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摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性的结构。.本论文主要针对一种...
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
中国科学技术大学硕士学位论文MEMS谐振器件的品质因数研究姓名：朱龙洋申请学位级别：硕士专业：精密仪器及机械指导教师：褚家如20060601中国科学技术大学硕士学位论文摘要品质因数是MEMS谐振器件的关键参数，它决定基于MEMS谐振器件的传感器的检测灵敏度和检测分辨率。
新型MEMS气体传感器研究.【摘要】：目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。.微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。.用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、重复性、易...
微机电系统论文陀螺仪论文加速度计论文结构设计论文工艺论文论文摘要MEMS惯性技术的发展把基于旋转和非旋转的惯性器件从宏观概念向微观世界推进了一大步。近年来,特别是微纳技术与振动惯性技术的有机结合使惯性仪表技术发生了重大的...
论文提交日期：2009年月论文答辩时间：2009年月学位授予日期：2009年月答辩委员会主席：评阅人：2009年5月厦门大学博硕士论文摘要库Viewmetadata,citationandsimilarpapersatcore.ac.ukbroughttoyoubyCORE
MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其工艺。MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件技术并非…
1卜继国;毛昌辉;王磊;;MEMS封装用薄膜吸气剂的最新进展[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年2邵力为;王爱华;;掺氮吸气剂国产镍粉代用的质量分析研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年3严德荣;何天白;;嵌段共聚物PE-b-PEP薄膜结晶形貌的研究[A];2009年全国高分…
文献标题：基于MEMS的人体运动信息采集系统文献来源：孙一为哈尔滨工业大学2019年文献关键词：MEMS传感器人体运动信息采集姿态估计UWB定位文献摘要：近年来,随着大众对体育运动的关注逐渐增加,对健康生活意识不断增强,智能运动设备迎来了...
摘要：.MEMS(MicroElectro-MechanicalSystems)sensorsenableavastrangeofapplications:amongothers,theuseofMEMSaccelerometersforseismologyrelatedapplicationshasbeenemergingconsiderablyinthelastdecade.Inthispaper,weprovideacomprehensivereviewofthecapacitiveMEMSaccelerometers:fromthephysicalfunctioning...
摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性的结构。.本论文主要针对一种...
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
中国科学技术大学硕士学位论文MEMS谐振器件的品质因数研究姓名：朱龙洋申请学位级别：硕士专业：精密仪器及机械指导教师：褚家如20060601中国科学技术大学硕士学位论文摘要品质因数是MEMS谐振器件的关键参数，它决定基于MEMS谐振器件的传感器的检测灵敏度和检测分辨率。
新型MEMS气体传感器研究.【摘要】：目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。.微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。.用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、重复性、易...
微机电系统论文陀螺仪论文加速度计论文结构设计论文工艺论文论文摘要MEMS惯性技术的发展把基于旋转和非旋转的惯性器件从宏观概念向微观世界推进了一大步。近年来,特别是微纳技术与振动惯性技术的有机结合使惯性仪表技术发生了重大的...
论文提交日期：2009年月论文答辩时间：2009年月学位授予日期：2009年月答辩委员会主席：评阅人：2009年5月厦门大学博硕士论文摘要库Viewmetadata,citationandsimilarpapersatcore.ac.ukbroughttoyoubyCORE
MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其工艺。MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件技术并非…
1卜继国;毛昌辉;王磊;;MEMS封装用薄膜吸气剂的最新进展[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年2邵力为;王爱华;;掺氮吸气剂国产镍粉代用的质量分析研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年3严德荣;何天白;;嵌段共聚物PE-b-PEP薄膜结晶形貌的研究[A];2009年全国高分…
文献标题：基于MEMS的人体运动信息采集系统文献来源：孙一为哈尔滨工业大学2019年文献关键词：MEMS传感器人体运动信息采集姿态估计UWB定位文献摘要：近年来,随着大众对体育运动的关注逐渐增加,对健康生活意识不断增强,智能运动设备迎来了...
摘要：.MEMS(MicroElectro-MechanicalSystems)sensorsenableavastrangeofapplications:amongothers,theuseofMEMSaccelerometersforseismologyrelatedapplicationshasbeenemergingconsiderablyinthelastdecade.Inthispaper,weprovideacomprehensivereviewofthecapacitiveMEMSaccelerometers:fromthephysicalfunctioning...
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