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微机电系统技术为微电子技术带来了新的经济增长点，实现了机电一体化，为传统机械领域开辟了新的发展渠道。所以，该系统被称之为微电子技术的一项新革命，对21世纪人类科技发展带来了很大的影响，同时对人类生产与生活方式的影响也是不容忽视的。
微机电系统发展现状及关键技术分析 认领 被引量： 3. 微机电系统发展现状及关键技术分析. 摘要 1微机电系统 (MEMS)现状和发展趋势随着智能制造和物联网的快速发展,传感器作为数据采集的入口,其关键器件的作用越来越重要。. 万物互联时代必将使智能终端大 ...
微尺度下,压膜阻尼对微机电系统(MEMS)微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析,运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析,详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解,建立了热流方程模拟的有限元分析模型,分别 ...
提供全面的“微机电系统(MEMS)”相关文献（论文）下载，论文摘要免费查询，微机电系统(MEMS)论文全文下载提供PDF格式文件。微机电系统(MEMS)中文、英文词汇释义（解释），“微机电系统(MEMS)”各类研究资料、调研报告等。
基于微机电系统技术的投影型微光学编码器 【摘要】对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构成投影型光栅微编码器。
微机电安全系统关键技术研究. 针对现代引信灵巧化、智能化、微型化的发展趋势,基于MEMS技术提出了一种适用于中大口径榴弹的引信MEMS安全系统,依靠独立双环境及弹道实时信息保证引信安全性。. 采用理论分析与数值仿真相结合的方法,开展了安全保险机构、隔 ...
微机电系统 (MEMS)的简介及应用. 【摘要】： 微机电系统 (MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。. 微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。. ( 如何获取全文 ？.
胡鸿胜.吴广峰.朱文坚.Hu Hong-sheng.Wu Guang-feng.Zhu Wen-jian 微机电系统在生物医学领域中的应用发 展[期刊论文]-现代制造工程2007(9)8. 刘媛.邴志刚.刘景泰.LIU Yuan.BING Zhi …
微机电系统在医疗工程中的应用研究. 摘要 介绍了微机电系统的基本概念、医疗用微机电系统的研究和几种典型的应用实例。. This paper presents the basic concept of micro-electro-mechanical systems (MEMS)、the research of medical …
关键词：微机电系统;机电结合;发展趋势 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2018）11-0211-01 0 前言 近年来，微机电系统（以下简称为 MEMS）逐渐开辟出全新的产业领域，相较于传统传 感器来说，MEMS 有着众多优点，因此在航空
微机电系统技术为微电子技术带来了新的经济增长点，实现了机电一体化，为传统机械领域开辟了新的发展渠道。所以，该系统被称之为微电子技术的一项新革命，对21世纪人类科技发展带来了很大的影响，同时对人类生产与生活方式的影响也是不容忽视的。
微机电系统发展现状及关键技术分析 认领 被引量： 3. 微机电系统发展现状及关键技术分析. 摘要 1微机电系统 (MEMS)现状和发展趋势随着智能制造和物联网的快速发展,传感器作为数据采集的入口,其关键器件的作用越来越重要。. 万物互联时代必将使智能终端大 ...
微尺度下,压膜阻尼对微机电系统(MEMS)微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析,运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析,详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解,建立了热流方程模拟的有限元分析模型,分别 ...
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基于微机电系统技术的投影型微光学编码器 【摘要】对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构成投影型光栅微编码器。
微机电安全系统关键技术研究. 针对现代引信灵巧化、智能化、微型化的发展趋势,基于MEMS技术提出了一种适用于中大口径榴弹的引信MEMS安全系统,依靠独立双环境及弹道实时信息保证引信安全性。. 采用理论分析与数值仿真相结合的方法,开展了安全保险机构、隔 ...
微机电系统 (MEMS)的简介及应用. 【摘要】： 微机电系统 (MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。. 微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。. ( 如何获取全文 ？.
胡鸿胜.吴广峰.朱文坚.Hu Hong-sheng.Wu Guang-feng.Zhu Wen-jian 微机电系统在生物医学领域中的应用发 展[期刊论文]-现代制造工程2007(9)8. 刘媛.邴志刚.刘景泰.LIU Yuan.BING Zhi …
微机电系统在医疗工程中的应用研究. 摘要 介绍了微机电系统的基本概念、医疗用微机电系统的研究和几种典型的应用实例。. This paper presents the basic concept of micro-electro-mechanical systems (MEMS)、the research of medical …
关键词：微机电系统;机电结合;发展趋势 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2018）11-0211-01 0 前言 近年来，微机电系统（以下简称为 MEMS）逐渐开辟出全新的产业领域，相较于传统传 感器来说，MEMS 有着众多优点，因此在航空
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