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等离子体工艺对MOS器件的损伤研究.唐瑜.【摘要】：为了提高电路的速度和缩小电路耗散功率,半导体器件的尺寸不断的缩小,减小尺寸通常要依靠刻蚀技术来实现。.等离子刻蚀是目前VLSI中最常用的方法。.由于等离子体工艺的优点,在集成电路制造中而被广泛的...
高密度等离子体工艺总体模型初探,等离子体,模型,数值模拟。介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法,即连续流和动力学方法。在漂流扩散方程的连续流模型和单元粒子蒙特卡罗...
尔南人学硕十学位论文摘要低温等离子体脱硫脱氮技术是一种新型的大气污染物处理技术。在用于脱除工业过程尾气（S02和N0。）时，它较许多传统工艺具有更多优点，如反应速度快，能耗低，不易造成二次污染等。
根据研究论文，等离子体技术已经应用到目前的3D打印工艺中，例如用来改善粉末床激光烧结3D打印部件的表面质量。此外，还能够用于对SLS3D打印材料进行预处理，从而将降低孔隙率。
最新博士论文—《等离子体抛光关键技术研究》摘要第1-6页abstract第6-15页第1章绪论第15-39页1.1引言第15-17页1.2光学元件的技术
单光纤通道对应检测孔外0~3.5mm的等离子体，并且将实验测出的波长在334.5nm和481.0nm处的谱线强度值取出，然后利用式（3）计算出每组实验得到的等离子体温度，工艺参数和等离子体温度值如表3所示。
四川大学硕士学位论文常压射频冷等离子体系统及其在光刻胶去除技术中的应用姓名：李海江申请学位级别：硕士专业：凝聚态物理指导教师：石瑞英2005051527583S常压射频冷等离子体系统及其在光刻胶去除技术中的应用凝聚态物理专ik研究生：李海江指导教师：石瑞英光刻胶去除技术在微...
等离子体特种垃圾焚烧炉工艺.doc,等离子体特种垃圾焚烧炉工艺????一、“等离子体特种垃圾焚烧炉”???目前在我国主要的是医疗垃圾和工业危险垃圾最为严重。医疗废物包括使用过的注射器、针头、输液管、纱布、药瓶、废医疗塑料制品、有毒棉球、废敷料、手术残物、动物实验废弃物、感光...
等离子体放电及与材料相互作用示意图鉴于等离子体放电与材料相互作用领域关键物理问题研究的挑战性与紧迫性，《物理学报》特组织“等离子体物理及其材料处理”专题，邀请国内部分活跃在该领域前沿的专家撰稿，以综述和研究论文的形式，从等离子体物理及其材料处理的角度，较全面...
金堆城钼业公司技术研究员，主持项目十余项，发表专利、论文二十多篇，长期从事等离子体球形金属粉末工艺及工装设备研究，主要研究直流等离子体、感应等离子体设备的产业化、国产化，同时对前驱粉末在等离子炬中的致密化…
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