半导体器件中的泊松方程是描述电子和空穴在非平衡状态下的空间电荷分布和电势分布的基本方程,其数值求解是半导体器件模拟中的重要问题。追赶法(Sweeping method)是常用的求解半导体泊松方程的一种数值方法,其基本思想是通过将泊松方程转化为一组差分方程,并利用迭代求解法逐步追赶更新电势和空间电荷分布的结果。追赶法的基本过程如下:将泊松方程离散化为一组差分方程,通常采用有限差分法或有限元法等数值方法。初始化电势分布和空间电荷分布,通常可以采用均匀分布或给定的初始条件。通过迭代求解法逐步更新电势分布和空间电荷分布,直到收敛为止。根据求解结果计算器件的电流、电场和载流子浓度等物理参数,以评估器件的性能和可靠性。追赶法的优点是计算速度快、精度高、收敛稳定,适用于各种半导体器件的仿真计算。但其缺点是需要对差分方程进行合理的离散化和边界条件的处理,对计算精度和稳定性要求较高。总的来说,追赶法是求解半导体泊松方程的重要数值方法之一,可应用于半导体器件设计、制造和测试等领域。