晶圆检测设备现状调研论文

作为通过资质认定或国家实验室认可的实验室，为确保检测数据的准确性，需加强对设备的有效控制。为了确保在两次检定/校准之间设备状态的可信度，增强实验室的信心，保证检测数据的准确可靠，应有对设备实施期间核查的程序。在标准中未规定合适的评价依据时，可采取统计技术对期间核查结果进行评价，能达到为其提供技术依据和保证其有效性的目的。设备期间核查往往是实验室质量控制工作的难点，实验室容易犯的错误包括：对核查设备的范围不明确、对核查方法不清楚、对如何评价不了解。本文着重介绍实验室如何开展设备期间核查工作，以及如何评价、使用核查结果，真正做到确保设备可信度。1、名词和术语期间核查：是指为保持对设备校准状态的可信度，在两次检定/校准之间进行的核查。2、期间核查的目的和范围设备通过校准，从校准结果与标准要求的符合性上可以判断设备的准确度是否满足要求；而期间核查主要目的是检查设备状态是否稳定，以提高对检测设备的可信度。因此并不是要对所有的检测设备进行期间核查，而是在需要时或对设备的稳定性产生怀疑时方才进行。比如在以下情况时可进行期间核查： 性能不太稳定，容易产生漂移； 使用频率较高； 经常带离固定场所或使用环境恶劣； 在运行过程中有可疑现象发生或给出可疑结果时； 接受重大检测合同或出具的检测结果有重大影响时； 出现不符合需进行原因排查时。3、期间核查方法实验室可根据自身情况和设备的具体特点，选择以下方法： 采用有证标准物质或标准样品进行核查； 采用同等准确度的测量设备进行比对； 选用稳定性好、灵敏度高的样品/物品在不同时期、不同地点进行多次重复检测，必要时采用统计技术对每次检测结果进行评估；有条件的实验室可以采取的方法，但作者更多推荐的方法。从所列方法可以看出，期间核查的关键是选择较为稳定的物品（如标准物质）作为检测对象；如果选取的核查物品不能满足稳定的要求，会对核查结果的可信度带来影响。在选择设备比对时应注意，如果两台设备同时出现了相同方向的漂移时，其比对结果也可能会表明设备是稳定的，所以该种方法应慎用。4、期间核查计划、方案的制定实验室应根据设备的情况，制定固定的期间核查计划如年度期间核查计划，也可根据具体情况制定临时的核查计划，计划应包含核查时间或频次要求等内容。对不同的设备应制定不同的核查方案，方案应包含所选择的核查方法、核查间隔以及结果评定要求，便于核查的正确实施、记录和评价，以确保核查结果的有效性。5、期间核查的实施设备使用人员按照核查计划、核查方案的要求，在规定的时间点实施核查，并记录结果。6、期间核查结果的评价根据评定要求的不同，核查结果的评价方式也不同。 当使用有证标准物质或标准样品进行核查时，可规定误差应不超过允许差值的2/3，也可进行多次重复检测后采用 检验来进行判定； 当对适宜保留的样品进行再检测，比较检测结果时，可规定偏差应不超过相关检测方法标准规定的平行允差。 当采取使用稳定性好的物品进行多次重复检测的核查方式时，可使用统计技术进行评价，典型的可以选择 检验来进行判定。7、期间核查结果的使用当核查证明设备是稳定的时，可继续使用设备进行检测；当核查结果证明设备不稳定，但仍在可以接受的范围时，应通过增加核查频次来确保设备的可信度；如结果表明已超过允许的范围时，应停用该设备，直至修复并通过校准表明能正常工作后，方可继续使用；如核查结果证实设备不能满足要求且无法修复时，应考虑重新购置设备。8、运用实例 采用已知值的物品进行核查用配置浓度为100ng/?L的丙酸标准溶液对GC4011A气相色谱仪进行核查，在制定期间核查计划、方案时可规定：在设备校准后6个月时对该标准物质进行6次重复检测。实施后测量结果见表1：如何判断天平是否稳定，可采用 检验来进行稳定性分析，将第二次、第三次的测量结果分别与第一次结果进行比较，比较结果如下：根据表2中数据可以计算出：由此可见，该电子天平在第二次核查时能证明是稳定的，但在第三次核查时证明不稳定，此时应对设备进行调试并重新检定，检定合格方可继续使用。在制定对该电子天平下一周期的期间核查计划时，应考虑加大频次以确保其可信度，如将核查间隔规定为检定后第一次、间隔3个月时第二次、再间隔3个月时第三次、再间隔3个月时第四次、再次检定前第五次，如按此实施后证明设备是稳定的，则可在下一周期考虑适当减少核查频次。

