文献综述方法论怎么写

论文文献综述怎么写

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

文献综述是毕业论文的重要部分，一篇完整的毕业论文必须有一个囊括论文各个关键词的国内外综述性概述。在各大高校均采用中国知网论文检测系统后，文献综述就是很多同学的恶梦，因为文献引用的多，论文重复率过高，文献引用的少，论文字数不够。本经验就是本小姐 梁逸媛同学根据多年的论文写作经验写成的文献综述写作宝典。有任何论文检测及论文写作的问题都可以加我，我将尽力为大家解决论文相关的问题，希望大家能够支持百度经验这个平台。1、 综述的定义和特点1文献综述的定义： 综述是查阅了某一专题在一段时期内的相当数量的文献资料，经过分析研究，选取有关情报信息，进行归纳整理，作出综合性描述的文章。2文献综述的特点： ①综合性：综述要"纵横交错"，既要以某一专题的发展为纵线，反映当前课题的进展；又要从本单位、省内、国内到国外，进行横的比较。只有如此，文章才会占有大量素材，经过综合分析、归纳整理、消化鉴别，使材料更精练、更明确、更有层次和更有逻辑，进而把握本专题发展规律和预测发展趋势。3②评述性：是指比较专门地、全面地、深入地、系统地论述某一方面的问题，对所综述的内容进行综合、分析、评价，反映作者的观点和见解，并与综述的内容构成整体。一般来说，综述应有作者的观点，否则就不成为综述，而是手册或讲座了。4③先进性：综述不是写学科发展的历史，而是要搜集最新资料，获取最新内容，将最新的信息和科研动向及时传递给读者。5综述不应是材料的罗列，而是对亲自阅读和收集的材料，加以归纳、总结，做出评论和估价。并由提供的文献资料引出重要结论。一篇好的综述，应当是既有观点，又有事实，有骨又有肉的好文章。由于综述是三次文献，不同于原始论文(一次文献)，所以在引用材料方面，也可包括作者自己的实验结果、未发表或待发表的新成果。6综述的内容和形式灵活多样，无严格的规定，篇幅大小不一。大的可以是几十万字甚至上百万字的专著，参考文献可数百篇乃至数千篇；小的可仅有千余字，参考文献数篇。一般医学期刊登载的多为3000～4000字，引文15～20篇，一般不超过20篇，外文参考文献不应少于1／3END2 、综述的内容要求1选题要新：即所综述的选题必须是近期该刊未曾刊载过的。一片综述文章，若与已发表的综述文章"撞车"，即选题与内容基本一致，同一种期刊是不可能刊用的。2说理要明：说理必须占有充分的资料，处处以事实为依据，决不能异想天开地臆造数据和诊断，将自己的推测作为结论写。3层次要清：这就要求作者在写作时思路要清，先写什么，后写什么，写到什么程度，前后如何呼应，都要有一个统一的构思。4语言要美：科技文章以科学性为生命，但语不达义、晦涩坳口，结果必然阻碍了科技知识的交流。所以，在实际写作中，应不断地加强汉语修辞、表达方面的训练。5文献要新：由于现在的综述多为"现状综述"，所以在引用文献中，70％的应为3年内的文献。参考文献依引用先后次序排列在综述文末，并将序号置入该论据(引文内容)的右上角。引用文献必须确实，以便读者查阅参考。6校者把关：综述写成之后，要请有关专家审阅，从专业和文字方面进一步修改提高。这一步是必须的，因为作者往往有顾此失彼之误，常注意了此一方而忽视了彼一方。有些结论往往是荒谬的，没有恰到好处地反应某一课题研究的"真面目"。这些问题经过校阅往往可以得到解决。END3 、综述的格式和写法　　 综述一般都包括题名、著者、摘要、关键词、正文、参考文献几部分。其中正文部分又由前言、主体和总结组成。　　 前言：用200～300字的篇幅，提出问题，包括写作目的、意义和作用，综述问题的历史、资料来源、现状和发展动态，有关概念和定义，选择这一专题的目的和动机、应用价值和实践意义，如果属于争论性课题，要指明争论的焦点所在。 　　 主体：主要包括论据和论证。通过提出问题、分析问题和解决问题，比较各种观点的异同点及其理论根据，从而反映作者的见解。为把问题说得明白透彻，可分为若干个小标题分述。这部分应包括历史发展、现状分析和趋向预测几个方面的内容。 ①历史发展：要按时间顺序，简要说明这一课题的提出及各历史阶段的发展状况，体现各阶段的研究水平。 ②现状分析：介绍国内外对本课题的研究现状及各派观点，包括作者本人的观点。将归纳、整理的科学事实和资料进行排列和必要的分析。对有创造性和发展前途的理论或假说要详细介绍，并引出论据；对有争论的问题要介绍各家观点或学说，进行比较，指问题的焦点和可能的发展趋势，并提出自己的看法。对陈旧的、过时的或已被否定的观点可从简。对一般读者熟知的问题只要提及即可。 ③趋向预测：在纵横对比中肯定所综述课题的研究水平、存在问题和不同观点，提出展望性意见。这部分内容要写得客观、准确，不但要指明方向，而且要提示捷径，为有志于攀登新高峰者指明方向，搭梯铺路。主体部分没有固定的格式，有的按问题发展历史依年代顺序介绍，也有按问题的现状加以阐述的。不论采用哪种方式，都应比较各家学说及论据，阐明有关问题的历史背景、现状和发展方向。END注意事项文献综述是本人对您所阅读文献的一个理解和概括。强烈建议多读文献后，再进行文献综述的写作，如果你有任何关于论文相关的问题，都可以加我好友，找我解决。我是百度经验的签约作者梁逸媛。。如果你有任何关于论文相关的问题，都可以加我好友，找我解决。我是百度经验的签约作者梁逸媛。希望能帮到你，望采纳，谢谢

