期刊名称Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMSJ. MICRO/NANOLITHOGR. MEMS MOEMSJ MICRO-NANOLITH MEMNANOLITH MEMJ. MICRO-NANOLITHOGR. MEMS MOEMS1932-529同行评议:是 本刊收录在: Ei Compendex (2013年) 本刊收录在: Ei Compendex (2015年) 本刊收录在Web of Science: SCIE(2012版) 本刊收录在Web of Science: SCIE(2013版) 本刊收录在Web of Science: SCIE(2016版) 点击: 查看SCI影响因子(2010)Impact Factor: ; Rank: 4196 点击: 查看SCI影响因子(2014)Impact Factor: , Rank: 4391 主题分类:Engineering: Electrical Engineering 期刊历史沿革:继承了: Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems [1537-1646]