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我国输变电工程设备维修对策探讨摘要：电力工业是设备，技术，资金密集的工业，为争取达到获得输变电工程设备寿命周期总费用最低的目的，提高设备的可靠性、经济性以适应电力生产．建设的迅速发展，本文初步探讨了输变电工程设备管理中设备的维修方法。如何借鉴国内外现有维修理论和实践的发展成果，结合电力行业自身的探索得到的经验，依靠科技进步，选择合理高效的输变电设备维修策略，是供电企业期待研究的一项重要课题。关键词：输变电设备维修对策1我国电力工程设备维修存在问题近几年来，国内供电企业由于固定投资的大量增加，设备数量增长较快，而企业由于减人增效的需要，维修人员数量增长不大，同时，由于供电可靠性等要求的提高，使得很多设备难以进行停电维修，因此，基于定期维修的计划预修体制己逐步不适应现有企业的要求。此外，设备质量的提高，也使得维修策略的改变成为可能。在这种情况下，国内供电企业以设备状态维修为突破口，开展了设备维修策略改进的实践和探索。国内供电企业设备状态维修主要是利用现有成熟的技术手段和方法对设备运行状况进行监测，利用专家系统对设备在线和离线测试数据进行分析并综合判断设备的运行状态，对设备未来的运行状态进行预测，以达到延长设备维修间隔时间、提高设备维修合理性、降低整体维修费用的目的。所采用的技术手段主要是设备在线检测披术和设备状态评估技术，前者主要是对变压器、开关、电容型设备、避雷器等的电气和机械状态参数进行实时测量；后者则是通过对历史和实时数据的分析，采用模糊数学、专家系统、神经网络等技术评估和预测设备的状态，实现方式主要体现为计算机维修管理系统(CMMS)。2输变电工程设备维修对策输变电工程设备维修对策涉及较多，主要包括复杂大系统可靠性评价、先进的传感技术、信息采集处理技术、干扰抑制技术、模式识别技术、故障严重性分析、寿命估计等领域。其中以先进的传感技术以及故障诊断的信息处理技术为研究热点。先进的传感器是实现预测性维修的重要手段，是一个长盛不衰的研究热点。这是因为，故障诊断技术的发展首先决定于能否获取尽可能多的有用信息，这是数据处理和诊断决策的基础。为了提高故障诊断水平，研究各种新型传感器便成为电力界的研究热点。原来用于军事的传感技术，也有一部分移植到电力设备的状态监测上来。美国电力研究院已开发出一种直接测量分析油中气体的半导体传感器，它可在线直接测量和分析油中的4种气体并监视其变化趋势，现已用于一些电力部门的变压器。下一步工作是把测量微水的传感器和它集成起来，并配合负荷电流测量，进一步研究油中气体、水分随负荷的变化关系。对采集到的信号加工处理，要比采集信号本身更为困难，信号加工和处理的目标有：从现场中人量的背景干扰信号中提取有用的信号；根据测得的信号进行故障分类；判断故障的严重程度，以便决定设备是否需要退出运行。为抑制现场测量中不可避免的干扰，除了应用硬件滤波器和数字滤波技术以外，近年的研究发现小波变换技术可有效地滤除稳态信号(如现场测试中经常遇到的载波信号干扰和噪杂声干扰)，可以把有用信号从比信号强几个数量级的干扰中提取出来。故障信号的分类则是更为困难的研究课题。