铁路论文文献综述范文

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 1.论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 2.摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 3.关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 4.正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 5.参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

论文综述范文写法如下：

1、标题

文献综述的标题一般多是在设计（论文）选题的标题后加“文献综述”字样。

2、提要或前言

此部分一般不用专设标题，而是直接作为整个文献综述的开篇部分。内容是简要介绍本课题研究的意义；将要解决的主要问题；如果本课题涉及到较前沿的理论，还应对该理论进行简要介绍；最后要介绍研究者搜集的资料范围及资料来源。

3、正文

这是论文文献综述的核心部分。应在归类整理的基础上，对自己搜集到的有用资料进行系统介绍。

撰写此部分时还应注意以下两点：

其一、对已有成果要分类介绍，各类之间用小标题区分。

其二、既要有概括的介绍，又要有重点介绍。根据自己的分类，对各类研究先做概括介绍，然后对此类研究中具有代表性的成果进行重点介绍。

4、总结

对上述研究成果的主要特点、研究趋势及价值进行概括与评价。此部分应着重点明本课题已有的研究基础（已有成果为自己的研究奠定了怎样的基础或从中受到怎样的启发）与尚存的研究空间（本课题已有研究中存在的空白或薄弱环节）。

5、参考文献

要求列出的参考文献不少于15篇，且外文文献不少于3篇，并按论文中的参考文献的格式将作者名、文献名、文献出处、时间等信息全面标示出来。

在毕业论文开题报告写作之前写好文献综述，是写好本科毕业论文的一项必要的前期工作。下面是我整理的几篇本科毕业论文文献综述范文，欢迎阅读参考。

本科毕业论文如何撰写文献综述?

一、文献综述的概念、性质和特点

文献综述就是对特定的某一领域的文献进行归纳整理而写成的一篇文章，它介于文献资料汇编和文献评述论文之间。

其特点主要包括以下三个方面：

(一)“文献”性

与一般的论文不同，文献综述以文献为文本和素材，而不是以现实中的数据和亲自调查得来的资料为素材。

它所归纳和分析的是文本中的观点和理论这样的事实，而不是外部客观世界的事实。

所以这要求围绕一定的选题范围(这一范围的选择决不是不重要的。

有些同学把文献综述的题目就定为“文献综述”，这就如同把论文的题目定为“论文”一样荒谬!)，大量地搜集文献，包括各种类型，各种载体，以及各种历史时期的，经典以及非经典的文献。

巧妇难为无米之炊，文献综述要求作者在浩如烟海的各种文献里面，进行“从观点到观点”的调查研究。

(二)“综”合性

文献综述要求具有全面、综合的特点，而不是要求“片面而深刻”。

它重视的是归纳的方法，而不是演绎的方法。

它主要关注的不是某一具体的法学观点，而是这一观点在学术谱系上的位置，即在学术研究历史过程中的逻辑地位。

当然，综述的过程是一个去伪存真，去粗取精的过程，选取有代表性的观点进行高度浓缩式的阐述，而不是简单地罗列所有搜集到的文献中的观点，哪怕没有多大价值的观点。

文献首先贵“精”而不贵“多”，这主要就表现在对于文献中的观点的取舍上。

(三)阐“述”性

文献综述重视对文献的叙述或描述，概括，但并不要求对文献的理论观点给以深入的分析和评价，进行论述。

文献综述基本上不直接发表自己的学术观点，尤其不要排斥与自己观点不同的学者的文献，根本不予搜集和归纳，也就是说要有一个客观、中立的立场和角度，而不是先入为主，带着有色眼镜去搜集和概括文献资料，尽管绝对的客观是不可能达到的。

