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【 2019年11月杂志】MEMS与图像传感器技术掀智能浪潮 【 2019年11月杂志】MEMS 与图像传感器技术掀智能浪潮 立即下载 推荐给朋友 资料介绍 由国际半导体产业协会(SEMI)主办的年度微机电系统(MEMS)和图像传感器峰会如往常一样在法国Grenoble举行 ...
维普中文期刊服务平台，是重庆维普资讯有限公司标准化产品之一，本平台以《中文科技期刊数据库》为数据基础，通过对国内出版发行的15000余种科技期刊、7000万篇期刊全文进行内容组织和引文分析，为高校图书馆、情报所、科研机构及企业用户提供一站式文献服务。
Power MEMS燃气涡轮发电机的实验研究,Power MEMS,微空间燃烧,样机实验,三级引射器,燃气涡轮。 微燃发电机是功率为几瓦至几百瓦的微型燃气透平(MGT),属于MEMS的微能源动力系统。它在航空航天、通信、生物医学、国...
MEMS湿法腐蚀工艺的研究,MEMS,各项异性腐蚀模型,非离子表面活性剂,粗糙度,KOH。由于单晶硅在各种高pH值的碱性溶液(如:EPW,KOH,H_2N—NH_2,NH_4OH,TMAH等)中表现出各向异性腐...
小木虫论坛-SCI期刊点评专栏：拥有来自国内各大院校、科研院所的博硕士研究生和企业研发人员对期刊的专业点评，覆盖了8000+ SCI期刊杂志的专业点评信息，为国内外学术科研人员论文投稿、期刊选择等提供了专业的建议。小木虫论坛秉承“为中国学术科研免费提供动力”宗旨，已成为千万硕博 ...
（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究,MEMS,光刻,湿法工艺,各向异性腐蚀,醇类。 硅基湿法各向异性腐蚀被广泛的应用于MEMS的微结构制作中,例如用来形成膜片、悬臂梁、凹槽、台面等三维结构。在许多实际的...
维普期中文期刊服务平台，由维普资讯有限公司出品，通过对国内出版发行的14000余种科技期刊、5600万篇期刊全文进行内容分析和引文分析，为专业用户提供一站式文献服务：全文保障，文献引证关系，文献计量分析；并以期刊产品为主线、其它衍生产品或服务做补充，方便专业用户、机构用户在 ...
设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器的数据采集单元,用微处理器通过内部集成电路(I2C)总线采集加速度传感器ADXL345的数据,对数据进行低通滤波、零偏误差修正以及去除重力加速度等,从而得到载体的运动加速度,并对加速度进行二次积分得到位移,在100 m范围内实测多次,仿真计算位移误差在2% ...
MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究 被引量：1 期刊文章《中国机械工程》2005年第z1期379-381,共3页 聂萌 黄庆安 李伟华 提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松 ...
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