过去用频谱来区分故障类型的方法有很大的局限性。因为许多不同类型的故障信号频谱往往有一部分甚至大部分是重叠的，在频域内很难加以区分。研究故障的“指纹特征”以及提取和识别指纹特征的方法便成为故障诊断研究的一个重要的分支。在研究的故障分类方法有：神经网络、专家系统、小波分析、分形维分析等。3输变电工程设备策略的实现(1)开展状态检修需要观念更新国内由于多数供电企业中长官意志、总工的水平往往左右着技术的开发和投入，对于新技术的探索和应用发展极不平衡，左的路线下大上特上在线检测设备，研究探求实施对电器设备的状态检修，右的思想影响下不认可在线技术和设备，仍抱着运行规程实行周期维修。而同时由于进行在线检测设备研究制造的公司、研究所或大专院校，仍然停留在研究的水平上，成型的技术还不能确证，可靠的、大批量、廉价的设备还不能推出，供电公司电气设备实行完全意义上的状态维修确实不具备条件。因此状态检修首先要在剖析现行各专业规程的基础上，结合设备现状制定出一个可靠、有效、客观的指导性文件。既保证专业规程规定的技术条件、标准、工艺等的执行，又要对设备检修的“周期规定”逐步改革。(2)开展状态检修需要加强管理，综合考虑经济性开展状态检修工作首先要领导重视。在科学管理的基础上，领导要敢于承担技术责任，要建立起负责、策划，组织、协调并指导状态检修工作的领导小组；以协调变电、配电、检修、继保、试验及其他相关专业部门的分工、配合、衔接、实施等各项具体工作。安装在线检测设备，对于一个220kV变电站动辄四、五十万元，而像邯郸供电公司拥有的变电站和设备数量，全部落实在线检测就需要两、三千多万元，且检测设备本身的运行可靠性受元器件、通讯技术等的影响，也存在相当大的不稳定性，其自身的维护成本亦不低，还不能达到减人增效的目的。(3)开展状态检修需要考虑技术先进性和成熟性电力设备的状态监测技术、状态诊断技术、状态检修技术等，目前都处在不断完善和发展的过程中，几是有利于及时、准确地了解设备状况的各种手段，无论是在线的、离线的，电气的、非电气的方法都值得考虑。利用各种新老手段所监测到的参数与人们最关心的设备强度、残余寿命之间并没有一一对应的关系。而充分运用专家经验及人工智能建立的专家系统将十分有利于做出较为正确的综合诊断分析，从而该试的试、该修的修，而在实验和维修工程中所暴露出的新情况又丰富了经验、完善了专家系统。目前对设备状态的诊断主要是建立在大量数据的统计分析上。历年来的试验、运行、检修等数据，设备异常，事故记录的反复调用、比较分析等，随着计算机技术和人工智能技术的发展，形成了设备诊断的专家系统。使设备管理工作的标准化、程序化及数据资料的完整化应用于指导检修实践，用专家系统进行综合判断，不但减少人力、减少出错，而且由于已总结了大量的专家知识和相应的有关规程、标准，同时将模糊数学、人工神经网络、小波分析、遗传算法诊断等技术应用到电力设备的绝缘诊断中，使诊断的准确度高、速度快，诊断过程更接近人类的科学思维程序。(4)开展状态检修需要提高人员素质状态检修涉及的专业面广，需要各类专业人员协同工作。特别是大型变电站的设备检修、预防性试验，均需大量专业人员的参与。从变电检修工作的特点看，变电检修人员必须是专职人员，才能确保变电检修的工作质量，这就需要高素质的检修人才队伍。同时，随着高电压等级变电站的增多、带电作业的增多、状态检修的推行等，对人员素质提出了更高的要求。因此，迫切需要提高专职人员的综合素质。参考文献[1】方晴．输变电设备状态维修策略．四川电力技术，2008／02．[2】马明焕．输变电设备状态检修策略研讨．吉林电力，2008／06．[3】输变电设备：发展仍将持续，一些问题亟需注意．韩伟．电力设备，2008／l1．【4】郭云鹏．输变电设备的检修策略．华东电力，2006／12．