这也就是说，一篇好的文献综述不是因为具有自己的创新的观点，而是具有自己的创新的系统化的，有条理的叙述方式。

二、文献综述的写作格式和步骤

首先，开篇引言，明确所欲探讨的文献的范围或领域。

任何一门学科都有很多领域，不可能一一详细阐述，只能选取某一方面来进行探讨。

这一领域就是本科学生所欲写作论文的领域。

通常这一领域是比较狭隘的，以便于集中精力，搜集资料。

其次，明确写作的顺序。

如可以按照文献产生的时间顺序，文献之间的逻辑顺序(某学术观念或理论的定义、性质、作用、价值等)，或以学者，即文献作者的重要程度顺序等。

第三，阐述学者的基本观点和理由。

这里特别需要注意不同学者观点的对比。

实际上找出观点之间的差别和对立、冲突，通常比发现不同学者之间的相同之处要更加具有学术上的重要意义，因为这可以积极地促使作者去思考问题。

这里要强调的是，不仅要对研究现状进行整理和归纳，更要对该领域问题的历史学的渊源的探究和说明。

第四，结语。

学术观点之间的谱系学线索的梳理，以及必要的该学术问题进一步观点或理论的展望。

说明已解决的问题，以及尚未解决的问题。

第五，参考文献附录。

写明主要搜集了哪些文献资料。

此外，具体形式格式，如摘要、关键词、注释等同一般论文的要求，并不因为是文献综述而有所降低。

文献综述的写作步骤，一般包括确定领域，搜集资料，归纳整理，简要分析概括，成文等几个步骤，与一般论文写作差不多(写作文献综述，可谓是论文写作的预演!)。

这里不再赘述。

三、文献综述的作用和价值

作为本科生来讲，写作文献综述主要是为了：

(一)写好自己的毕业论文。

文献综述是给自己看的，是下一步撰写论文开题报告的必需(对于学院的要求学生只能遵守，从这一点来说，文献综述同时也是学生“必须”要撰写的)，不可或缺。

不了解，或不充分了解(仅仅搜集和物质性的占有文献资料是远远不够的)前人的研究进展情况，如何开始自己的写作?一切“从我做起，从现在做起”?不能写好文献综述，自然写好论文也就无从谈起。

(二)熟悉论文写作的过程，培养自己的学术素养。

文献综述表明了学术继承性的一面。

文献综述可以反映论文写作的基础，在某种程度上就决定了论文写作的质量。

评价一篇论文是否是真正的好论文，通常只需要看一下参考文献就可以大致确定了。

在现实中写作论文不一定要首先写作文献综述，通常只需要作者在脑中有一篇文献综述就可以了，未必要以书面文字的形式表述出来。

而本科毕业论文之所以要这样做，是由于这是一种正规的学术训练过程。

现在写文献综述，是为了将来直接写出高质量的论文(实际上有些大家有时甚至可以不打草稿，一篇短的文章直接一挥而就!)做的准备。

文献综述的撰写可以培养学生的搜集、归纳文献资料的能力，为将来进行学术研究打下良好的基础。

文献综述可谓是学科研究史，如某一特定领域法学史的探讨。

同学们可以通过阅读中国法学史，中国民法学史，以及诉讼法学研究的回顾与展望等文献(通常在学术期刊的年终一期都有这样的文章)来加深自己的理解。

本科毕业论文文献综述模板

随着科学技术的进步，网络时代的开始，现代企业面临着复杂多变的环境。

经济商务在物流运输的影响进行了相关的研究。

电子商务的早期形式EDI的最初想法即来自美国运输业。

我国交通运输及相关的物流行业电子商务应用较为滞后。

但近些年来电子商务与物流运输的结合有了很大的发展。

安旗和富森(2007)在《构建电子商务平台促进交通物流发展》中指出构件电子商务平台的必要性，这是符合现代信息技术革命正日益深刻地改变着社会生产和生活的现状。

并且是适应社会主义经济的需要。

李峻峰和苏小玲(2004)在《论电子商务对我国现代物流的影响及对策》中主要论述了电子商务对现代物流的影响主要表现在对现代物流理念的影响、系统结构的影响、对运输的影响,以海尔的现代物流为例,充分说明了电子商务活动对现代物流活动中所起的作用,并提出了发展现代物流的相应对策。

刘大军(2003)《浅谈物流运输管理与信息技术》中指出我国绝大多数运输企业在对信息技术的实际应用程度和应用效果方面都与欧美发达国家相差甚远。

我国物流运输企业在信息技术应用方面存在的问题严重地影响着企业业务管理能力和服务水平的进一步提高。

夏黎(2004)在《电子商务给物流业及其管理带来的变化》提出电子商务是一场商业领域的根本性革命，其自身的特点给中国企业带来的新的机遇。

但由于传统的经营渠道仍可以利用，所以电子商务的发展收到一定的限制。

要解决这个“瓶颈”就要求必须先认清电子商务的发展对物流业带来的巨大的影响。

同时从采购、配送、管理等方面分析电子商务带来的影响。

同时，我国学者周雪梅(2005)《电子商务物流模式研究》曾提出电子商务作为崭新的商务运作方式，为人类提供了一个全新的管理商业交易的方法，而且将成为潜在的经济增长动力。

并指出电子商务的优势之一就是能大大简化业务流程、降低企业运输成本。

车岩石(2007)《电子商务下物流的管理和发展研究》以电子商务作为研究背景，通过对电子商务与物流的互动作用研究，分析物流的'管理和未来发展趋势，并提出相应的对策建议。

