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【摘要】：磁场测量、导航、潜艇探测、转速测量和电子罗盘等方面都需要微型化、功耗低、成本低的新型高灵敏度磁敏传感器。MEMS磁敏传感器因测量范围大、分辨率高、性能优异等特点,是近年来磁敏传感器研究的热点。其中MEMS铁磁磁敏传感器具有结构简单、功耗低、成本低等优点,开展MEMS铁磁磁...
研制出的型原理样机量程01g、灵敏度分别为32kHzg和1629kHzg、非线性误差分别为2、分辨率分别为4561044710论文的主要研究工作是研究分析了基于声学原理的微型加速度传感器的研究现状及存在的问题提出了基于声光效应的MEMS加速度传感器新
基于MEMS传感器的高精度地震波采集系统研究.施湛.【摘要】：地震波数据的采集在生产实践中起着越来越大的作用，其主要应用包括地震预警和地震勘探等。.传统的地震波传感器体积较大，灵敏度低，动态范围小。.而基于MEMS电容传感技术的加速度传感器...
MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术（学术论文）,mems压力传感器,49所压力mems传感器,压力传感器论文,mems传感器,mems加速度传感器,mems传感器芯片,mems传感器上市公司,mems惯性传感器,mems传感器原理
目录摘要1.1微机电系统（MEMS）概述1.2微机电系统（MEMS）的发展趋势1.3本论文的主要工作2.1微机电...块的位移很小，因此剩余弹性力和摩擦力远远低于输入惯性力，所以力平衡式传感器将比般传感器具有更小的灵敏度阂值和更高工（5...
传感器由于其体积小、成本低、灵敏度高等优点，在军事和民用等各个领域应用日趋广泛，如MEMS加速度计、振动传感器和陀螺等。MEMS敏感结构输出信号主要采用电容式、压阻式、隧道电流式等电检测方式提高MEMS传感器性能的具体措施：（1）改进
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保…
谐振式压力传感器是一种典型的利用外界压力作用时结构频率的改变来实现压力测量的MEMS器件。该类传感器一般使用单晶硅制作感受外界压力的压力膜以及间接敏感元件谐振梁，实现了二次敏感模式，它可以直接输出频率信号，其传输与测量都可直接应用数字技术，具有广阔的应用前景。
MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。参考资料1.MEMS传感器最新新闻资讯．OFweek传感器网[引用日期2016-07-21]2.MEMS传感器在汽车电子中的应用．汽车电子网
【摘要】：磁场测量、导航、潜艇探测、转速测量和电子罗盘等方面都需要微型化、功耗低、成本低的新型高灵敏度磁敏传感器。MEMS磁敏传感器因测量范围大、分辨率高、性能优异等特点,是近年来磁敏传感器研究的热点。其中MEMS铁磁磁敏传感器具有结构简单、功耗低、成本低等优点,开展MEMS铁磁磁...
研制出的型原理样机量程01g、灵敏度分别为32kHzg和1629kHzg、非线性误差分别为2、分辨率分别为4561044710论文的主要研究工作是研究分析了基于声学原理的微型加速度传感器的研究现状及存在的问题提出了基于声光效应的MEMS加速度传感器新
基于MEMS传感器的高精度地震波采集系统研究.施湛.【摘要】：地震波数据的采集在生产实践中起着越来越大的作用，其主要应用包括地震预警和地震勘探等。.传统的地震波传感器体积较大，灵敏度低，动态范围小。.而基于MEMS电容传感技术的加速度传感器...
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传感器由于其体积小、成本低、灵敏度高等优点，在军事和民用等各个领域应用日趋广泛，如MEMS加速度计、振动传感器和陀螺等。MEMS敏感结构输出信号主要采用电容式、压阻式、隧道电流式等电检测方式提高MEMS传感器性能的具体措施：（1）改进
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基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保…
谐振式压力传感器是一种典型的利用外界压力作用时结构频率的改变来实现压力测量的MEMS器件。该类传感器一般使用单晶硅制作感受外界压力的压力膜以及间接敏感元件谐振梁，实现了二次敏感模式，它可以直接输出频率信号，其传输与测量都可直接应用数字技术，具有广阔的应用前景。
MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。参考资料1.MEMS传感器最新新闻资讯．OFweek传感器网[引用日期2016-07-21]2.MEMS传感器在汽车电子中的应用．汽车电子网
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