文献综述是对论文选题研究现状的梳理,但并不仅仅是把文献进行简单的堆砌与罗列,而是需要在总结梳理别人研究的同时,对已有的研究做出评价,也就是说有述有评,这也是为什么文献综述也叫做文献述评的原因。
首先,需要将“文献综述( Literature Review) ”与“背景描述 (Backupground Description) ”区分开来。我们在选择研究问题的时候,需要了解该问题产生的背景和来龙去脉,如“中国食品安全机制的发展历程”、“国外政府关于食品安全的政策和问题”等等,这些内容属于“背景描述”,关注的是现实层面的问题,严格讲不是“文献综述” 。“文献综述”是对学术观点和理论方法的整理。 其次,文献综述是评论性的( Review 就是“评论”的意思),因此要带着作者本人批判的眼光 (critical thinking) 来归纳和评论文献,而不仅仅是相关领域学术研究的“堆砌”。评论的主线,要按照问题展开,也就是说,别的学者是如何看待和解决你提出的问题的,他们的方法和理论是否有什么缺陷?要是别的学者已经很完美地解决了你提出的问题,那就没有重复研究的必要了。 文献综述,它是对选题阅读工作进行进一步整理: 技巧一:瞄准主流。主流文献,如该领域的核心期刊、经典著作、专职部门的研究报告、重要的观点和论述等,是做文献综述的“必修课”。而多数大众媒体上的相关报道或言论,虽然多少有点价值,但时间精力所限,可以从简。 技巧二:随时整理,如对文献进行分类,记录文献信息和藏书地点。做论文的时间很长,有的文献看过了当时不一定有用,事后想起来却找不着了,所以有时记录是很有必要的。对于特别重要的文献,不妨做一个读书笔记,摘录其中的重要观点和论述。这样一步一个脚印,到真正开始写论文时就积累了大量“干货”,可以随时享用。 技巧三:要按照问题来组织文献综述。 有学者说:“文献综述就像是在文献的丛林中开辟道路,这条道路本来就是要指向我们所要解决的问题,当然是直线距离最短、最省事,但是一路上风景颇多,迷恋风景的人便往往绕行于迤逦的丛林中,反而“乱花渐欲迷人眼”,找不到问题主线了。因此,在做文献综述时,头脑时刻要清醒:我要解决什么问题,人家是怎么解决问题的,说的有没有道理,就行了”。
论文文献综述怎么写
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文,它是科学文献的一种。格式与写法文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果,特别是阳性结果,而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样,但总的来说,一般都包含以下四部分:即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲,在根据提纲进行撰写工。前言部分,主要是说明写作的目的,介绍有关的概念及定义以及综述的范围,扼要说明有关主题的现状或争论焦点,使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。主题部分,是综述的主体,其写法多样,没有固定的格式。可按年代顺序综述,也可按不同的问题进行综述,还可按不同的观点进行比较综述,不管用那一种格式综述,都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较,阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向,以及对这些问题的评述,主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。总结部分,与研究性论文的小结有些类似,将全文主题进行扼要总结,对所综述的主题有研究的作者,最好能提出自己的见解。参考文献虽然放在文末,但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据,而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此,应认真对待。参考文献的编排应条目清楚,查找方便,内容准确无误。关于参考文献的使用方法,录著项目及格式与研究论文相同,不再重复。
文献综述就是用资料,只不多有一个比较固定的格式。主要是,关于你的论文主题,国内外学者提出多点看法和主张。某某学者在某某文章中,就你的论文主题,提出看法认为如何如何都是这样的语句,写出来就ok了。需要大概七八篇文章的论述,最好是高级的人物写的文章,发表在高级期刊上的。-wenxianzongshu-html文献综述的写作技巧和范文,中国知网的,很全面。合适采纳啊
要把握四点:一、文献综述不应是对已有文献的重复、罗列和一般性介绍,而应是对以往研究的优点、不足和贡献的批判性分析与评论。因此,文献综述应包括综合提炼和分析评论双重含义。二、文献综述要文字简洁,尽量避免大量引用原文,要用自己的语言把作者的观点说清楚,从原始文献中得出一般性结论。三、文献综述不是资料库,要紧紧围绕课题研究的“问题”,确保所述的已有研究成果与本课题研究直接相关,其内容是围绕课题紧密组织在一起,既能系统全面地反映研究对象的历史、现状和趋势,又能反映研究内容的各个方面。四、文献综述的综述要全面、准确、客观,用于评论的观点、论据最好来自一次文献,尽量避免使用别人对原始文献的解释或综述。
文献综述是对论文选题研究现状的梳理,但并不仅仅是把文献进行简单的堆砌与罗列,而是需要在总结梳理别人研究的同时,对已有的研究做出评价,也就是说有述有评,这也是为什么文献综述也叫做文献述评的原因。
