扫描得到的图像，(b)离子束扫描得到的图像2、溅射溅射是FIB的最主要功能。溅射是入射离子将能量传递固体靶材原子，使这些原子获得足够多的能量而逃逸出固体表面的现象。
2003年10月第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会北京ArF准分子激光光刻相移掩模技术木（1一中国科学院光电技术研究所微细光学技术国家重点实验室，中国成都，6102092一中国科学院微电子中心，北京100029）摘要：对用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模（PSM）技术作了阐述，对无...
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