回答 您好鸭！很高兴能认识你并能为您解决问题，因为找资料和分析答案需要一定时间的请您耐心等待好吗，有答案我会第一时间给您回复的呢，希望您理解，请您稍等一会儿 文献综述是指作者在确定论文选题时，结合其他文献的观点、研究及发展的方向，最后提出自己独到的见解，还要根据自己对参考文献的认识，进行深入的、系统的、全面的论述和相应的评价。文献综述的字数也需要控制在合理的范围 第一，必须是最新几年的，第二，最具有代表性的。文献综述引用不需要太多，根据各学院要求与自己的论文要求所定，一般为13篇左右。给大家看一下大概框架。 结尾部分也是总结部分，它与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，提出自己的见解并对进一步的发展方向做出预测。 希望我的回答对您有所帮助，感谢您，祝您生活愉快！同时觉得回复很满意的话可以给个赞，谢谢亲！ 提问 一般结尾是多少个字 回答 结尾尽量控制在150个字左右差不多了呢 提问 一般这种参考文献在哪里找啊？ 回答 知乎，还有各大回答的平台，浏览器，百度都可以找到 呢 提问 好的 拜拜 更多10条 

为什么写综述从一篇文献开始，看几篇相关文献整理出大致思路，找出一个切入点就开始实验。在做实验的过程中还要看文献，针对不同问题有选择性的看。之后实验完成，整理成文章发表的时候，为了写前言部分而看一些文献。开题 - 实验 - 发表，每个步骤都要看文献，这是我的科研过程。但这些步骤里看文献是不全面的，从解决一个问题开始，到解决一个问题结束，涉及到的都是具体的文献。如果要对整个课题方向全面把握，写一篇综述是十分有必要的。而且，在做过较长时间的相关研究后，写综述文章有以下几个好处：大的方面，能够提高对整个课题方向的把握能力。通过详细的、全面的文献检索和阅读，可以对这个课题方向的发展脉络、研究进展和最新成果会有一个整体的把握和了解。其次，是对自己工作的总结升华。经过多年的相关研究，自己心中必定有不少思考和疑问，此时的大量阅读对自己的固有知识是一个归纳升华的过程。写完应该有顿悟之感。再次，对以后的实验研究具有重要的指导作用。写完综述后，通过对整个课题方向的了解，知道了哪些问题已经解决、哪些地方还存在问题、哪些问题是热点、哪些是难啃的骨头，是制约课题发展的关键所在。这样设计以后的实验时就能有的放矢。小的方面，综述也是一篇文章呢。现在国内评估要看个人成果，综述也是一种发文章的方法。另一个方面，能够提高自己在同行中的地位。一般来讲，综述文章的引用次数相对研究文章高，因此也就扩大了自己在同行中的知名度。准备工作之文献检索在开始写综述之前，很重要的一个准备工作是文献检索。虽然经过 "开题 - 实验 - 发表" 三个阶段的阅读，可能存储有足够的知识点，这对你的实验有用，这还不够一个综述文章。综述文章要全面，要综合概况所评述的问题，因此，详尽的文献检索是十分有必要的。这里说的全面不是说把几十年的文章全部下载下来读一遍，这样工作量太大了，这是其一；其二，早期的文章可能已经被总结过了。因此，找几篇综述文章看看就可以了。此处的全面是指多换几个关键词检索和多换几个数据库检索。先说关键词，每个作者倾向的关键词不同，而且新兴领域还没有约定俗成的术语时，更需要多换几个关键词了。再说数据库，因为每个数据库收录的期刊都是不全面的，这里重要的检索工具必不可少。例如 Scopus、Pubmed、Web of Science 和 google Scholar，会收录比较全面的信息，但会比专门数据库晚（晚多长时间不清楚，Pubmed 会晚几个月，Scopus 更新快些）。还有两个小技巧来获得相关文献。一是所读文章中引用的文献，这个好理解，文后的参考文献就是。另一个是看哪篇文章引用了所读文章，这也是相关文献。像 Google Scholar 有一个引用次数，点开里面就可以看到哪篇文章引用了此篇文章。通过以上几个方法，才能找全相关的文献。准备工作之大量阅读找全文献后，下一步就开始读了。首先，没必要全部通读，这样耗时太长，工作量太大。但是，近两年的文章要通读。两年，对比较热的领域来说是一个合理的综述文章的时间点。这两年的文章要通读，重点读，也是综述的重点所在。