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一 综述的结构 综述作为一种科学文体,从“文以载道,非文则道将不传”的角度讲,有它独特的结构形式。一般而言,综述由题目、概述、正文、总结、参考文献等部分构成。? 题目 综述的题目是对综述内容的高度概括与提炼,对综述全文起到揭示宗旨、规定范围、画龙点睛的作用。在题目里应出现反映文章学科(专业、专题)属性、时间及地区范围的主题词,并用上综述问题的标志语。综述题目应力求简洁、新颖、醒目,字数应控制在 20 字以内。 概述 综述的概述部分主要是起到“破题”作用,交待该篇综述的缘起及学术意义,点明题目中有关概念用语的准确含义,叙述综述要达到的主要目的。使读者在读完概述后,对综述的主要内容有概貌性的了解,并产生进一步阅读的兴趣。概述既要开宗明义,又需短小精练,字数宜控制在 200-300 字之间。 正文 综述的正文是全篇的主体部分,包含全文的核心基础内容。应按论点和论据组织原始文献材料,并穿针引线地加以叙述。为突出主题思想,既要注意结构的逻辑性,又要注意文字词句的可读性。正文篇幅较长,一般应在大标题下分列小标题,不断深入;每段开头以论点引路,以论点带论据方式进行叙述;引用资料应以使用公开出版发行的原始文献为原则,并尽可能引用近年出版的文献,引用中要做到全面合理,如实反映原始文献的观点及材料。正文的字数视其反映的内容而有较大的弹性,一般的应控制在 5000 字以内,在能说明问题的基础上,正文篇幅宜短不宜长。 总结 综述的总结部分是作者归纳全文后得出的结论,说明哪些是肯定的,哪些是否定的,哪些是未定的。作者可以表明自己的学术倾向,可以做出预测,可以提出建议,可以作简短的讨论和评价。这部分的文字篇幅亦需简明扼要,言中则止,不必长篇阔论。 参考文献 参考文献是综述文章的重要组成部分。文末所附参考文献较多 ] ,是综述文体的特征之一。在综述文末开列引用文献的目录有三方面的意义:首先,它是执行知识产权保护法的需要,标明引文出处表示尊重被征引者的劳动成果;其次,它能说明综述的言之有据,反映综述的可信程度;第三,它为读者提供据此查检研究的线索。标注参考文献要实事求是,切忌张冠李戴,同时要严格按照科学写作中关于著录格式、著录内容的要求逐项书写。二 综述的撰写 综述的撰写建立在作者占有大量的有关原始文献资料的基础上。但是占有资料不等于综述,胡乱罗列资料也不是综述,只有正确使用资料,进行严谨的叙述,才能产生综述。撰写综述要经过确定题目,拟定提纲、编撰文章、编列参考文献四个步骤的工作。 确定题目 确定综述题目是写好综述的前提。要善于从专业学习过程及阅读整理原始文献资料过程中发现问题、考虑问题。纵观近年综述的命题通常是从“新”、“热”、“争”等处着眼发现题材和命题的。“新”是指专业(学科、专题)科技的新动态、新水平、新原理、新技术,主要与成就有关;“热”是指科学研究中就某种问题研究形成高潮的热点问题;“争”指科学探讨时存在意见分歧的争议问题。从这三方面容易看到一批原始文献,同时从上述三方面着眼综述,文章才可能吸引读者。初步确定题材后,还应反复研究分析原始文献,从中选择最有用的资料,恰如其分的拟定题目。题目大,内容不足,势必造成头重脚轻的毛病;反过来,题目小,内容多,也同样要犯名实不相符的毛病。确定题目,除了客观题材之外,还要结合作者主观情况进行权衡。对于初写综述者,选题时一定不要好高骛远,去选那些大题和难题。选题必须实事求是,以免题目虽好,但因材料不足,或因能力有限,最终画虎不成反类犬,空耗时间与精力。 拟定提纲 提纲是文章的框架。写综述前,应根据题目分类梳理原始文献,列出提纲。提纲写具体一些,包括大标题,小标题以及小标题下准备引用哪些文献,总结中主要谈什么问题等。可以说,拟提纲是打腹稿的阶段,是用文字将头脑中的文章轮廓描述下来。拟出提纲之后还应不断修订,反复推敲,做到大标题统辖于题目并有序的展开,小标题支撑大标题并反映了引用资料的精神,引用文献的排列要合乎逻辑。列出了逻辑合理,纲目清晰的提纲,综述文章也就呼之欲出了。 编辑综述文字 按提纲规范,将综述内容丰富起来并付诸于笔端。先一气呵成,草稿中不必斤斤计较小的方面,如字词句的通顺妥帖等,而应注意大的方面,如问题是否已讲清楚、引用资料是否全面等。过几天再来看一遍草稿,逐段斟酌逐句推敲,做细致的修改润色工作。反复多次,直至自己比较满意为止。 编列参考文献 参考文献是综述文章的有机组成部分。综述文末一定要编列出引用原始文献的出处目录,并与引用时的标号相一致。由于拟定提纲和编撰文章中多次修改,以及原始文献同篇在综述中多次被征引等情况,稍不注意就会出错。所以,应对参考文献的引用及文末的标注,逐字逐句地核实,务必做到字字有根据,句句有出处,标注规范。文末参考文献目录通常按综述文中出现的先后顺序排列。标注内容除序号外,还应有:作者姓名、篇名、原载期刊名、卷期数、起始页码、出版年月、出版者名称等,其目的是让读者能有效的查出原始文献。三 、 撰写综述的注意事项 写作的过程是不断完善自己的思维和书面表达能力的过程,是主客观相结合实事求是的过程,不可能一蹴而就。撰写综述也必须遵从写作规律。从选材立题、拟定提纲、组织文字、引用文献资料等,都要经历几次肯定——否定,否定——肯定的调整修改过程。此外,为使综述成为题目新颖、资料翔实、说理清楚、言简意明而受到读者青睐的好文章,还应注意以下几个问题。 一 事先检索 在确定题目前,应通过检索,查证清楚近年来有无类似主题的综述文章发表,以防止劳而无功的重复劳动。 二 结合专业 综述文章是众多专业文章的归纳叙述,专业性较强。因此,没有相当的专业知识,不能深刻理解原始文献内容,不能形成符合客观事物规律的论断时,不要勉强去写有关专业的综述。一定要结合自己的专业特长去写,综述的题材最好是自己的强项,写自己最熟悉的事物,容易驾轻就熟,得心应手。 三 资料充分 资料翔实是综述的基础,因此撰写综述必须详尽占有原始文献资料。搜集有关原始文献应尽量避免遗漏,尤其要防止遗漏权威专家学者的论著。引用原始文献要做到:一要杜绝事无巨细有文必录的罗列,二要注意选择典型的尤其是近年来发表的权威性资料,三要直接引用以免曲解原意。 四 评议审慎 综述的主观评议一定要符合客观,避免叙议相离。另外要把握好肯定、否定的份量,文字中少用“最”、“第一”等形容词或冠词;尽量做到客观超脱,忌讳门户之见的个人感情色彩。注意防止把自己的研究成果放在综述中作自我评价
论文文献综述怎么写
写文献综述一般经过以下几个阶段:即选题,搜集阅读文献资料、拟定提纲(包括归纳、整理、分析)和成文。
文献综述是对论文选题研究现状的梳理,但并不仅仅是把文献进行简单的堆砌与罗列,而是需要在总结梳理别人研究的同时,对已有的研究做出评价,也就是说有述有评,这也是为什么文献综述也叫做文献述评的原因。
