光刻技术的纷争及其应用状况众说周知,电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是"轻、薄、短、小",这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率,即提高可以完成转印图形或者图形的最小间距或者宽度,以满足产业发展的需求;另一方面,光刻工艺...
一种新型PCB数字光刻投影成像技术.为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。.利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。.该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦...
PCB光致抗蚀剂的研究发展来自万方喜欢0阅读量:18作者:周立国展开摘要:...通过文献互助平台发起求助,成功后即可免费获取论文全文。您可以选择微信扫码或财富值支付求助。我要求助我们已与文献出版商建立了直接购买合作...
数字无掩膜光刻技术及其大面积曝光方案研究.【摘要】:光刻技术是集成电路制造、印刷电路板制造以及微机电元件制造等微纳领域的核心技术之一。.进入21世纪以来,随着我国电子信息产业的高速发展,集成电路的需求出现了井喷式的增长。.由于我国...
广东工业大学硕士学位论文光刻中激光线宽影响及分辨率增强技术的研究姓名:刘逸轩申请学位级别:硕士专业:物理电子学指导教师:周金运20100501摘要摘要为了满足超大规模集成电路特征尺寸不断缩小的要求,激光投影光刻技术得到了迅速发展,而不断提高光刻分辨率正是光刻技术发展的...
《光刻胶行业深度报告(57页)》论文报告下载,研究报告、论文资料每年为数千个企事业和个人提供专业化服务;量身定制你需要的行业分析的资料和报告相信我们!企业客户遍及全球,提供部门、生产制造企业、物流企业、快消品行业专业化咨询服务;个人客户可以提供各类经济管理资料...
单片机实验板论文题目:系别:姓名:专业:学号:班级:提交日期:单片机实验板(PCB)设计物理与信息科学学院电子信息科学与技术28106024308级电信二班2011-7-1实验报告一…
提供光学光刻掩膜版论文黄武20114912文档免费下载,摘要:IC中光刻制版技术及原理姓名:黄武20114912班级:电子信息特色实验班指导老师:张玲1制版概述信息产业是国民经济的先导产业,微电子技术更是信息产业的核心。由1906年的电子管开始,到1956年硅台面晶体管问世,再到1960年世界第一
最新博士论文—《化学增幅型光刻胶成膜树脂的及性能研究》摘要第1-5页Abstract第5-11页第一章绪论第11-35页1.1光刻技术第11-12页1.2传统光刻胶
极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究.【摘要】:正光刻技术是极大规模集成电路制造的核心技术。.光刻工艺中最关键的设备一光刻机,直接决定了集成电路芯片的特征尺寸。.极紫外光刻(EUVL,曝光波长13.5nm)是集成电路制造技术进入1xnm以下节点的主要备选...
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