不通读不足以知晓解决了什么问题、如何解决问题；不通读就写综述有点不负责任。两年前的文章没必要通读，因为，可以从近两年的文章中的前言部分读到对这些文章的评述，也可以从综述文章中获得相关信息。这些文章着重读摘要就可以了，还有就是对某一个问题针对性阅读。文献的阅读方法阅读上百篇文献可不是一件容易的事，如果仅仅是浏览一遍，就只能留下一个大概印象，过一段时间或者说随着阅读文献的增多，这个模糊的印象也失去了。对知识点的记忆是写作和创作的基础，记不住怎么组织语言，即使是查，也不知道从几百篇文献上千页中哪里去查。我的导师教导我读书要辩证去读，在思考中记忆，不要在书上涂画。不否认这种方法适合聪明的大脑。我资质愚钝，试行几年之后，脑子里只有墨盒的味道，却没有文字，结果连我赖以凭借考上大学和研究生的写写划划也丢失了。对于我，更适合“好记性不如烂笔头”，这也适合我的德国同事们。他们把文献用 A4 纸打印出来，在重要的语句上用高亮笔划出。读完之后抄录到 A5 纸上，订到原来的文献上，作为精选。这个摘录是对你真正有用的知识点，其他大部分文章都是铺垫，或者是已经在你记忆中了。“高亮笔划出 + 读书笔记”能够有效的帮助记忆。这样读书虽然刚开始很慢，随着十几二十篇文献做下来，你的积累多了，后面的摘录就越来越少了。而且，你的阅读速度也越来越快了。因为人都是基于旧有的知识去领悟新知识。刚开始的时候，你的知识储备少，一篇文章的知识点难以用自己的语言解释，或者大脑中不能浮出有效的实例去解释，所以接收起来非常困难。而随着积累的增加，理解越来越容易，也理解越来越充分，速度也越来越快。阅读速度的增加一定不是线性的，而是指数型的，这就是知识的马太效应。你的读书笔记需要分类，你的知识需要管理。这与其他知识的管理一样，需要一套完整的系统。这得需要另辟一篇博文讨论，此处不再展开讨论。仅对文献的管理进行说明。文献的管理在下载了上百篇文献之后，文献的管路就成了一个问题。就像十个八个人的小公司，老板一个人可以兼职财务、人事、市场等多重角色，而上百上千人的大公司，其中任何一个角色，都足以让你忙的焦头烂额。这个时候，专业人士能够轻松处理让你手忙脚乱的杂事。对于文献管理，Endnote 就是这样一个专业人士，能够有效地把庞大的文献有效地组织起来，给你提供全面的信息，作者、期刊、年份、题目、卷期页码，以及摘要等信息。有些期刊在投稿时要求提供 DOI，Endnote 也能做到。Endnote 在文章编排中的作用是巨大的，是综述写作、论文写作、书籍写作的必备（其他文献管理工具也不错，ReferenceManager，Biblioscape，NoteExpress 等）。它的使用方法见王超的《ENDNOTE 使用方法，常用！》。虽然电子版很方便，我还是倾向于阅读用纸版。一是看电脑屏幕时间长了，眼睛疼，大脑容易木化，陷于僵滞的状态；二是多动手，有助于记忆。在电脑屏幕上看时，仅仅使用一根手指头：是指双击打开或关闭和滚动滑轮翻页。除了食指，整个身体的其他部分都一动不动。眼睛慢慢变成像死鱼眼一样，拉直了视线，呈现出发呆的神态来。这种阅读方式不适合长时间大量阅读，偶尔查阅还行。我喜欢把文献打印出来，统一编号（跟 Endnote 一致，Endnote 中的 Label 可以添加编号）后打孔，放入活页文件夹。活页夹和打孔器见图片。这里也提一下活页文件夹。这种简单、灵活、有效的文件管理方式，我竟然在我整个求学过程中闻所未闻，未见任何同学使用过。大家都是打印出来，订书机一订就摞在桌头上。文件多了经常滑落下来洒一地。更难受的是管理，你不能把它码整齐，也不能随手取出想要的文献。直到在歌德学院学德语才第一次接触文件夹。当时报名时，一人发一个活页文件夹，教室里有打孔器。老师发下的材料自己打孔后放入。而且还可以用隔页分类存档不同内容的资料。方方正正的文件夹，往桌子上一放就能站住，文件再多也能排放整齐。在实验室里，导师应该给每个研究生配发活页夹供学生使用，方便学生。而且学生毕业后，可以把文件夹和打印的文件同时收回，留给后续的学生使用。从而，既利于科研又避免浪费。文章的架构文献的阅读是一个从“无可非议”、“似是而非”、“大是大非”到“无事生非”的过程。刚开始阅读，由于自己的知识有限，前几篇文章提出的方法和结果对自己都是全新的，自己的知识储备不足以评判其中的观点。因而，刚开始阅读时会对文章中的所有内容全盘接受，很难产生质疑的观点出来，对看的任何内容都是“无可非议”。等看过十篇八篇的文献之后，所了解的方法和观点较多了，有些可能观点相左，这是怀疑会跳出来，对所阅读的论点进行挑剔，却又不能凭借一两篇文章而确定某种方法完全胜过另一种方法。每种方法都各有千秋，从而达到“似是而非”的境界。只有看过足够量的文章之后，才能够做出完整的评价，所获得的优劣比较结果也有充足的论据。这时候就达到了一种“大是大非”的境界。