本科毕业设计(论文) 文献综述 院 (系): 专 业: 班 级: 学生姓名: 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计(论文)文献综述评价表 毕业设计(论文)题目 综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等) 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范 06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献 成绩 综合评语: 评阅教师(签字): 年 月 日 文献综述: 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:] [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅) [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31. 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜: 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜: 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法: 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法: 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法: 喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。 Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。 射频溅射: 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11] 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13] 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件: (1)导电性能好,电阻率较低; (2)可见光内透光率较高: (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜; (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀; (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高; (6)表面形状良好,没有针孔; (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。 目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。 几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15] 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17] 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877. 8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364. 9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar Ceils,2005,85(3):447—455. 10、Huo Z,Dai S,Wang K,et a1.Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-/I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells,2007,91(20):1959-1965. 11、王璟和,射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学 12、姜磊等, 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报(自然科学版) 13、曾志峰等, 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报(理学版) 14、段理、樊小勇等, 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇) 15、SunLL,TanO K,ZhuW G,et a1.Pb(Zro 3Ti0. 7)03/Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J].J Appl Phys,2006,99(9):09410 16、顾锦华、钟志有等, 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版) 17、王磊、杜军等, 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报 18、范志新等, 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件 19、刘庆业等, 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报(自然科学版)
论文文献综述怎么写
PS:做文献综述首先要收集课题相关的文章,建议从以下几条途径入手:一是图书馆的中外学术期刊,找到一两篇“经典”的文章,留意它们的参考文献。二是利用学校图书馆的“中国期刊网”、“外文期刊数据库检索”和外文过刊阅览室,能够查到一些较为早期的经典文献。三是学校图书馆查快递企业面对日益激烈的市场竞争,如何在巩固老客户的基础上拓展新客户,如何为不同的客户提供个性化服务,这一系列的问题成为快递企业不得不面对的难题。
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