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等离子体及相关发展.docx,等离子体技术若干方向及相关科学工程问题“等离子体”与“”?人们对目前称之为等离子体态物质的认识可以追溯到1879年威廉克鲁克斯（WilliamCrookes）对真空放电管的研究。当时它被实验者叫做“radiantmatter”。
等离子体刻蚀机理在等离子体刻蚀工艺中，首先是在把硅晶片上面涂抹一层由碳氢化合物构成的光敏物质，并在光敏物质上盖上具有一定图形规则的金属模板，然后进行紫外曝光，使部分晶片的表面露出来，接着再把这种待的硅晶片放置到具有化学活性的
东华大学硕士学位论文常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究姓名：周荃申请学位级别：硕士专业：等离子体物理指导教师：张菁20070101常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究摘要本文主要论述了应用常压等离子体刻蚀处理高分子材料表面，以获得具有纳米级图案化的表面特征，并...
等离子体基离子注入(PlasmaBasedIonImplantation，PBII)1987年提出后受到人们极大的重视,是近十年发展迅速的一种新兴的表面改性技术,它不但消除了传统离子注入的视线过程,解决了其在机械零件及工模具上的应用问题,而且在每一脉冲注入过程中都包含着注入...
最新博士论文—《等离子体抛光关键技术研究》摘要第1-6页abstract第6-15页第1章绪论第15-39页1.1引言第15-17页1.2光学元件的技术
文章编号：1004－2474（2014）05－0782－04高密度RF等离子体刻蚀工艺直流自我偏压的研究（北京大学微电子研究院微米／纳米技术国家重点试验室，北京100871要：直流自我偏压作为高密度射频（RF）等离子体刻蚀工艺中的重要电学参数，反映出具有高能量的离子对待刻蚀晶片的轰击…
华中科技大学硕士学位论文等离子体应用中高压脉冲电源的研制姓名：钟生辉申请学位级别：硕士专业：环境工程指导教师：李胜利2003.5.6华中科技大学硕士学位论文摘要l脉冲功率电源是低温等离子体技术在环境工程应用中的关键设备，其总体能量转化效率和脉冲功率的容量是影响等离子体...
厚板的焊接已广泛应用于核电工程、船舶制造、油气管道等诸多工业领域,成为必不可少的关键工艺技术。传统的弧焊方法焊接厚板不仅需要大角度坡口,更是由此带来了热输入高、焊后变形大及应力集中、焊接效率低、焊材消耗大等一系列问题。
等离子体放电及与材料相互作用示意图鉴于等离子体放电与材料相互作用领域关键物理问题研究的挑战性与紧迫性，《物理学报》特组织“等离子体物理及其材料处理”专题，邀请国内部分活跃在该领域前沿的专家撰稿，以综述和研究论文的形式，从等离子体物理及其材料处理的角度，较全面...
范围广，适用于各种尺寸和面形，是一种很有前途的超精方法。等离子体：英文名plasma,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体抛光特点PACE抛光在真空室内进行。
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等离子体刻蚀机理在等离子体刻蚀工艺中，首先是在把硅晶片上面涂抹一层由碳氢化合物构成的光敏物质，并在光敏物质上盖上具有一定图形规则的金属模板，然后进行紫外曝光，使部分晶片的表面露出来，接着再把这种待的硅晶片放置到具有化学活性的
东华大学硕士学位论文常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究姓名：周荃申请学位级别：硕士专业：等离子体物理指导教师：张菁20070101常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究摘要本文主要论述了应用常压等离子体刻蚀处理高分子材料表面，以获得具有纳米级图案化的表面特征，并...
等离子体基离子注入(PlasmaBasedIonImplantation，PBII)1987年提出后受到人们极大的重视,是近十年发展迅速的一种新兴的表面改性技术,它不但消除了传统离子注入的视线过程,解决了其在机械零件及工模具上的应用问题,而且在每一脉冲注入过程中都包含着注入...
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华中科技大学硕士学位论文等离子体应用中高压脉冲电源的研制姓名：钟生辉申请学位级别：硕士专业：环境工程指导教师：李胜利2003.5.6华中科技大学硕士学位论文摘要l脉冲功率电源是低温等离子体技术在环境工程应用中的关键设备，其总体能量转化效率和脉冲功率的容量是影响等离子体...
厚板的焊接已广泛应用于核电工程、船舶制造、油气管道等诸多工业领域,成为必不可少的关键工艺技术。传统的弧焊方法焊接厚板不仅需要大角度坡口,更是由此带来了热输入高、焊后变形大及应力集中、焊接效率低、焊材消耗大等一系列问题。
等离子体放电及与材料相互作用示意图鉴于等离子体放电与材料相互作用领域关键物理问题研究的挑战性与紧迫性，《物理学报》特组织“等离子体物理及其材料处理”专题，邀请国内部分活跃在该领域前沿的专家撰稿，以综述和研究论文的形式，从等离子体物理及其材料处理的角度，较全面...
范围广，适用于各种尺寸和面形，是一种很有前途的超精方法。等离子体：英文名plasma,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体抛光特点PACE抛光在真空室内进行。
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