综述文章，一部分是综合别人的工作，另一部分，还在于论述自己的观点。大是大非也还只是综合的一步，应该更进一步，通过对“大是大非”的把握，要能发现新的问题、新的优点或者缺点、提出改进方法，以及对未来工作和发展前景的建议和设想，更有甚者，跳出对原有实验细枝末节的讨论，从一个更高的层面，从原理上、方法论上和系统性上加以评价。这当然很难，故而，多数综述文章综而不述，让读者看完之后，对过去有些了解，对未来仍是茫然。当然，论述的越多，耗费的时间和精力越大。鲜明的例子是，赵立平历时两年增删二十多次才写出为未来 5－10 年的发展方向提出自己独到的见解的文章，方知“述”之不易。如果阅读完成之后，能够达到“大是大非”的经济，即可提笔写作了。写作，要先搭框架，对所要综述的内容分门别类，不断细分。分的越细越好，至少要三级，三级标题下还可能有四级五级标题。这样做有以下好处：@框定要综述的问题，缩小范围。不要让自己的写作“随兴所至”而偏离了方向，失了重点。也容易分清主次，而不是眉毛胡子一把抓。这不是写书，没有太多的篇幅去展宽全面的讨论，所以要限定自己综述的范围。@写作压力小。想到写一篇文章时，会联想到“写下至少五千文字和阅读一百篇文献”，一霎那压力倍增，而且不知道从何处入手。而细分之后，所要想的仅仅是对某个方法的某个参数进行讨论，只需一个小段落的文字。这样简单的多，可以立即完成，没有太大压力。@有条不紊。所有要讨论的问题列在那里，就像一个 TO-DO LIST，完成一项划去一项，一件一件来，有条不紊，进度非常直观。写作的小细节文章细分成一个一个小节之后，就可以动手完成每个小段落了。在这里有几个小技巧，非常有效。@注重写作的连贯性：写作最好是一气呵成，不要在写 A 问题时去思考 B 的问题。这里有两层意思，写作 A 问题时发现了对 B 问题有用的材料；另一层意思是，写作 A 问题时发现了 B 问题存在的错误、疏漏或者其他。这个时候，不要停下来，只需要用便签备注一下（我习惯使用 ONENOTE 做备注还收集材料），备注完之后，继续对 A 问题的写作，直到完成。再回过头来，整理 B 问题。@二次文献：为了论证一个结论，可以需要引用文章主题之外的文献，或者需要从文献引用的文献里去找论据，是谓二次文献。对文献中引用他人的数据有必要去查证，避免错引文献和错引数据。@图片处理：一是图片的版权，这个不用担心。你投到期刊，期刊的编辑会去搞定；二是图片的质量。从其他文献中摘取图片时，不要使用截屏的方法，这样图片的分辨率不够。应该用 PHOTOSHOP 打开 PDF 文件，对所需的图片进行裁剪，再另存为 TIFF/JPEG 格式。在 PPT 中绘制的图，千万不要用 PPT 的“图片另存为”功能，那个分离度太弱了。应该讲 PPT 另存为 PDF，然后用 PHOTOSHOP 处理。@参考文献的修改。前期写作的时候，必须使用 ENDNOTE 对插入 WORD 中的文献进行索引。如果文章已经成型，ENDNOTE 已经导出参考文献了，经过其他作者修改后，要增删参考文献。增删一个文献，其他文献的索引号都要变更。这个时候容易出错。我使用以下方法：对每个要改动的文献索引后加“*”标注；“*”后加上新的参考文献索引号；使用查找功能确认每个需要改动的文献都与“*”相连（应该出现两次，比如增加一个参考文献 121，122 应该有两个，121*122，122*123，即是 121 变为 122，122 变为 123）；删除“*”和前面的索引号。改变完成。@英语句子，短句比长句好。被理解最重要，短句子容易理解，定语从句太多，能把人给绕晕了。文章的亮点一个篇文章，要有一些“干货”才能被更多地引用。因此在写作之前，看看你所下载的文章的被引用次数。哪个文章被引用次数最高？为什么？从个人引用文章的习惯看来，以下文章会被引用：@第一篇文章：本领域的开山之作，不引用没天理；@里程碑式文章：文章达到一个之最，最高、最大、最快等，或者突出的进展，是要引用的；@讨论的是核心问题。除此之外，我还喜欢引用有总结性结论的句子，比如某个技术的优点是。。。；和量化的句子，比如目前 70% 的文章采用了某方法。如果你的综述里能提供这些内容，必定会增加他引次数。前面三个干货，是研究型文章干的事，后面这两个也不容易。第一个要你自己概况总结，第二个要统计大量的数据。备注：这里把自己的一点经验拿出来与大家讨论，希望有经验的朋友多加指正，以冀对初次写综述的科研人员做个参考。

