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大行程超精密工作台关键技术研究.张晓峰.【摘要】：高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。.它直接影响精密、超精密切削精度、精密测量精度及超大规模集成电路生产水平。.在已研制的...
华中科技大学博士学位论文正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用姓名：王选择申请学位级别：博士专业：机械制造及其自动化指导教师：谢铁邦20041201为了满足现代各种不同精密与测量的要求，世界各国都在研制各种各样的精密工作台，它的研究发展很快。
超精密工作台控制方案的优化选择超精密工作台洛伦兹电动...暂无评价4页2.00中心回转工作台控制...5页2下载券光刻机工作台超精密运动...6页1下载券超净工作台验证方案...【论文】全自动光刻机的同步控制方法
超精密技术的发展与展望精密与特种技术结课论文题目:超精密技术的发展与展望指导教师:沈浩学院:机电工程学院专业:机械工程姓名:学号:超精密技术的发展与展望摘要:超精密是多种技术综合的一种技术,是获得高形状精度.表面精度和表面完整性的必要...
核心提示：当前精密和超精密精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT电子信息高技术领域和军用、民用工业有广泛应用。同时，精密和超精密技术的发展也促进了机械、模具、液压、电子、半导体、光学…
1．3国内外精密工作台及磁悬浮技术研究进展随着光刻机整体性能的不断提高，作为光刻机关键部件之一的工件台技术也在快速发展，下面分别介绍国内外超精密工作台技术现状和磁悬浮技术研究进展1．3．1国外技术现状在国外，国际上各大光刻机生产
具有纳米级分辨率的超精密定位工作台"林德教,吴健,殷纯永摘%$$$:;)要:柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室,北京
【摘要】：精密工作台的定位精度是制约机床精度的关键因素之一。宏微驱动的超精密定位工作台将系统划分为宏动和微动两个部分,宏定位工作台完成系统的高速度、大行程、低分辨率的运动,微定位工作台系统行程小,分辨率高,用来补偿宏定位误差和抑制残余振动,从而获得整个超精密定位工作...
高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究摘要研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上，通过理论建模、程序和实验验证，对驱动环节进行了优化设计。
论文的研究工作如下:1、研究了国内外经典及新型支承结构的精密位移工作台,设计了基于气浮支承的大行程精密位移工作台系统。设计计算了关键部件结构,建立了气浮式精密位移工作台的三维模型,确定了驱动控制整体方案系统。
大行程超精密工作台关键技术研究.张晓峰.【摘要】：高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。.它直接影响精密、超精密切削精度、精密测量精度及超大规模集成电路生产水平。.在已研制的...
华中科技大学博士学位论文正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用姓名：王选择申请学位级别：博士专业：机械制造及其自动化指导教师：谢铁邦20041201为了满足现代各种不同精密与测量的要求，世界各国都在研制各种各样的精密工作台，它的研究发展很快。
超精密工作台控制方案的优化选择超精密工作台洛伦兹电动...暂无评价4页2.00中心回转工作台控制...5页2下载券光刻机工作台超精密运动...6页1下载券超净工作台验证方案...【论文】全自动光刻机的同步控制方法
超精密技术的发展与展望精密与特种技术结课论文题目:超精密技术的发展与展望指导教师:沈浩学院:机电工程学院专业:机械工程姓名:学号:超精密技术的发展与展望摘要:超精密是多种技术综合的一种技术,是获得高形状精度.表面精度和表面完整性的必要...
核心提示：当前精密和超精密精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT电子信息高技术领域和军用、民用工业有广泛应用。同时，精密和超精密技术的发展也促进了机械、模具、液压、电子、半导体、光学…
1．3国内外精密工作台及磁悬浮技术研究进展随着光刻机整体性能的不断提高，作为光刻机关键部件之一的工件台技术也在快速发展，下面分别介绍国内外超精密工作台技术现状和磁悬浮技术研究进展1．3．1国外技术现状在国外，国际上各大光刻机生产
具有纳米级分辨率的超精密定位工作台"林德教,吴健,殷纯永摘%$$$:;)要:柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室,北京
【摘要】：精密工作台的定位精度是制约机床精度的关键因素之一。宏微驱动的超精密定位工作台将系统划分为宏动和微动两个部分,宏定位工作台完成系统的高速度、大行程、低分辨率的运动,微定位工作台系统行程小,分辨率高,用来补偿宏定位误差和抑制残余振动,从而获得整个超精密定位工作...
高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究摘要研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上，通过理论建模、程序和实验验证，对驱动环节进行了优化设计。
论文的研究工作如下:1、研究了国内外经典及新型支承结构的精密位移工作台,设计了基于气浮支承的大行程精密位移工作台系统。设计计算了关键部件结构,建立了气浮式精密位移工作台的三维模型,确定了驱动控制整体方案系统。
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