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电离规真空计的设计与研究.pdf,学校代码：幽研究生学号：10200200821318分类号：TP391密级：玉东北JIf≯范大季硕士学位论文TheandResearchofIonizationVacuumDesignGauge作者：黄帅指导教师：乔双教授学科专业：电路与系统研究...
基于单片机的真空计检漏法作为真空检漏的一种方法，因其性价高、操作方便等较多的优点得到越来越多的重视和应用。.本文出于方便、经济、实用等方而考虑，对基于单片机真空镀膜机检漏仪进行设计研究。.本论文采用电离真空规来测量真空镀膜室内压力...
，电离真空计各种真空计测量范围的比较图1.1图1.1各种真空计测量范围Fig1.1Avarietyofvacuumgaugemeasurementrange1.1.3真空镀膜概述真空镀膜将膜材置于真空加热，真空镀膜是物理镀膜方法中最常用的方法，几乎所有类型的薄膜都可以利用真空镀膜
这就是电离真空计工作原理。由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。
2电离真空计的工作原理电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强3冷阴极电离真空计的工作原理图冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组4复合真空计的原理与使用方法复合真空计由温差电偶真空计和热
5.4热传导真空计2815.4.1电阻真空计（皮拉尼真空计）2815.4.2热偶真空计2835.4.3热传导真空计的优缺点2845.5热阴极电离真空计2845.5.1普通热阴极电离真空计2845.5.2B-A真空计2865.6冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计)2875.7四极质谱计2885.7.1四极
冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组成。图17示出冷阴极电离真空计的示意图。冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由…
射频溅射时，采用高频射频电源（13.56MHz），分别将靶材和真空室的其他部分耦合在电源的两极，衬底处于靶材对应的位置，与靶材间距为5cm，射频磁控溅射时放电的过程（工作气体为Ar1）无光放电打开射频电源及电流显示器，即会有十毫安以下以下的电流...
论文生活休闲外语心理学全部建筑频道建筑文本施组方案交底用户中心充值...-5适用主要的真机械泵机械泵、增分子泵、离心泵适用主要的真热偶真空计电离真空计电离真空计，磁控真空计真空的分类和所用真空设备5.1.2对于真空计...
当真空室内部真空度达到镀膜要求准备镀膜时，要关闭电离真空计。当镀膜完成后结束全部工作时,关复合真空计开关，关油扩散泵，开机械泵，必须有循环水工作，油扩散泵的温度降下来后，这样实验才算结束，而后关闭机械泵、循环水及总电源。
电离规真空计的设计与研究.pdf,学校代码：幽研究生学号：10200200821318分类号：TP391密级：玉东北JIf≯范大季硕士学位论文TheandResearchofIonizationVacuumDesignGauge作者：黄帅指导教师：乔双教授学科专业：电路与系统研究...
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，电离真空计各种真空计测量范围的比较图1.1图1.1各种真空计测量范围Fig1.1Avarietyofvacuumgaugemeasurementrange1.1.3真空镀膜概述真空镀膜将膜材置于真空加热，真空镀膜是物理镀膜方法中最常用的方法，几乎所有类型的薄膜都可以利用真空镀膜
这就是电离真空计工作原理。由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。
2电离真空计的工作原理电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强3冷阴极电离真空计的工作原理图冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组4复合真空计的原理与使用方法复合真空计由温差电偶真空计和热
5.4热传导真空计2815.4.1电阻真空计（皮拉尼真空计）2815.4.2热偶真空计2835.4.3热传导真空计的优缺点2845.5热阴极电离真空计2845.5.1普通热阴极电离真空计2845.5.2B-A真空计2865.6冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计)2875.7四极质谱计2885.7.1四极
冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组成。图17示出冷阴极电离真空计的示意图。冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由…
射频溅射时，采用高频射频电源（13.56MHz），分别将靶材和真空室的其他部分耦合在电源的两极，衬底处于靶材对应的位置，与靶材间距为5cm，射频磁控溅射时放电的过程（工作气体为Ar1）无光放电打开射频电源及电流显示器，即会有十毫安以下以下的电流...
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当真空室内部真空度达到镀膜要求准备镀膜时，要关闭电离真空计。当镀膜完成后结束全部工作时,关复合真空计开关，关油扩散泵，开机械泵，必须有循环水工作，油扩散泵的温度降下来后，这样实验才算结束，而后关闭机械泵、循环水及总电源。
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