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微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其最主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。
课题以微纳CT超精密转台为控制对象,着眼于实际应用需求,研究开发重庆大学ICT研究中心制造的精密气浮转台伺服驱动控制系统。 论文主要研究工作如下:（1）分析了微纳CT用精密气浮转台的结构特点,从机械结构、驱动控制系统两方面详细分析了转台伺服控制系统的构成和工作原理。
程玉华，IEEE Fellow，北京大学上海微电子研究院院长、博士生导师。1982年于山东工学院（现山东大学）半导体专业获得学士学位，1985年于天津大学半导体专业获得硕士学位，1989年于清华大学微电子专业获得博士学位。
摩擦电子学实验室主要从事纳米发电机和自驱动智能微系统领域研究，集中于摩擦纳米发电机、摩擦电子器件、自供能微纳仪器与设备等。近年来在摩擦纳米发电机的机理特性、微纳制造和器件应用等方面开展了一系列原创性研究。
1999年至2000年在丹麦技术大学微米纳米技术系任访问学者。2001年10月至2003年8月在北京大学微纳电子学研究院从事博士后研究，出站后进入北京大学微纳电子学研究院任副教授，2008年被聘任为北京大学微电子学研究院教授。 研究成果概况
职称：副教授 研究所：微纳电子学研究院 研究领域：半导体物理 新兴器件设计和实现 有机器件和电路设计 办公电话：86-10-62753144 电子邮件：sunl@pku.edu.cn
集成微纳系统 研究所 宽禁带半导体研究中心 射频与太赫兹集成技术研究中心 实验室 EDA实验室 工艺实验室 测试实验室 师资力量 院士介绍 人员构成 教学教务 ...
太原理工大学微纳系统研究中心 作品数：27 被引量：53 H指数：4 加关注 导出分析报告 发文作者： 张丹 赵冬 李丹 更多>> 发文领域： 电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 机械工程 更多>> 发文主题： 聚二甲基硅氧烷 灵敏度 系统设计 隧穿效应 SOI 更多>> ...
硅基微纳光电子系统 中光源的研究现状及发展趋势 周治平;王兴军;冯俊波;王冰 综合微电子学及微纳光学的优势,硅基微纳光电子学正在快速走向实用阶段。与微电子制造技术兼容的微纳光子器件,包括调制器、探测器、分束器以及耦合器等均取得了重要的 ...
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微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其最主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。
课题以微纳CT超精密转台为控制对象,着眼于实际应用需求,研究开发重庆大学ICT研究中心制造的精密气浮转台伺服驱动控制系统。 论文主要研究工作如下:（1）分析了微纳CT用精密气浮转台的结构特点,从机械结构、驱动控制系统两方面详细分析了转台伺服控制系统的构成和工作原理。
程玉华，IEEE Fellow，北京大学上海微电子研究院院长、博士生导师。1982年于山东工学院（现山东大学）半导体专业获得学士学位，1985年于天津大学半导体专业获得硕士学位，1989年于清华大学微电子专业获得博士学位。
摩擦电子学实验室主要从事纳米发电机和自驱动智能微系统领域研究，集中于摩擦纳米发电机、摩擦电子器件、自供能微纳仪器与设备等。近年来在摩擦纳米发电机的机理特性、微纳制造和器件应用等方面开展了一系列原创性研究。
1999年至2000年在丹麦技术大学微米纳米技术系任访问学者。2001年10月至2003年8月在北京大学微纳电子学研究院从事博士后研究，出站后进入北京大学微纳电子学研究院任副教授，2008年被聘任为北京大学微电子学研究院教授。 研究成果概况
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硅基微纳光电子系统 中光源的研究现状及发展趋势 周治平;王兴军;冯俊波;王冰 综合微电子学及微纳光学的优势,硅基微纳光电子学正在快速走向实用阶段。与微电子制造技术兼容的微纳光子器件,包括调制器、探测器、分束器以及耦合器等均取得了重要的 ...
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