军、黄浩(2008)《浅谈电子商务中物流的作用与发展》通过对物流、商流、

李林(2007)《秦皇岛港发展现代物流的意义和对策》明确的指出秦皇岛港发展现代物流的意义即可以提高秦港的国际竞争力，并提出国际物流型港口的运输组织方式是在集装箱的多式联运和门到门的运输基础上形成点到点的网络化物流运输,秦皇岛港能否成为国际网络化物流运输中的一个节点,很大程度上取决于港口是否具备完善的物流服务功能。

朱昆宇(2005)在《中韩海运公司电子商务系统规划》中根据目前航运市场竞争激烈的局面，以中韩海运公司的发展目标为前提并借鉴国内外实施电子商务系统的先进经验成功的对中韩海运公司的电子商务发展进行了规划。

并提出系统给公司的业务带来了优化和对组织结构的影响论述，并对公司整体的优化具有指导意义。

李秀滢和孙宏声(2004)在《铁路货运电子商务安全性研究》中阐述铁路货运电子商务系统存在的安全问题,探讨建立该系统应遵循的安全原则和安全问题的对策。

在此基础上,提出一个较大规模铁路货运站电子商务系统的安全结构模型。

同时，王桂森、李向阳、杨立东(2007)《我国电子商务发展的制约因素分析》中说论述了我国目前电子商务发展应注意的交易信息安全和网上支付问题和目前我国影响电子商务发展的制约性因素例如观念、法律环境等问题。

他们提出我国电子商务发展虽然有一些困难因素存在，但它的发展有着自己的特点。

刘明翔、谭中平(2002)《电子商务与铁路货运营销》分析了电子商务给贸物运输市场带来的深刻变化，指出铁路货运要顺应潮流，主动抓住机会，挖掘生存空间，并提出了迎接电子商务挑战的可行对策。

章雪岩、何耀琴、熊件根、杨莉、杨艺(2006)《铁路货运电子数据交换规范框架研究》在参照ebXM、Net等众多电子商务标准的基础上，结合我国题录货运实际特点，制定出铁路货运电子商务数据交换规范，对该规范的整体框架、各部分功能的典型流程的验证过程进行了研究。

并对一个典型流程进行了可行性验证。

外国学者Catherine L. Mann(2000)《Transatlantic issues in electronic commerce》提出电子商务正越来越多的影响国家和国际经济的关系，并通过叙述美国和欧洲联盟各国对电子商务在处理贸易流动、税收制度的方法及个人隐私方面的问题，强调国家在政策方面应小心应对电子商务的力量。

Hecker, Michael，Dillon, Tharam S(2008)的《Privacy Ontology Support for E-Commerce》强调电子商务的出现使交易的隐私安全问题变得越来越重要，并提供了一个电子商务中隐私的框架，使电子商务网站可以基准他们的隐私政策并实施隐

通过以上文献综述，不难发现：

随着网络经济的发展，电子商务在商业的重要性在逐渐的加重。

国内外对电子商务对社会经济影响的研究也在不断的增加。

电子商务在我国的发展以从简单的网上购物扩展到现代物流供应链中，并且电子商务和现代物流的相互作用也越来越明显，同时我们也应该注意到其在港口及集装箱物流运输中有很大的发展空间。

并且一些大的企业已经开始进行初步的计划实施。

我国大多数学者针对电子商务与物流运输的研究主要集中在电子商务与铁路物流运输方面，并对港口现代物流运输的研究也都是在整体的物流信息平台上即其研究的范围比较大。

在对具体针对电子商务与港口物流运输的运用方面没有具体的论述和展开过，只是在运输方面强调了整体物流信息平台的建立和应用。

通过上述文献，总结出电子商务在节约成本，提高效率，实现“绿色”买卖方面起到很大的作用，电子商务革新了物流的内涵，并赋予物流信息化、自动化、网络化等特点，所以电子商务有能力帮助企业提高竞争力，并且可以在各行业实施，尤其是港口物流运输业。

本文以秦皇岛港务集团的物流运输为例，分析她目前的运输状况，并将电子商务带入其企业进行分析，借鉴国内外学者的研究成果，提出电子商务对其的影响，分析港务局运用电子商务的可行性并提出秦皇岛港务集团发展电子商务现代物流的建议。

这也是本文的突破点。

本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介透明导电玻璃的种类 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到Ω/口，可见光透光率为％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为— Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长， nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了——的结论。制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et 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广西师范大学学报（自然科学版）