氮化硅论文参考文献

为86%～87%时,它对 siN4 的蚀刻率维持在 5nm/min 左右

选修课，急求微型机械的应用和制造论 biijao胡

蓝色圆球是氮原子，灰色圆球是硅原子 crystal structure of alpha-Si3N4. Data from Kato K., Inoue Z., Kijima K., Kawada I., Tanaka H., Yamane T. (1975). "Structural Approach to the Problem of Oxygen Content in Alpha Silicon Nitride".JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY58: “α氮化硅中氧含量问题的结构方法” 由英语维基百科的Materialscientist，CC BY-SA ， crystal structure of beta-Si3N4. Data from Schneider J., Frey F., Johnson N., Laschke K. (1994). "Structure refinements of Si3N4 at temperatures up to 1360 °C by X-ray powder investigation". ZEITSCHRIFT FUER KRISTALLOGRAPHIE 209: “通过X射线粉末研究，可在高达1360°C的温度下细化Si3N4的结构” 英语维基百科 的 Materialscientist 由英语维基百科的Materialscientist，CC BY-SA ， Structure of gamma-Si3N4 (same as Sn3N4). Data from Scotti N., Kockelmann W., Senker J., Trassel S., Jacobs H. (1999). "Sn3N4, a Tin(IV) Nitride - Syntheses and the First Crystal Structure Determination of a Binary Tin-Nitrogen Compound".ZEITSCHRIFT FUER ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE625: “Sn3N4，氮化锡（IV）-二元锡氮化合物的合成及第一晶体结构测定” 由Materialscientist - 自己的作品，公有领域， 氮化硅（Si3N4）存在有3种 结晶 结构，分别是α、β和γ三相。α和β两相是Si3N4最常出现的型式，且可以在常压下制备。γ相只有在高压及高温下，才能合成得到，它的硬度可达到35GPa [19] ，为包含 八面体 形六配位硅原子的 尖晶石 型结构。 全文引自维基百科 参考文献： J Z Jiang, F Kragh, D J Frost, K StÃ¥hl and H Lindelov. Hardness and thermal stability of cubic silicon nitride . J. Phys.: Condens. Matter. 4 June 2001,13(22): 515. doi: .

使用磷酸选择合适的体积比和温度，对二氧化硅和氮化硅有很好的选择比。可以参考氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率这篇文献。请参考。