环抛机毕业论文
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摘要 1 理论分析抛光运动的规律并进行抛光轨迹的计算机仿真, 探讨抛光表面形成机 理,发现合适的抛光转速和抛光运动参数。得出:对单面化学机械抛光,其合适的抛 光盘转速为 60rpm,
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