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新型MEMS电容式加速度传感器检测电路的设计与研究,MEMS,电容式,加速度传感器,检测电路,测量精度。 微机械电容式加速度传感器代表了当今加速度传感器的潮流与发展方向,这一领域的研究对我国微加速度传感器研究具有重要意义。
摘要： 光纤微机电系统（MEMS）法布里-珀罗传感器依靠其结构简单、体积小、抗电磁干扰、温度系数低、灵敏度高等优势逐渐受到人们的青睐。 除了上述优势外,基于MEMS的光纤法布里-珀罗传感器还具备了线性度好、测量精度高以及动态范围大等良好特性。因此,它能够更好的面对各种恶劣环境,在石油 ...
敏芯股份先后获得“2013年度十大中国MEMS设计公司品牌”、2016和2017年大中华IC设计成就奖、中国半导体行业协会2016年和2018年“中国半导体MEMS十强企业”。公司还在2015年入选全球知名电子产品期刊EE Times发布的“EE Times Silicon 60：2015 ...
MEMS器件低应力封装技术. 吴忠烨;杨尚书;吴国强. 封装是微机电系统 (micro-electro-mechanical system, MEMS)研发过程中的最重要的环节之一。. 封装决定了MEMS器件的可靠性以及成本,是MEMS器件实用化和商业化的关键。. 然而,封装过程中引入的残余应力会造成MEMS器件输出 …
MEMS传声器封装结构的声学特性建模仿真研究. 聂亚飞 桑晋秋 张芳杰 郑成诗 李晓东. 【摘要】： 正0引言近几十年来,市场中使用的传声器大多数是驻极体电容式传声器。. 在过去的十年中,由于驻极体电容传声器外型尺寸的限制以及难以承受自动表面贴装工艺的 ...
中国主要的MEMS代工厂商 中国MEMS企业以无晶圆厂（fabless）模式居多，包括目前国内MEMS销售额最大的瑞声科技和歌尔股份；Fabless企业还包括美新半导体、敏芯微电子、明皜传感、深迪半导体、芯敏微系统、微联传感、康森斯克等，其生产以代工为主。
上海分院是中国科学院的派出机构，负责联系和管理中国科学院在上海、浙江、福建地区的研究院所工作。上海分院各研究所学科领域广泛，在优势研究领域有着长期的积累：在物质科学与技术领域，包括同步辐射、核科学与核技术、高能量密度物理、有机化学与有机材料、无机非金属材料和金属 ...
中国MEMS企业任重道远 美国是MEMS产业、技术和产品的发源地，其发展水平在世界处于领先地位。由于我国MEMS产业起步较晚，MEMS产业还处于发展的起步阶段，我国MEMS传感器产品在精度和敏感度等性能指标上与国外存在巨大差距，应用范围也多局限于 ...
MEMS湿法腐蚀工艺的研究,MEMS,各项异性腐蚀模型,非离子表面活性剂,粗糙度,KOH。由于单晶硅在各种高pH值的碱性溶液(如:EPW,KOH,H_2N—NH_2,NH_4OH,TMAH等)中表现出各向异性腐...
中国 博士学位论文全文数据库 查看检索历史 关闭 工业技术 >>> 自动化技术、计算机技术 >>> 自动化技术及设备 >>> 自动化元件、部件 >>> 一般自动化元件、部件 ...
新型MEMS电容式加速度传感器检测电路的设计与研究,MEMS,电容式,加速度传感器,检测电路,测量精度。 微机械电容式加速度传感器代表了当今加速度传感器的潮流与发展方向,这一领域的研究对我国微加速度传感器研究具有重要意义。
摘要： 光纤微机电系统（MEMS）法布里-珀罗传感器依靠其结构简单、体积小、抗电磁干扰、温度系数低、灵敏度高等优势逐渐受到人们的青睐。 除了上述优势外,基于MEMS的光纤法布里-珀罗传感器还具备了线性度好、测量精度高以及动态范围大等良好特性。因此,它能够更好的面对各种恶劣环境,在石油 ...
敏芯股份先后获得“2013年度十大中国MEMS设计公司品牌”、2016和2017年大中华IC设计成就奖、中国半导体行业协会2016年和2018年“中国半导体MEMS十强企业”。公司还在2015年入选全球知名电子产品期刊EE Times发布的“EE Times Silicon 60：2015 ...
MEMS器件低应力封装技术. 吴忠烨;杨尚书;吴国强. 封装是微机电系统 (micro-electro-mechanical system, MEMS)研发过程中的最重要的环节之一。. 封装决定了MEMS器件的可靠性以及成本,是MEMS器件实用化和商业化的关键。. 然而,封装过程中引入的残余应力会造成MEMS器件输出 …
MEMS传声器封装结构的声学特性建模仿真研究. 聂亚飞 桑晋秋 张芳杰 郑成诗 李晓东. 【摘要】： 正0引言近几十年来,市场中使用的传声器大多数是驻极体电容式传声器。. 在过去的十年中,由于驻极体电容传声器外型尺寸的限制以及难以承受自动表面贴装工艺的 ...
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上海分院是中国科学院的派出机构，负责联系和管理中国科学院在上海、浙江、福建地区的研究院所工作。上海分院各研究所学科领域广泛，在优势研究领域有着长期的积累：在物质科学与技术领域，包括同步辐射、核科学与核技术、高能量密度物理、有机化学与有机材料、无机非金属材料和金属 ...
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