本科毕业设计（论文）　　文献综述　　院 （系）：　　专 业：　　班 级：　　学生姓名： 学 号:　　年 月 日　　本科生毕业设计（论文）文献综述评价表　　毕业设计（论文）题目　　综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）　　评阅教师姓名 职称　　评 价 项 目 优 良 合格 不合格　　综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范　　综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果　　03 文字通顺、精练、可读性和实用性强　　04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等　　参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范　　06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献　　成绩　　综合评语：　　评阅教师（签字）：　　年 月 日　　文献综述： 小四号宋　　空一行　　标题 二号黑居中　　空一行　　1 XXX 三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXXX 小三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXX 四号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　空一行　　2 XXXX 三号黑　　(空1行)　　参 考 文 献　　(空1行)　　[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：]　　[1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）　　[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．　　下面的是我的文献综述　　文献综述:　　FTO透明导电薄膜的溅射法制备　　1 前言　　为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。　　本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。　　2透明导电玻璃的种类及制备方法简介　　1透明导电玻璃的种类　　1 1 TCO导电玻璃　　TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。　　2 ITO透明导电玻璃　　ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。　　3FTO透明导电玻璃　　FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。　　2FTO透明导电玻璃制备方法　　FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。　　1磁控溅射法镀膜：　　溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。　　目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。　　2真空蒸发镀膜：　　真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。　　3溶胶-凝胶法：　　溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。　　4化学气相沉积法：　　化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。　　化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。　　5喷雾热分解法：　　喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。　　3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势　　1FTO透明导电玻璃的研究现状　　自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。　　Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。　　射频溅射：　　射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。　　直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］　　用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。　　2FTO透明导电玻璃的应用　　FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。　　1在薄膜太阳电池上的应用　　太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。　　2在显示器上的应用　　显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。　　3在气敏元件上的应用　　气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］　　4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用　　喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。　　3 FTO透明导电玻璃的发展趋势　　随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：　　(1)导电性能好，电阻率较低；　　(2)可见光内透光率较高：　　(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；　　(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；　　(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；　　(6)表面形状良好，没有针孔；　　(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。　　目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。　　几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。　　4 制备条件对膜结构及光电性能的影响　　长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。　　1制备条件对膜厚的影响　　文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。　　2制备条件对膜结构的影响　　晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。　　3制备条件对膜光电性质的影响　　在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。　　4 退火对薄膜的影响　　退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］　　5 退火后处理对膜结构与成分的影响　　光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］　　6 FTO导电玻璃制备相关参数　　根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。　　7 参考文献　　1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学　　2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学　　3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学　　4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光　　5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷　　6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报　　7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．　　8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364．　　9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455．　　10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and 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